亚纳米皮米激光干涉位移测量技术与仪器

激光干涉位移测量技术因具有大量程、高分辨力、非接触式及可溯源性等特点，成为当前与下一代高端装备、超精密计量的基础性技术之一。在简要介绍国内外现有的各类亚纳米级激光干涉仪的基础上，重点从“精”“准”“快”方面综述了面向亚纳米、皮米级激光干涉位移测量技术的研究成果。首先，从激光干涉测量原理出发，分析了限制激光干涉仪中测量分辨力、速度等进一步提升的主要误差项及技术难点；其次，重点列举了近年来国内外在激光器高精度稳频、高精度干涉镜组、高速/高分辨力相位细分技术、环境补偿与控制等方面所取得的重大关键技术突破；最后，对下一代超精密激光干涉位移测量技术的发展趋势进行了总结与展望。     

四川省计量测试研究所建立了激光全息干涉检测装置

四川省计量测试研究所根据国家计量总局下达的“光学材料均匀性激光全息干涉检测”的课题内容的要求，研制了一台激光全息干涉检测装置。四川省标准计量管理局受国家计量总局的委托，于一九八三年十一月二十三日至二十八日在成都主持召开了激光全息干涉检测装置技术鉴定会。北京、上海、     

超精密位移台计量特性的差动式平面镜干涉溯源分析

超精密纳米位移台常用于扫描探针显微镜、光学显微镜等高精度分析仪器中,其纳米机械性能的精密计量和校准对显微测量系统的性能起着关键作用.基于一种双通道结构差动式平面镜干涉测量与校准方法(英国国家物理实验室),文中对一种超精密位移台的关键计量特性进行了定量研究.构建了基于现场可编程门阵列(FPGA)和LabView的高精度稳频激光干涉数据采集和数据解码系统,使其可溯源超精密纳米位移台的准静态校准计量特性.进一步地,利用该干涉测量系统对超精密位移台的计量特性进行了校准和分析.测试结果显示,该激光干涉校准系统在准开放环境中的背景噪声低于10 pm/√Hz;该超精密位移台具有优良的纳米机械性能,其线性度低于1.2×10-4,分辨率达40 pm,重复性和稳定性较好.上述对校准设备准静态性能和对纳米位移台计量特性的测试结果表明,所提出的方法和系统能够对纳米位移台进行计量,从而用于小于几皮米的皮米级压痕测量以及原子尺度上的大范围测量.     

日本超精密测量技术的研究状况和展望

1.前言 近来,一提到超精密计量,似乎可与光学技术相提并论,因采用光学计量技术能够实现非接触精度计量,因此,它便成为科学、工业发展不可缺少的组成部分,尤其是利用光波干涉可重复性,完成高精度的计量工作。图1表示利用光作精密计量的有关测量领域     

多用脉冲固体激光器电源

由于脉冲固体激光器输出功率大,特别是采用调Q、选模等技术措施,不仅大大提高峰值功率,而且激光模式、相干性也大为改善,因此在各个领域获得了广泛的应用。尤其在激光高速摄影和高速全息摄影、精密干涉计量等方面显示了独特的优点。脉冲氙灯是脉冲固体激光器的泵浦源,因此对氙灯电源的研制具有广泛的实际意义。我们研制的多用脉冲固体激光器电源,经使用实践的考验,基本达到设计要求,实现了有程序、高稳定、自动化、高效率和多用性等方面的要求。     

激光精密加工技术的现状和展望

根据加工对象尺寸与加工精度的不同,将激光加工分为大型件激光加工、精密激光加工与激光微细加工与激光微细加工技术三大类。重点介绍了激光精密加工技术,并与传统精密加工方法进行了比较。综述了激光精密加工的国内外发展现状及该技术的发展前景,并对我国激光精密加工技术的发展提出了建议。     

“超快激光加工与微纳制造”专题前言

<正>激光制造技术历经多年的研究发展,涵盖了以激光表面工程、激光焊接、激光切割、激光制孔、激光标记、激光增材制造等为代表的宏观制造技术,以激光微焊接、激光精密切割、激光精密钻孔、激光烧蚀等为代表的激光微加工技术,和以飞秒激光直写、双光子聚合、干涉光刻、接触离子透镜序列、激光诱导表面纳米结构和纳米颗粒激光制备等为代表     

多通道综合全息术及在材料性能检测中的应用研究

自激光问世以来,应运而生的激光全息干涉计量术得到迅速发展,应用于许多领域。文中提出并实现了干涉条纹载波法一时间平均多通道综合全息术,这种技术综合应用了多种全息术并用光路通道转换器调制平面参考光波实现多通道全息图记录,再现时可同时观察所有通道的原始像。文中给出了多通道综合全息术有关的理论分析和在材料性能检测中的应用实例,给出了温度变化对叶片试件振动影响的实测结果,这一研究对叶片的设计优化具有实用意义。     

瞬态激光全息干涉计量与测试设备的研制与开发

文中论述了瞬态激光全息干涉计量的基本理论和在工程测量时需要解决的关键技术;简要地介绍了几种瞬态激光全息干涉计量的应用实例,对新近研制、开发的瞬态激光全息干涉计量的测试设备作了详细介绍。文音共分四部分：1）离轴光全息的物理过程和简要数学描述;2）瞬态激光全息干涉计量的关键技术;3）介绍几种典型的测试设备;4）讨论。     

串联式纵向DKDP电光调制器

一、前言 为把激光应用于测距、通讯、显示、精密计量等各个领域,都需要利用光调制器把激光调制成有用的光信号。 根据我国精密测距及地震预报等项工作的急需,我厂与有关单位共同研制的DC-30JG型气体激光测距仪就是一种以氦-氖气体激光器为光源的相位式高精度长测程的测距仪器。该类测距仪对它所使用的光调制器有较高的技术要求。     

激光照明的麦克尔逊干涉仪中补偿板的作用

麦克尔逊干涉仪是一种典型的分振幅双光束干涉仪。早期曾被用于长度的测最,但很快为多光束干涉仪器所代替。激光出现后,它又被用来制成各种精密测长的仪器,广泛应用于工业和精密计量部门。近年发展起来的付里叶光谱仪中,也是使用麦克尔逊干涉装置。最简单的麦克尔逊干涉仪是由图1中的B、M_1和 M_2构成。由于光束2三次经过分束板 B,而光束1仅经过一次。因玻璃的色散,人们不可能在这样的干涉装置中观察到白光干     

多波长激光绝对距离干涉计量术的原理与发展

绝对距离干涉计量术是60年代后期兴起的一种以多波长激光为基础的无导轨大长度测量技术.本文在详细介绍该技术原理的基础上,回顾了该技术的历史,分析了该技术的发展现状,展望了该技术今后的发展趋势和可能的发展方向.     

一种双频激光干涉信号探测器的设计

为了获取高精密双频激光干涉测量中的干涉信号,完成了一种新的光电探测器电路设计。该探测器利用AD645设计了精密低噪声光电转换前置放大器,保证微弱干涉光信号的有效接收;增益可调的主放大器设计保证输出信号足够的动态范围,适应不同类型的干涉信号处理电路,双二次型带通滤波器有效抑制了噪声与温漂。结果表明,研制的光电探测器能完成微弱干涉信号的接收处理,信噪比高、频率稳定、结构简单易实现,可应用于高精密比相计等激光干涉仪信号处理装置。     

用于绝对距离干涉计量的3.39μm波段双线He—Ne激光的频率稳定

绝对距离干涉计量有可能在无导轨情况下精密测量几米、几十米甚至上百米的大长度,因此受到各国计量部门的高度重视。二十多年来,随着红外激光技术的发展,世界各工业发达国家为满足无导轨高精度测长     

对X射线激光器的探讨

对于一些热心激光研究的人来说，他们选定而且希望达到的目标是X射线激光器。处在电磁波谱的红外和可见光区的高亮度、无比单色的相干光源的出现，已完全改变了许多干涉计量、散射和光谱技术，还开辟了许多全新的应用途径。人们可以期望，相干X射线源的发展同样将对高分辨率时间分辨X射线诊断和晶体结构测定起革命性的影响。     

激光散斑计量技术及其应用

近年来激光散斑计量技术发展迅速，已在许多领域得到了广泛应用。本文简要介绍了其中的电子散斑干涉法、错位散斑干涉法和散斑相关测量法，并对散斑图的处理方法进行了总结，概述了该技术近年来的发展及应用。     

全息干涉和散斑计量技术现状

全息干涉计量和散斑技术已广泛应用于机械位移、振动、应力和变形测量。在全息干涉计量术方面,已采用了双曝光、多次曝光、时间平均曝光,以及光束调制和频闪曝光等技术。另外,已研究了条纹定位和三维条纹图形分析技术。最近,在条纹分析中采用了矩阵法和张量计算,从而产生了若干种应变分析技术。利用外差干涉计量术,使相位检测精度提高到千分之一。在散斑干涉计量和照相方面,已经过了研究阶段,开始走向实用。散斑技术是对全息干     

远红外泵浦的激光器

美帝贝耳电话实验室从许多有机分子获得远红外激光这种简单方法,使精密测定频率的亚毫米波光谱学技术又前进了一步。这项发现是麻省理工学院研究的红外混频技术的补充。     

实用的创新型激光光学元件和系统部件

1库格勒公司简介 库格勒激光光学元件和部件凝聚了库格勒公司(KUGLER GmbH)20多年来在精密加工工程和金属反射镜制造方面积累的经验.在工业发达国家,当人们谈论激光工业界、激光设备制造商和激光器用户所需要的最佳反射式光学零部件和光学系统时,总是首推库格勒公司制造的产品.库格勒公司不仅擅长制造现代化的激光光学产品,而且还从事相关的咨询、研发和人员培训.库格勒公司能够提供一系列先进的产品:从单一的激光反射镜到高精密的非球面自适应光学部件,从标准型光束偏转镜到完整的CNC激光聚焦机头,以及以库格勒气浮轴承技术为基础的精密旋转计量平台和微加工机床.库格勒公司向客户提供高可靠性的先进产品,这些产品的高性价比已经在许多客户的实际应用中得到了证实.     

激光工作物质的高精度检验

一、引言 光学干涉仪是测量光学元件面形、评价透镜质量最常用的手段。七十年代人们将微型电子计算机及相位探测技术应用到干涉计量上,使干涉条纹的数据处理成为独立系统而将高精度光学元件的检验发展到一崭新阶段。美国贝尔实验室首先研制成带微型计算机的条纹扫描干涉仪,使干涉条纹的测量精度由λ/10提高到λ/50～λ/100。我们运用MarkⅢ型干涉仪测量了各种光学元件及光学材料的质量,对仪器的性能进行了分析和讨论。 二、实验结果和讨论 Mark Ⅲ型激光数字波面干涉仪是将位相测量技术应用于费索干涉仪上,利用实时相位同步检