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TiO2-SnO2复合氧化物介孔薄膜的气敏特性研究 总被引:1,自引:1,他引:0
采用蒸发诱导自组装工艺制备了TiO2-SnO2介孔金属氧化物薄膜。采用静态配气法,研究了不同掺杂量SnO2对TiO2元件气敏性的影响,并通过测定电化学阻抗谱,分析了介孔金属氧化物的气敏机理。结果表明:随着SnO2掺杂量的增加,TiO2元件对乙醇气体灵敏度也随之提高,而初始响应温度则随之降低。在250℃时,20%-TiO2和SnO2元件对体积分数为500×10-6乙醇的灵敏度分别为13.24和14.26。阻抗分析表明:复合氧化物对还原性气体敏感过程具有明显容抗特征。 相似文献
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用共沉淀法制备了镍镧复合氧化物并对其进行三价、四价离子系列掺杂。研究了掺杂物的气敏性能。实验结果表明,SiO2,TiO2,SnO2,Al2O3,SbCl3等掺杂的复合氧化物,均对乙醇有较高的气敏性,而对汽油、H2及LPG等气敏性较低。其中TiO2掺杂量为4%(摩尔分数)的镍镧复合氧化物对乙醇的气敏性能最好。探讨了Si,Ti,Sn,Al,Sb等离子的价态,离子半径及复合氧化物的形成条件等与气敏性能的关系,研究了工作温度,被测气体浓度对元件气敏性能及对气体选择性的影响。 相似文献
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金属氧化物气敏传感器是金属氧化物与被测气体发生作用后, 改变了它的电性质, 从
而把气体成份、浓度等化学信息转换成电的信息的一种元器件金属氧化物的电性质与材
料的点缺陷有密切的关系, 因而研究点缺陷理论对了解金属氧化物气敏传感器的作用原
理, 改善其气敏性能都是很必要的 相似文献
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金属氧化物气敏传感器 总被引:3,自引:0,他引:3
6结论与展望 6.1气敏传感器近年来的研究开发成果 以二氧化锡可燃性气体传感器为代表的金属氧化物半导体气敏传感器和以二氧化锆浓差电池氧气传感器为代表的金属氧化物固体电解质气敏传感器实用化以来的短短几十年,金属氧化物气敏传感器事业得到很大的发展,特别是近20年来,它引起了世界主要国 相似文献
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NO2高选择性气敏元件及其表面修饰 总被引:2,自引:0,他引:2
本文报导了用WO_3气敏材料制作高灵敏度、高选择性N0_2气敏元件的研究结果,并利用修饰技术在元件特性的改善和提高方面做了初步实验,对元件敏感机理也做了初步探讨.结果表明,元件对N0_2具有高灵敏、高选择特性,元件阻值合适且响应恢复快,并有良好的抗湿度特性,通过对元件气氛处理、掺杂等表面修饰技术可明显提高元件的气敏特性. 相似文献
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ITO薄膜的气敏特性 总被引:4,自引:0,他引:4
本文研究了胶体法制备的ITO薄膜的气敏特性;并同时研究了各种掺杂杂质对ITO薄膜的气敏特性的影响。通过实验发现ITO薄膜对乙醇气体具有最高的灵敏度,对二氧化氮等也有较好的敏感特性。一般催化剂型掺杂物如贵金属等掺杂杂对提高ITO薄膜的灵敏度没有多大帮助。ITO薄膜与SnO2薄膜相比具有更高的稳定性。ITO薄膜的气敏特性既具有表面控制型的特征,又权有体效应气敏材料的敏感特性。 相似文献
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碱金属氧化物掺杂
对TiO2-V2O5系湿敏陶瓷的影响
’ 总被引:1,自引:1,他引:0
本文研究了碱金属氧化物掺杂对TiO2-V2O5系湿敏陶瓷的影响.结果表明:掺入碱金属氧化物和烧结温度等将影响材料的微结构及湿敏性能,其中含K2O材料有较高的湿敏性能.元件经聚合正硅酸酯溶液浸泡在50℃,85%RH下老化50h,提高了元件的湿度灵敏度和稳定性。 相似文献
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本文介绍了, 以!? ?( ) · ? + 刀为原材料, 用,% ?
一罗. 技术制备(灸% 掺杂的!? / 。薄膜气
敏材料0
研究掺杂量、工艺条件、衬底材料对气敏特性的影响0
实验表明(, 1 % ) 掺杂的!? 几
薄膜气敏材料对以飞有很好的响应特性, 即有高的灵敏度和快的响应时间0 随翎含量的增加
〔# 一?% & 2 34 均, 灵敏度增加, 工作温度向低温方向移动
0 在低氧分压下热处理, 能形成精细
的晶粒与孔洞, 灵敏度大幅度增加
0 相似文献
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本文介绍了,以SnCl.2H2O为原材料,用sol-gel技术制备La2O3掺杂的SnO2薄膜气敏材料。研究掺杂量、工艺条件、衬底材料对气特性的影响。 相似文献
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利用射频溅射在硅衬底上制作Pt膜电极,以溶胶-凝胶法制作的低阻SnOx为敏感层制成平面热线式气敏元件。研究了工艺条件,掺杂行为及其对气敏特性的影响,掺Sb及Pt石棉在700℃烧结1.5h的元件对H2,NH3灵敏度较高。 相似文献