接触式干涉仪工作台平面度在量块长度测量中引入误差的探讨

通过JJG 101-2004《接触式干涉仪》和JJG146-2011《量块》检定规程,本文探讨了接触式干涉仪工作台平面度在量块长度测量中的引入误差,结果显示使用接触式干涉检定量块长度时,在极端条件下,工作台平面度引入的误差较大,可能会影响量块的合格评定。     

接触式干涉仪的数字化改造

为解决接触式干涉仪使用过程中对线不准、人工读数误差大等问题，采用图像采集与处理技术对其进行数字化升级改造。使用工业相机，将实时采集的干涉条纹图像传输至计算机，同时基于灰度投影法，实现自动定度与零级干涉条纹中心的定位，根据零级干涉条纹中心的偏移量，计算被测量块与标准量块的差值，并将相关测量信息自动存储至数据库。实验表明：改造后的接触式干涉仪性能稳定可靠，能准确计量检校三等及以下的量块长度。     

连续变焦望远镜中调焦机构位置误差的测量

介绍采用两台双频激光干涉仪同时测量连续变焦电视望远镜中变倍组和补偿组位置误差的方法,分析了影响测量精度的原因。这种非接触式测量方法,测量精度高,调整方便,并且引进的附加误差少。     

接触式干涉仪示值误差的测量不确定度

文章介绍一种应用JJF10 5 9-1999《测量不确定度评定与表示》分析接触式干涉仪示值误差测量不确定度的方法     

对接触式干涉仪检定规程第19条规定的探讨

通过接触式干涉仪示值误差检定的方法误差分析以及新的三等量块比较法检定的误差分析，探讨用新的三等量块配对检定接触式干涉仪示值误差的可行性。     

用接触式干涉仪校准千分表检定仪示值误差

分析论证了利用满足规程要求的接触式干涉仪替代电感测微仪作为主要标准器,对机械式千分表检定仪的示值误差进行校准,并对其测量结果进行不确定度评定及验证.实践表明,该方法稳定可靠、实用有效.     

接触式干涉仪定度误差分析及调整

本文从接触式干涉仪测微原理出发,运用几何光学的基本原理,导出接触式干涉仪分度值表达式,并对定分度值所产生的误差进行了分析,同时对减少定度误差提出了具体的调整方案。     

用接触式干涉仪校准千分表检定仪示值误差的应用

文章分析论证了利用满足规程要求的接触式干涉仪可以替代电感测微仪作为主要标准器,对机械式千分表检定仪的示值误差进行校准;并对其测量结果进行不确定度评定及验证.实践表明,该方法稳定可靠,实用有效,并已投入实际应用.     

判断量块检定中粗大误差的一种方法

目前,我们在量块检定中主要使用的仪器是立式光学计和接触式干涉仪,检定中发现个别量块（特别是10mm－100mm）两次测量结果已超过测量极限误差的1／3。原因主要有两个：一是在量块检定中,由于测量人员不仔细等原因造成错误的读数或错误记录,这种误差只要复检人员认真负责,即可消除。二是在量块检定中,量块之间、量块与工作台相碰产生小毛刺,带来误差。另外由于标准量块经常使用,所以标准量块的下工作面与工作台筋经常接触而产生筋痕,如立式光学计产生多条筋痕、接触式干涉仪产生三条筋痕（如图1所示）,也给量块检定带来“误差”。…     

基于单光束干涉仪的机床主轴热误差实时测量

主轴热误差是数控机床的主要热误差源,本提出了一种使用三路单光束干涉仪（SBI3）进行机床主轴热误码差的非接触式实时测量方法。可以快速准确地测量主轴热误差。实验结果表明,所测立式加工中心主轴热误差沿Z轴方向最大,约为50μm,测量误差约为1.0μm。     

干涉仪标准面非旋转对称误差的消除

提出了一种测量干涉仪参考镜非旋转对称面形误差的方法.测量波面用36项Zernike多项式来表示,利用Zernike多项式形式的旋转不变性,求解出参考面非旋转对称误差的Zernike多项式系数.测得了Zygo干涉仪参考镜不同装夹应力下的非旋转对称面形误差分布.比对了该方法和N次相对旋转测量法对同一参考面的测量结果,符合较好.分析了测量误差.该方法仅需两次测量,可有效消除干涉仪标准面低频非旋转对称面形误差.     

用接触式干涉仪测量零件的圆度

棱圆是圆度的一种,它的截面轮廓由许多不同半径及不同心的圆弧所组成,所以棱圆不能用测量直径的方法来检测。比较常用的方法是在V形铁上测量,精度要求高的则必须在圆度仪上测量。我厂产品中有直径8.5毫米的零件,要求圆度不大于0.3μm,但我厂没有圆度仪,而一般用于V形法的指示器(如千分表等)精度又不够,因此,我们以接触式干涉仪作为V形法的示值指示器进行测量。测量结果与圆度仪的测量结果基本一致。由于用接触式干涉仪,其示值误差为:     

激光干涉仪在大型三坐标测量机示值误差快速测量中的应用

提出一种使用激光干涉仪快速测量大型三坐标测量机示值误差的方法。描述了校准方法原理,建立了测量模型,探索了试验程序和试验方法,并给出对三坐标测量机示值误差校准的具体方法和步骤,使测量过程中激光干涉仪引入的误差尽可能减少,最后给出校准结果。分别采用激光干涉仪与传统标准量块得到的校准数据比对结果表明,激光干涉仪在大型三坐标测量机示值误差的校准中更加准确、可靠。     

量块标准装置更新改造方案

本文论述了包括柯氏干涉仪和接触式干涉仪在内的量块标准装置更新改造的必要性;国内外量块检定现状和仪器;研究改造内容和技术方案;改造后达到的技术指标和技术水平,并分析了量块标准装置更新改造后可能产生的社会效益和经济效益。     

193 nm移相点衍射干涉仪的测量误差分析

为了提高移相点衍射干涉仪对193 nm投影光刻系统的检测精度,本文对其主要测量误差进行了探讨.在简要介绍了193 nm移相点衍射干涉仪的基本结构和测量原理之后,总结了可能对测量结果产生影响的各种误差及其产生的原因.通过理论分析和数值模拟的方法分别对参考波前误差,相移误差、探测器非线性误差以及光源波动,环境变化引起的随机误差等进行了具体分析,从而得到各种测量误差的大小、存在形式以及与干涉仪结构参数的依赖关系,并提出了相应的避免或减小误差的方法.     

接触式干涉仪的调整和修理

0引言 接触式干涉仪是以光波干涉原理为基础，采用微差比较法测量长度的高准确度仪器。主要用于检定尺寸小于150mm的2等和2等以下的量块，也可对其他高准确度零件进行测量或作高准确度定位。在一般计量部门．接触式干涉仪较多地使用于检定和校准3、4等量块。     

光纤位移干涉仪测高速漫反射面速度误差分析

首次从理论上分析基于单模光纤的位移干涉仪用于高速漫反射面速度测量的相位误差,包括来源和大小及其与系统各参量的关系.计算了光束从光纤出射,经漫反射面反射,再耦合进单模光纤的光场表达式.结果表明,相位误差的来源包括两部分:光束传输衍射效应及漫反射面表面的随机相位特性.由相位误差引起的位移和速度相对误差都在10-6量级,并且同时采用VISAR和光纤位移干涉仪来测量爆轰加载下铜飞片的速度轨迹.实验结果表明,单模光纤位移干涉仪的实际测量精度可以和VISAR相当,证明了单模光纤位移干涉仪用于高速漫反射面速度测量的可行性.     

国产接触式干涉仪改装用于平面度测量

根据某研究所工作的急需,我们将国产JDS—1型接触式干涉仪进行改装后用于磁头基体平面性的测量获得成功。现将改装情况介绍给大家,供参考。一、仪器的改装将JDS—1型接触式干涉仪改装成磁盘用磁头基体平面性测量仪,共分四部分。     

长度计量基础知识讲座(二十七) 第二十七讲 接触式干涉仪

1概述接触式干涉仪(以下简称干涉仪)是应用光波干涉原理,采用微差比较测量法测量长度的高精度计量仪器。干涉仪由前苏联计量仪器专家乌威尔斯基设计并制造,因此通常称为乌氏干涉仪。干涉仪主要用于检定尺寸小于150mm的3等及以下量块的尺寸,也可以对其他高精度零件进行精密测量或作高精度测量的定位。     

一米测长机改造研究

采用上海光学仪器厂JDS-1型接触式干涉仪关键部件对卡尔·蔡司·耶拿[Carl Zeiss Jena]一米测长机进行改造将其原有测量精度提高一个数量级,改造后可用于3等量块100mm以上到1000mm的高精度比较测量。本方法优点成本低,易于实现,读数直观可靠稳定,干涉管可根据需要定相应分辨率,光路全程均为光学器件,方法可逆,经济实用。