JS—3型光栅定位精缩照相机

制版是半导体集成电路生产的第一道工序,掩模的套准精度、表面质量,直接影响电路的质量及成品率。在超大规模之前的中大规模集成电路的发展中,常规的制版,甚至在自动制版系统中,精缩照相机仍然是制版工艺的一项关键设备。 1970年前后,国外精缩照相机已有系列化定型产品,包括单头机和多头机。单元图形面积最大可达10×10毫米,掩模最大面积可达到150×150毫米,线条达到1微米,重复精度达到±0.1微米～±0.25微米(标准误差),其定位方式基本上采用激光和光栅两种形式。这些设备已能满足     

JS—3型精缩照相机一次定位方案

前言分步重复精缩照相机在近二十年左右的发展过程中,虽然主体结构没有太大差异,但是由于激光干涉测量法和莫尔条纹测量法的采用,而淘汰了靠丝杠精度来实现的定位方式。加之驱动系统和电控功能的完善,使其定位精度从几个微米,一跃进入零点几个微米。在激光干涉测置法和莫尔条纹测量法,进入相互媲美的阶段,很难全面地评价那一种优越,不过在使用环境适应性方面,条莫尔纹测量法的占先,确是显而易见的,至少国内情况是这样。     

双极型装控晶体管模型及原理

本文提出一种新的双极型压控晶体管模型，并说明其工作原理。这种器件有两种载流子参与导电，有较大的电流密度和功率，导电能力又受电压控制，具有较大的输入阻抗，兼有双极器件和ＭＯＳ场效应器件的特点。     

双极型压控晶体管模型及原理

本文提出一种新的双极型压控晶体管模型，并说明其工作原理。这种器件有两种载流子参与导电，有较大的电流密度和功率，导电能力又受电压控制，具有较大的输入阻抗，兼有双极器件和MOS场效应器件的特点。     

GK—3型半自动光刻机工作原理及性能分析

为了实现半导体工业的全线自动化生产和半自动化生产,近十年来,世界上许多国家都在这方面做了大量研究和实验,以寻求用自动光刻机制出集成度更高、质量更加稳定的新型电子元、器件。可是到目前为止,世界各国还没有真正可以使用的自动光刻机,都仍有很多问题需要改进和完善;如果采用半自动光刻机完成光刻工序的主要劳动,即将是非常合适的。首先,它比手动光刻机的生产率高,劳动强度低、质量稳定。再者,它比自动光刻机造价低廉、易维护、对环境要求和工艺要求都不那么严格。同时,它也是发展自动光刻所必不可少的第一步。     

虎丘HQ35—3EF型相机电路原理与检修

一、电路原理简述1.电子程序快门电路虎丘HQ35—3EF是一款流行的自动曝光一体型相机,其电路原理如附图所示。电子程序控制电路由国产集成电路SF1212等组成,该IC引脚功能如附表所示。自动曝光工作过程为:快门未上弦时,电源开关S1、计时开关S3断开,自然光/     

《定子—1》型热象探伤仪

大功率发电机的生产和使用过程中碰到的故障,往往是活性钢片之间的漆绝缘层遭到破坏,以定子发热的形式反映出来。为了能够在涡轮发电机及同步补偿器定子的生产过程中和在对热电厂进行预防检修时,检查出类似故障,创制了《定子—1》型热像探伤仪。     

雄鹰FD—2005型功放电路原理

<正> 雄鹰牌FD-2005型数码卡拉OK功放机的主要技术指标是:功放输出功率(P.M.P.O)达2000W;额定输出功率达300W(8Ω);频率响应为20Hz～40kHz;输出灵敏度/输入阻抗在信号源为CD/CDV/TUNER/TAPE时为150mV/33kΩ,在信号源为MIC时为50mV/600Ω;总谐波失真度为0.07％;信噪比达90dB。