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刘晔东 《热处理技术与装备》1991,(1)
表面改性有两种类型,其一为表面处理,由此改变表面的化学成分或物理、机械性能;其二为薄膜沉积或镀层,由此产生一新的表面。近二十年,表面改性技术由于新工艺的出现发展迅速,在微电子学工业得到广泛应用。并取得显著经济效益。开发表面改性技术的主要目的即降低成本(用廉价的材料于一些特殊用途)、改善性能(如耐磨性、耐蚀性)及获得独特的性能(如特殊的电、光特性)。在日本,气相沉积技术已很普及,工业界、政府,大学试验室做了大量的研究工作。日本这一技术可以说处于世界先进水平。 相似文献
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CVD技术的应用与进展 总被引:7,自引:0,他引:7
简要论述了化学气相沉积(CVD)技术的工作原理,与其他表面硬化技术相比的特点,应用领域,以及近年来发展的金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)、等离子体化学气相沉积(PCVD)、激光化学气相沉积(LCVD)、超高真空化学气相沉积(UHVCVD)和热丝化学气相沉积(HWCVD)等新CVD技术,展望了该技术的发展趋势和应用前景。 相似文献
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主要对新近由PVD或CVD法形成的几种功能薄膜的技术特性和应用情况作出概况,从而是展示了功能薄膜的发展动态。 相似文献
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应用气相沉积技术可以获得微米级或纳米级的单层或多层新颖材料.其中硬质膜在机械零件和加工工具上的应用一直是人们最感兴趣的重要方面.目前,对涂层硬质合金主要应用CVD技术,涂层高速钢和高合金钢主要应用PVD和PECVD技术.本文阐述具有高淬透性、二次硬化能力和淬火加热奥氏体化温度接近CVD涂覆温度的工具钢,在CVD涂覆的前后采用强化的热处理和表面保护的工艺方法进行处理,可以获得具有优良的基材性能和优异的CVD涂层的零件,将大大提高零件的使用寿命. 相似文献
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本文主要介绍化学气相沉积(CVD)技术应用于冷拔模具以及采用该技术的模具在制作过程中的几个问题。并列出了应用实例,表明模具寿命有明显提高。 相似文献
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李澍臻 《特种铸造及有色合金》1998,(3):22-23
研究了内含耐火涂料的纤维素酯快速成膜配剂的空气喷涂及其喷涂成膜在V法铸造中的应用。V法快速成膜配剂经空气喷涂后,一般1~2min内可固化成膜,其膜可应用于塑料薄膜无法覆膜的复杂铸件,特别是所成薄膜对于铸铁及有色金属,无需另刷耐火涂料,可直接浇注铸件 相似文献
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日本山阳特殊钢公司近年来开发了一系列能满足多种要求的高功能不锈钢 ,包括切削用不锈钢和冷锻用不锈钢。作为切削用的高功能不锈钢 ,有电磁不锈钢QMR系列 ,近来又进一步提高了耐蚀性开发成功新型QMR5L不锈钢 ,主要用作油压阀、空气阀等电磁阀门。在切削用的马氏体系不锈钢之中 ,新开发的QS41 6LX不锈钢适用于旋转轴件等。另外 ,还有重切削用的新型高耐蚀性不锈钢QSF1 90L ,作为个人电脑硬盘部件用的钢种 ,有效地提高了不析气的性能 (抑制了钢中硫化物与空气中水分发生反应 )。作为冷锻加工用的高功能不锈钢 ,开发了电磁不… 相似文献
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CVD金刚石薄膜的微机械加工技术研究进展 总被引:5,自引:0,他引:5
金刚石薄膜是一种蕴涵巨大应用潜力的新型电子功能材料,但是它极高的硬度和化学稳定性使其难以被加工成型,因此,金刚石薄膜的微机械加工技术是其MEMS应用的关键技术问题之一,本文介绍了近年来国内外在选择性生长,模型复制,激光刻蚀和等离子体刻蚀等金刚石微机械加工技术方面的研究进展,着重探讨了可以直接对金刚石薄膜进行微细加工的反应离子刻蚀技术,提出了改善微机械加工效果的金属掩膜侧壁钝化概念,为MEMS器件的金刚石微结构集成制造开辟了更为精确有效的技术途径。 相似文献
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CVD金刚石薄膜衬底表面预处理技术进展 总被引:4,自引:1,他引:3
评述了化学气相沉积金刚石薄膜衬底表面预处理技术的进展情况。分析了表面研磨法、等离子刻蚀法、浸蚀除钴法、沉积中间层法在衬底表面形成稳定化合物等预处理对CVD金刚石薄沉积的影响。结果表明,金刚石粉末研磨基底、化学浸蚀除钴、在基底表面添加中间层以及在基底表面渗入第三元素并且使这种元素和基底表面的钴形成稳定中间化合物的方法都可提高金刚石的形核率,但大部分研究表明等离子体刻蚀预处理对金刚石的形核则起阻碍作用。 相似文献
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采用化学气相沉积方法制备纯钨药型罩,并进行静破甲试验,对试验后回收的杵体进行微观分析,以此研究纯钨在爆炸驱动下的变形机制。结果表明,杵体内不同区域由于变形量不同,其微观组织特征存在显著差异,通过分析不同变形区域纯钨的微观组织演化过程得出纯钨在爆炸加载条件下的变形机制为动态再结晶,且属于亚晶旋转动态再结晶机制,没有孪晶参与变形,CVD纯钨原始柱状晶的择优取向对其变形机制未见有显著影响。 相似文献