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对一种以方形硅膜片作为一次敏感元件;硅梁作为二次敏感元件的硅谐振式压力微传感器进行了研究:建立了微传感器敏感结构的数学模型;敏感结构参数:方形膜边长4 mm,膜厚0.1 mm,梁谐振子长1.3 mm,宽0.08 mm,厚0.007 mm;对原理实验样件采用电热激励、压阻拾振方式作了开环测试,讨论了传感器的闭环系统. 相似文献
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热激励谐振式硅微结构压力传感器闭环系统 总被引:5,自引:1,他引:4
讨论了一 执 式硅微结构压力传感器闭环系统。该谐振式硅微结构压力传感器以方形硅膜片作为一次敏感元件;硅梁作为二次敏感元件。在硅梁谐振子的中部设置一电阻,作为热激励单元;在梁的要部设置一压敏电阻,作为拾振单元。基于该夺式硅微结构压力传感器敏感机理,分析了信号的相互转换,给出传感器闭环系统实现的条件。 相似文献
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提出了一种基于TiN双谐振梁结构的MEMS谐振式压力传感器,利用TiN谐振梁的谐振频率与被测压力的关系进行压力测量。针对传感器的敏感结构建立了数学模型,通过理论分析和ANSYS有限元软件的模拟,得出了谐振梁长度的变化范围和谐振梁的结构参数,并确定了TiN谐振梁在矩形压力膜上方的最佳位置。这对传感器的结构设计具有重要的指导意义。 相似文献
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一种新型微机械谐振式压力传感器研究 总被引:2,自引:2,他引:2
提出了一种微机械谐振式压力传感器的新结构.该传感器采用了电磁激励和差分检测方式.谐振器的制作采用了30μm厚扩散硅的(100)硅片.从而实现了谐振器与压力膜的一体化,避免了谐振梁与压力膜键合引入的应力,并且工艺简单易于实现.文中介绍了结构的有限元仿真(FEA-ANSYS Simulation)优化,工艺制作流程,及实验测试.在低真空下测试其品质因数(Q)高于10 000,测量范围为0~100 kPa,非线性度为0.62%,分辨率为1/10 000,灵敏度为200 Hz/kPa. 相似文献
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基于谐振式硅微结构压力传感器幅、相频率特性的分析,利用北京航空航天大学微传感器实验室研制的谐振式硅微结构传感器开环测试系统的测试实验结果和Matlab实验数据处理与拟和分析计算,建立了微传感器的二阶模型.该模型排除了未知相位延迟的影响,从幅值和相位混合的测试数据中精确计算出谐振频率、品质因数以及相位特性,为闭环测试系统的研制提供了依据. 相似文献
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为简化谐振式微机械压力传感器的制备工艺,提出了一种采用扩散硅作为谐振梁的压力传感器,并采用电磁激励实现传感器的闭环控制.实验中发现:由于采用扩散硅材料,传感器受到较为严重的同频干扰影响,因此,消除传感器的同频干扰成为需要解决的一个主要问题.通过对采用扩散硅作为谐振梁的压力传感器微结构进行分析,建立了传感器主要噪声来源同频干扰的等效电路模型,据此提出一种新的不对称双端激励解决方法.实验结果表明,该方法可有效地降低传感器的同频干扰,传感器的信噪比由1.53提高至35,为传感器闭环激励和检测提供了有效的手段. 相似文献
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微结构谐振梁式压力传感器研究 总被引:5,自引:0,他引:5
利用微电子机械加工技术成功地研制出电势激励、压阻拾振的高精度硅谐振梁式压力传感器,传感器的谐振器的品质因素Q值大于17000。采用扫描检测方式和闭环自激振荡方式测定压力传感器的压力特性,其压力测试范围为0 ̄400kPa,线性相关系数为0.99995,测试精度小于0。06%F.S。 相似文献
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详细介绍了Druck RPT 200型硅谐振压力传感器的工作原理,阐述了大气数据系统的结构、建模及硬件实现等研制过程;该系统采用Druck RPT 200型硅谐振压力传感器替代原振动筒式压力传感器测量压力,并采用小型单板计算机作为大气数据系统的嵌入式计算机,实现高度、空速和马赫数等参数的计算,并由显示器实时显示;该大气数据系统体积和重量仅为原系统的1/10,并具有高精度、高分辨率,高稳定性和高重复性的特点。 相似文献
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双E形结构硅压力传感器的研制 总被引:3,自引:1,他引:2
介绍利用硅的各向异性腐蚀工艺腐蚀出的一种双E形结构非整体结构弹性膜硅芯片及用此芯片封装成的压力敏感元件。借助于这种硅芯片与不同厚度的封孔膜结合 ,制成了灵敏度和量程范围各不相同的性能优良的压力传感器 相似文献
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扩散硅压力传感器结构简单、集成度高、批量制造兼容性强,是目前MEMS领域研究最多的传感器类型,该类传感器面向航空航天等高端应用的最大技术瓶颈是封装后的传感器长期稳定性,因此相关长期稳定性提升技术已成为学术界和产业界广泛关注的共性关键技术。采用控制变量法和正交试验法,对比评价了疲劳脉动、冷热循环和振动时效三种常用长期稳定性提升技术对扩散硅压力传感器的作用效果。对比试验结果表明,三种技术均可改善扩散硅压力传感器的长期稳定性,且存在较优的环境应力参数组合,使传感器稳定性较试验前提升90%以上。本文的研究成果对各类硅压力传感器的长期稳定性提升具有较好的借鉴意义。 相似文献
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This paper presents a novel high sensitive MEMS capacitive pressure sensor that can be used as a part of LC tank implant circuit for biomedical applications. The pressure sensor has been designed to measure pressures in the range of 0–60 mmHg that is in the range of intraocular pressure sensors. Intraocular pressure sensors are important in detection and treatment of an incurable disease called glaucoma. In this paper two methods are presented to improve the sensitivity of the capacitive pressure sensor. First low stress doped polysilicon material is used as a biocompatible material instead of p++silicon in previous work (Gu in Microfabrication of an intraocular pressure sensor, M.Sc Thesis, Michigan State University, Department of Electrical and Computer Engineering, 2005) and then some slots are added to the poly Si diaphragm. The novelty of this research relies on adding some slots on the sensor diaphragm to reduce the effect of residual stress and stiffness of diaphragm. The slotted diaphragm makes capacitive pressure sensor more sensitive that is more suitable for measuring intraocular pressure. The results yield a sensor sensitivity of 1.811 × 10?5 for p++silicon clamped, 2.464 × 10?5 1/Pa for polysilicon clamped and 1.13 × 10?4 1/Pa for polysilicon slotted diaphragm. It can be seen that the sensitivity of the sensor with slotted poly Si diaphragm increased 6.2 times compared with previous work (clamped p++silicon diaphragm). 相似文献
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把压敏电阻敏感元件、温度补偿电路和高电平放大器,在硅片上采用集成技术制成微型应变传感器,它有电压及频率两种形式的输出。给出了该传感器的设计、制造和测试结果。这种传感器也可以做压力传感器使用,不过在设计几何布局和制造处理上略有不同。 相似文献
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