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用四靶双离子束溅射仪一体化制备软X光衍射色散元件,宽束平行离子源刻蚀光栅,宽束聚焦离子源镀制软X光多层膜,经SEM、TEM、FC数字化图像处理和效率测试等测试手段分析,结果表明所制备器件具有良好的结构和衍射特性。 相似文献
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软X射线多层膜元件研究进展 总被引:1,自引:0,他引:1
对各国进行的软X射线多层膜研究所取得的最新成果给出了比较系统全面的评述,首次给出了文献报道的软X射线全波段的各种膜系实测正入射反射率的统计结果。 相似文献
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飞秒X射线衍射研究进展 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍X射线脉冲光源的三种产生方式及其在飞秒X射线衍射实验中的应用,着重介绍了飞秒射线衍射实验研究的进展状况,最后对实验结果进行了详细的理论分析。 相似文献
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X射线Bragg—Fresnel元件中衍射图形制作技术研究 总被引:3,自引:1,他引:2
本文研究X射线Bragg-Fresnel元件中衍射图形的制作技术。介绍了衍射图形制作技术方案的确定,金属吸收层厚度的计算,制作技术工艺流程及衍射图形测试结果。 相似文献
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《电子工业专用设备》1977,(2)
高集成化、高速化是目前技术革新的一个方向。在集成电路制造工艺中,正在研制以提高成品率、速度、集成度为目标的表面弹性波器件、磁泡、光集成电路及超大规模集成电路等一直到亚微领域的各种器件。作为光刻法亚微米加工有(相似)掩模法和缩小投影曝光法。 相似文献
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在过去五年中,由于用探空火箭发射的正入射X射线望远镜(NIXT)成功地获得了高分辨的太阳软X射线日冕图像,这个望远镜用胶片和X射线电荷耦合器件(CCD)相机作探测器,所以目前正进行空间天气和地球公害(SWATH)卫星研究.它是一个小型、轻量和便宜的载荷,放在近地轨道上,用其上的仪器测量和研究卫星所处位置的空间公害.其有三个主要目的:1、跟踪和测量近地轨道的空间碎片;2、监视、跟踪和测量来自太阳的大扰动和这些扰动对近地环境的影响;3、监视和研究太阳的日冕活动. 相似文献
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测量了用6-15J钕玻璃激光横向泵浦的18.2nm小型软X射线激光器的增益,在此系统中用固体材料壁代替原磁场来限制等离子体,等离子体通过绝热膨胀和中Z离子的辐射来冷却。还设计了一种新的预期能获务交高稳定增益的双靶系统,在此系统中将采用一种新技术对准过程中的小增益。 相似文献
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