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<正>国内首家研发商用陀螺仪系列惯性传感器的MEMS芯片设计公司——深迪半导体,日前发布了旗下第一款陀螺仪产品——SZ030CG,这标志着第一款具有中国自主知识产权的商用MEMS陀螺仪诞生。MEMS陀螺仪是半导体行业的基础元件,需要专用的MEMS加工技术,具有高技术性。虽然欧美日都有一批相 相似文献
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正国内首颗MEMS传感器芯片由深迪半导体日前在上海推出。该公司创始人兼CEO邹波表示,希望明年融资进行量产,2012年公司登陆国内创业板。与普通芯片相比,该芯片除了计算功能外,还具有感知功能。通过内置的陀螺仪传感器,可以感知外界运动,并做出相应反应。 相似文献
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MEMS运动传感器技术创新领导者美国矽立科技公司发布业内首颗为安卓手机和平板电脑优化,基于软件增强技术的陀螺仪方案。通过在移动设备上增加"虚拟"陀螺仪的功能,iGyro MC7010能为手机和平板电脑用户提供9轴体感游戏和增强实境体验。 相似文献
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微机电系统(MEMS)在2010年增长强劲,和2009年的营业额相比增长了18.9%,根据市调机构IHS iSuppli最新调查显示,2012年到2014年MEMS都将维持两位数的增长。该机构认为iPhone4是MEMS扩大手机市场的重要因素,因为该手机采用陀螺仪及两个MEMS麦克风以抑制噪声。 相似文献
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基于DSP的MEMS陀螺仪信号处理平台的设计 总被引:3,自引:1,他引:2
针对现在MEMS陀螺仪的精度还不高的状况,为了降低陀螺仪信号的噪声,改善其非线性性能,提高陀螺仪信号的精度,提出基于TI公司的数字信号处理器TMS320VC33的MEMS陀螺信号实时采集与处理系统,对MEMS陀螺信号进行降噪、非线性补偿处理;并在DSP多任务机制下实现数据采集、处理、传输的并行化,该信号处理平台信号处理时间短,实时性高,可以满足MEMS陀螺仪的使用要求,算法简单有效,可以显著降低MEMS陀螺信号的噪声,在实际应用中具有一定的参考意义. 相似文献
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基于0.18 μm CMOS工艺,设计了一种用于MEMS陀螺仪驱动闭环的专用集成电路,实现了MEMS陀螺仪的高精度、集成式和数字化驱动。陀螺仪采用静电力驱动,基于自激振荡原理,结合自动增益控制方法,实现了恒幅恒频振动。设计了电容/电压转换器、3阶带通Σ-Δ ADC等模拟前端电路。芯片测试结果表明,陀螺仪成功起振,谐振频率为3.7 kHz,启动时间≤0.3 s,驱动检测信号的信噪比达到115 dB,驱动振幅1 h稳定性为1.5×10-4,整个芯片的功耗小于20 mW,电路性能良好。 相似文献
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3 MEMS陀螺仪的工艺
基于MEMS陀螺仪和其他陀螺解决方案(例如光纤陀螺、环形激光陀螺、半球谐振陀螺和石英陀螺仪)相比具有了许多关键的优势:低成本、非常小的形成因子、轻量级、在严酷环境下的可靠性和低功耗.MEMS陀螺仪工艺是基于经历几十年的发展已经成熟的半导体批量生产设备.近两年为适应高性能MEMS陀螺仪发展的需要... 相似文献
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MEMS陀螺仪是MEMS传感器中应用最广泛的器件.当今信息智能时代的发展为MEMS陀螺仪带来新的发展机遇,使MEMS陀螺仪进入更高精度和更高可靠性的新的发展阶段.从微结构、电子学控制、工艺平台和集成应用四个方面综述了MEMS陀螺仪的最新进展.对MEMS陀螺仪分别按简并和非简并工作模式;速率陀螺仪的机械化和全角机械化;体... 相似文献
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探寻国产手机发展之路 总被引:1,自引:0,他引:1
展讯公司致力于为手机提供全套解决方案,其中GPS的方案已经量产了将近两年.而且是全球第一个做出CDMA芯片的公司。展讯目前有近20个客户.多款手机已经上市。展讯公司对于目前国内手机市场情况和手机工业的发展趋势,进行了许多思考,特别是作为手机核心芯片解决方案的供应厂商,在这种困境下,如何自我定位7展讯将思考的成果和公司将来的方向向大家做一个汇报,希望与手机行业的同仁们共同探讨,摸索出一条国产手机的成功之路。 相似文献
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卢新艳徐淑静任臣李博 《微纳电子技术》2018,(8):588-592
零偏温度漂移是MEMS陀螺仪主要误差源之一,对MEMS陀螺仪零偏温度漂移误差源进行了分析。检测电路中延时相位的漂移是引起MEMS陀螺仪零偏温度漂移的主要原因。自时钟技术基于锁相环原理,将MEMS陀螺仪的驱动频率作为锁相环参考频率。陀螺仪检测电路的系统时钟频率跟随MEMS陀螺仪驱动频率而变化,两者始终保持固定的比例关系,最大限度地消除了延时相位变化。使用自时钟技术,将MEMS陀螺仪零偏温度漂移减小为原来的2%。 相似文献
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近日,ADI推Ⅲ两款MEMS陀螺仪新牖。一款是战术级iSensorQ数字MEMS陀螺仪ADIS16136,性能可匹攻光纤陀螺仪。另一款是iSensor MEMS IMU(惯性测量单元)ADIS16488,它是最稳定最完整的集成传感器套件,在很多性能指标上优于其它同类IMU,甚至优于传统的军用级IMU. 相似文献
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MEMS陀螺仪的一种实用标定法 总被引:1,自引:0,他引:1
主要介绍了一种微机械系统(MEMS)陀螺仪的速率标定法,根据MEMS陀螺仪的输出数学模型,详细推导了如何得到MEMS陀螺仪的输出数学模型中的零漂、刻度因数和安装误差,并在得到其标定系数后将其封装在C函数中进行验证实验.通过实验数据分析可知,MEMS陀螺仪速率标定法原理简单,易于实现,且精度较高.此标定法所得到的MEMS陀螺仪输出数学模型能较准确地反映其输出,且MEMS陀螺仪的线性度有所改善. 相似文献