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用磁控溅射技术制备了Cu-Ta合金非晶薄膜,并采用扫描电子显微镜研究了压应力导致非晶薄膜表面形变和纳米晶化现象。结果表明:在纳米压头的作用下,非晶薄膜表面压痕的锯齿流边沿处形成了纳米级颗粒(纳米晶化)结构,且压痕外沿的颗粒尺寸大于内沿的颗粒尺寸。导致上述微观结构变化的主要原因可能是非晶自由体积流变膨胀过程中,压头的压应力使材料内部自由体积发生移动,在非晶基体中汇集成一些空位或气团,纳米晶粒在这些空位或气团处形核并长大;当气团积累到一定体积发生爆裂,导致屈服变形,纳米晶粒被挤到压痕锯齿流的前沿。 相似文献
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纳米硬质薄膜的研究进展 总被引:3,自引:0,他引:3
介绍了纳米硬质薄膜的概念、设计思想、超硬机制、制备技术及工艺、性能、应用前景,综述了近几年来国内外纳米硬质薄膜材料研究的最新进展,对纳米硬质薄膜的发展趋势提出了一些看法。 相似文献
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介绍了纳米硬质薄膜的概念、设计思想、超硬机制、制备技术及工艺、性能、应用前景,综述了近几年来国内外纳米硬质薄膜材料研究的最新进展,对纳米硬质薄膜的发展趋势提出了一些看法。 相似文献
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纳米硅薄膜研究的最新进展 总被引:18,自引:0,他引:18
纳米硅薄膜(nc-Si:H)是一种新型低维人工半导体材料,它具有新颖的结构特征与独特的物理性质。综合评述了这种材料在制备方法、结构特征、输运性质和发光特性等方面的最新研究进展,并指出了今后的发展方面。 相似文献
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用Ar气和N2气分别作为溅射气体和反应气体,采用射频反应磁控溅射法,通过调节工作气体(Ar气与N2气的混合气体)中N2的含量(体积分数)φ(N2),在硅(100)衬底上制备一系列六方结构AlN多晶薄膜,利用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和纳米压痕仪等对薄膜特性进行测试与分析。结果表明,φ(N2)对AlN薄膜的择优取向、结晶性、沉积速率与力学性能的影响都十分显著,对薄膜的微观结构和表面粗糙度也有一定影响:随φ(N2)增大,薄膜的厚度和沉积速率逐渐减小,结晶性也发生显著变化;较高的φ(N2)有利于AlN薄膜沿(002)晶面择优生长;φ(N2)对AlN薄膜的硬度影响较大,而对弹性模量影响较小。实验制备的AlN薄膜具有良好的纳米力学性能,硬度平均值在12.0~29.3 GPa之间,弹性模量平均值在184.0~209.8 GPa之间。 相似文献
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为了对纳米TiO2薄膜做进一步的研究和扩大它的应用范围,介绍了纳米TiO2薄膜特性、主要制备方法和应用现状,最后结合目前纳米TiO2薄膜的研究情况,提出了今后有待解决的问题。 相似文献
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根据流体力学有限元理论 ,对新型动压推力轴承的承载力作了计算 ,并在可逆式动压推力轴承实验台上进行了验证 相似文献
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Neodymium-doped strontium bismuth titanate (SrBi4-xNdxTi4O15) ferroelectric thin films were fabricated using the sol-gel method on Pt/Ti/SiO2/Si substrates. The influence of Nd content on the microstructure and ferroelectric properties of SrBi4-xNdxTi4O15 thin films were systematically studied. The results indicated that the SrBi3.88Nd0.12Ti4O15 (SBNT0.12) thin films had better ferroelectric properties, with a remanent polarization of (2Pr) of 34.3 μC/cm^2 and a coercive field (2Ec) of 220 kV/cm. This could be attributed to the fact that SBNT0.12 ferroelectric thin films consisted of more and larger ball-like grains, approximately 150-200 nm, with structure distortion, which greatly contributed to the improvement of the ferroelectric properties of the films. Furthermore, the film exhibited a good fatigue resistant property. The value of 2Pr after 10^10 switching cycles did not change significantly. The SrBi3.88Nd0.12Ti4O15 films were promising candidates for the application of FeRAMs. 相似文献
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通过化学成分分析、硬度测试、金相检验及断口分析等对汽车转向垂臂断裂原因进行了分析,结果表明,转向垂臂退火态组织硬度未达到设计使用要求及臂身表面脱碳严重,导致材料的疲劳强度降低,,造成了转向垂臂的早期断裂。 相似文献
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利用磁控溅射方法在单晶硅基片上制备出不同Al含量AlCN非晶薄膜,随后分别在700℃和1000℃进行真空退火热处理.使用X射线衍射仪和高分辨透射电镜研究了沉积态和退火态薄膜的组织和微观结构,用纳米压痕仪测试硬度和弹性模量.结果表明,退火态薄膜组织和微观结构强烈依赖于薄膜的Al含量.经1000℃退火后,低Al含量AlCN薄膜没有出现结晶现象,但形成了分层;高Al含量AlCN薄膜中,退火促使AlN纳米晶的生成,使薄膜形成了非晶包裹纳米晶的复合结构,随着距表面深度的增加,形成的纳米晶密度和尺寸均有减小的趋势.随着退火温度的升高,AlCN薄膜的硬度和弹性模量均降低;而对于高Al含量AlCN薄膜,由于形成了纳米复合结构,硬度和弹性模量下降幅度减少. 相似文献