RH用机械真空泵抽气过程影响因素研究

全干式机械真空泵正以其出色的节能环保效果越来越多的在冶金行业炼钢厂真空精炼工艺中得到应用。本文正是利用自主研发的与真空循环脱气工艺(RH)真空精炼过程相结合的RH用机械真空泵抽气过程计算机仿真程序,研究了4级串联式全干式机械真空泵方案中,真空主阀前后设备及管道容积、各级真空泵泵间管道容积、各级真空泵(罗茨泵和螺杆泵)的不同抽气能力、系统漏气量等因素对RH机械真空泵抽气过程的影响,为不同RH吨位或RH真空精炼工艺条件下,机械真空泵系统的设计和研究打下坚实的基础。     

罗茨真空泵最大压缩比和排气效率

近年来罗茨真空泵在真空技术中[1]日益得到重用。它的主要应用范围是在中真空区域。罗茨真空泵弥补了在这一个压强范围内原有真空泵的缺陷,即在这一个压强范围内回转式油封真空泵的抽气速率下降很快,但另一方面在这一个压强范围内扩散泵却又达不到它的最高抽气速率。自然,除此之外罗茨真空泵还用在“粗”真空的某些方面;主要是应用来减少大量的预真空抽气装置。在这种情况下,采用罗茨家真空泵抽气装置要比使用极其庞大的机械　转真空泵经济得多。对于某些在真空中进行的工艺来说,采用这样一个庞大的预真空装置是不必要的。所以用于生产优质…     

分子真空泵研究进展

分子真空泵作为重要的清洁高真空、超高真空获得设备,因其工作稳定可靠,在分子流态下具有很好的抽气效率,在科学仪器、工业生产设备中得到广泛应用。近年来,随着数控加工手段、磁悬浮轴承技术、模拟计算方法的广泛采用,为分子真空泵性能的进一步提升创造了条件。本文针对分子真空泵设计计算中涉及的基础性问题,以结构改进和抽气性能计算为主要内容,对分子真空泵的研究进展和未来发展进行了总结与展望,供研究者和生产者参考。     

高真空直排大气干泵的最新进展

为了降低半导体设备中的真空系统的成本、实现高真空获得设备的清洁化、简单化和微型化,人们一直在寻求能达到高真空并且直排大气的干式真空泵。近几年,国外已经出现了仅用一台泵就可以实现从高真空到大气的全部抽气过程的高真空直排大气干泵,并实现了商业化,已经应用于实际生产中。本文以其中具有代表性的英国BOC Edwards公司的EPX干泵和德国Pfeiffer Vacuum公司的OnTool干泵为例,简单介绍了其原理、结构、性能,为国内从事真空应用和干泵研发人员提供参考。     

非蒸散型吸气剂泵(NEG)对N_(2)气的抽气特性研究北大核心CSCD

非蒸散型吸气剂泵(NEG)是采用过渡族金属材料的吸气特性制作成的真空泵,用于超高/极高真空环境的获得及气体的纯化等方面。本文研制出吸气剂泵性能测试系统,研究了非蒸散型吸气剂泵对N_(2)气的抽气特性,分析了影响抽气性能的因素。研制的系统采用标准流量抽速测试方法,采用固定流导法流量计提供(10^(-5)~10^(-8))Pam^(3)/s的标准气体流量,可在测试罩内获得(10^(-2)~10^(-5))Pa的气体压力下实现抽速测试。实验结果表明,NEG泵激活后处于最佳抽气状态,当抽速下降之后可在超高真空条件下放置一段时间将抽速恢复至初始状态,但泵的整体抽气性能发生一定变化;当泵连续抽气时,抽速随着吸气量的增大而逐渐减小,随着泵抽气压力的增大而减小。     

油增压泵一种简略计算方法的介绍

一、概述 油增压泵是用来获得10-2～10-3乇压力的主要真空泵之一,它也可以做为油扩散泵的前级真空泵。这种泵的极限真空约为10-4乇。在10-2～10-3乇内有较高的抽气速率(泵口单位面积抽速为2.5～3.5升/秒·厘米2),当泵口压力再增加时,虽抽气速率有所下降,但抽气量却有一定的增加。因为油增压泵在10-1～10-3乇内工作,所以相同口径的油增压泵的抽气量是油扩散泵的几十倍。它的最大反压力一般为1～6乇。油增压泵的另外一些特点是当前级管路压力不超过泵的最大反压力时,有不变的抽气特性和对氢气有较空气为高的抽速以及结构简单,易于制造和操作简…     

分子/增压泵的结构、性能及其应用

分子／增压泵是一种最近实现产品化的新一代真空泵，该泵兼有中、高真空泵的性能，能耗低，能获得清洁真空，还能承受大气冲击，应用前景十分广泛。本文详细介绍了分子／增压泵的结构、性能和应用，并与常用的中、高真空泵作比较。最后，介绍了分子／增压泵的一种独特应用——“大型真空设备的冲洗抽气法”，该方法将抽气时间缩短至50％，能耗降至10％～25％。     

第三讲：机械真空泵（二）

第三讲：机械真空泵（二）张以忱（东北大学）四、油封式旋转机械真空泵（一）油封机械真空泵工作原理用油来保持运动部件的密封、靠泵腔容积变化而实现抽气的机械真空泵统称油外机械真空泵。它们的工作原理都是使泵腔工作室容积机械地增大和缩小而抽气。当泵腔内工作室容...     

2ZJ—150双级机械增压泵研制总结

一、概述 机械增压泵即通常所谈的罗茨真空泵。它是一种用机械的方法来获得“中真空”的设备。是一种高速旋转机械。 机械增压系与目前应用较为广泛的油封机械真空泵,油扩散泵相比有其十分重要的特点; (1)机械增压泵在5×10-1×10-2托压强范围内,具有稳定的大抽速,可达名义抽速。然而油封机械真空泵在10-2托时,实际抽速下降的很严重,不到名义抽速1/10。而油扩散泵此刻尚不能正常工作。假设某一真空系统要求在10-2托时抽速达600升/秒。如选用H-150型滑阀泵,此时每台泵的实际抽速只有15～20升/秒,需要有 30～40台泵并联使用才行。这会造成设…     

RH用机械真空泵抽气过程计算机仿真程序的开发

全干式机械真空泵正以其出色的节能环保效果越来越多的在冶金行业炼钢厂真空精炼工艺中得到应用,因此开发一个能够与真空精炼过程相结合的机械真空泵抽气过程计算机仿真工具,以方便系统的设计和研究,显得尤为紧迫。本文详细描述了自主研发的真空循环脱气工艺(RH)用机械真空泵抽气过程计算机仿真程序的开发内容,包括全干式机械真空泵方案的选择、钢液碳脱氧、氧脱碳或脱气反应产生的气体量模型、各级真空泵工作效率的计算模型、各级真空泵抽气能力确定的计算模型、机械真空泵的控制方法和控制参数、计算机仿真程序、各种中间过程参数和计算结果的输出、是否满足真空精炼过程的判定标准等,完全能够满足全干式机械真空泵系统设计和研究的需要。     

低温泵的特性和原理

低温泵是一种利用温度极低的冷却表面(≤77K)的冷凝作用,把气体从系统内部排除的真空泵。60年代以来,低温抽气在真空的获得和应用中有了越来越广泛的应用。低温泵是一种清洁的真空泵。因为低温介质只是一种对泵的抽气表面起冷却作用并在封闭容器中存贮或循环的冷剂,因而不与真空空间发生任何接触。这一特点对于某些要求清洁无油的真空系统来说是至关重要的。低温泵对大多数气体都能获得极低的分压和极高的抽速。当低温泵在液氦介质下工作时,还具有很大的实际抽气能力和抽气的无选择性(氦除外)等优点。     

F──600型立式涡轮分子泵研制总结

涡轮分子泵是一种机械超高真空泵,能够获得清洁无油的超高真空。本文对涡轮分子泵的用途、工作原理、结构选择、设计计算等作一简单介绍,并在研制调试过程中所遇到的问题作一些讨论,最后介绍泵的性能及与国内外同类型产品的比较。 一、用途 涡轮分子泵由于它是靠机械作用抽气,所以能够获得清洁无油的高真空或超高真空。它具有对各种气体的抽速变化很小、抽速恒定、启动快、使用维护简单、抗辐射性好等一系列优点。广泛应用于原子能、高能加速器、受控热核反应、宇宙模拟、电子管、半导体器件制造,真空熔炼和科学研究等方面。 二、工作原理 …     

滑阀式机械真空泵的设计与计算

一、前言 滑阀式机械真空泵(以下简称滑阀泵)是油封式机械真空泵中的一种,这种泵在油封式机械泵中多半是属中型以上的泵,是真空技术中的获得设备之一。它可单独使用获得真空,也可以作为机械增压泵、油增压泵和油扩散泵等真空泵的前级泵,适用于真空冶炼、真空浸渍、真空冷冻干燥、高空模拟、电子工业、化工、轻工及医药等部门。 几年来,我厂广大革命职工在毛主席的无产阶级革命路线指引下,特别是通过无产阶级文化大革命运动后,随着祖国真空事业的迅速发展,我厂基本上发展生产了滑阀泵的整个系列。 滑阀泵的工作原理(见图1),它是有一个滑阀套…     

《真空技术报导》一九七七年全年总目录

第一期YZ—150型余摆线真空泵的研制 ……………抚顺真空设备厂 东工机械系72届真空毕业实践队(1)提高旋片泵抽气速率的探讨……………………合肥工大真空专业74届工农兵学员(11)SZn—1型四极质谱计………南京工学院 南京电子管厂 上海电动工具研究所(19)蒸汽喷射真空泵在铁合金生产中的应用 ………………………………………吉林铁合金厂 陈梦林执笔(29)介绍一种新型真空泵——胶管真空泵……………………………沈阳真空所胶管泵小组(39)真空镀镜机介绍…………………………………………沈阳真空机械三厂 崔承霖(43)真空获得设备第五次行…     

应用于同步辐射光源的涡旋干泵综合性能测试平台设计

涡旋干泵是世界范围内同步辐射光源应用较多的真空获得设备,为满足同步辐射光源真空系统清洁、稳定和排气量大的需求,对涡旋干泵极限压力、抽气速率和清洁度三个性能有很高的要求。设计了一套涡旋干泵性能测试的综合平台并通过实际干泵测试来检验平台的设计。测试结果表明,综合性能平台能有效得测试上述涡旋干泵性能指标,为应用于同步辐射光源的涡旋干泵选泵工作提供测试手段和平台。     

第三讲：机械真空泵（五）

第三讲：机械真空泵（五）张以忱（东北大学）六、分子真空泵（一）牵引分子泵１．概述分子真空泵是在１９１１年由德国人盖德（Ｗ·Ｇａｅｄｅ）首先发明的，并阐述了分子泵的抽气理论，使机械真空泵在抽气机理上有了新的突破。分子泵的抽气机理与容积式机械泵靠泵腔容积...     

第八讲：真空系统设计

一、真空系统的组成真空应用设备种类繁多，但无论何种真空应用设备都有一套排除被抽容器内气体的抽气系统，以便在真空容器内获得所需要的真空条件。举例来说：一个真空处理用的容器，用管道和阀门将它与真空泵连接起来，当真空泵对容器进行抽空时，容器上要有真空测量装...     

油封式旋片真空砂在恶劣介质环境中的应用

油封式旋片真空泵是真空技术中最基本的真空获得设备之一，应用面广而量大。但其在恶劣介质环境中（如含大量可凝气体、可凝结介质、灰尘，频繁大气起动及经常工作于高压强状态等）中使用，则因为油路易堵塞、油性能快速下降、被污染的油返入泵腔或排气阀易损坏而造成泵油浪费、砂性能下降甚至泵损坏，本文介绍了通过改进后的油循环结构及排气阀结构的油封旋片式真空泵，使其广泛应用于恶劣介质环境而保持长期性能稳定。     

超高真空镀膜机用低温真空泵的设计考虑

低温抽气作为获得超高、洁净真空的手段已众所周知,但只有在一个独立的封闭循环中不用灌液氦就获得深冷的问题解决之后,低温真空泵才在真空技术的广泛领域内使用。在国外将小型深冷致冷机冷却的低温真空系应用于镀膜工艺的试验及商品化已有报导,而我国有关这方面的工作最近才有     

真空技术

1.何谓真空(略) 2,真空获得方法 提到真空泵,常使人想起油扩散泵与油旋转泵的机组。实际上常用这种机组获得10-4～10-6毫米汞柱的真空。但如所周知,最近出现了很多其他机组。总之,根据对于真空的要求,可以考虑种种的泵及其机组。对于真空的要求主要有以下几点:1.必要的真空度;2.必要的真空实质(各种剩余气体的分压强);3.在一定真空度下的抽速。 首先谈谈第3项抽速问题。一般工业的大型装置,例如真空冶金炉及真空管的抽气袋置等,必须抽出出现的气体,因而当然大的抽速是必要的。但在抽空物理装置特别是没有特殊气源的真空装置时,如后所述,即使…