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阐述了多晶硅还原尾气回收的主要工艺过程,并用Aspen大型过程模拟软件进行了模拟优化,在分析讨论干法回收工艺存在的主要问题的基础上,对现有工艺进行了优化改进。将作为吸收剂的氯硅烷在吸收塔的进料温度从-40℃降至-50℃,HCL解析塔塔顶气液相混合出料改为气相出料,同时增加解析塔换热器,减少了作为吸收剂的氯硅烷循环量,热量利用更加合理,能耗显著下降,大大降低了回收成本,同时回收氢气中杂质质量分数从11.14%减少至5.99%,降低了吸附塔操作负荷,提高了回收氢气品质,有利于多晶硅产品质量的稳定;同时将HCL的回收率从96.61%提高到99.98%,降低了氯耗;与此同时,大幅度降低了冷、热负荷的消耗且采用低品位蒸汽取代高品位蒸汽,节能降耗效果十分明显。 相似文献
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简单介绍了多晶硅生产采用的改良西门子法,着重介绍了尾气处理及氢气净化的原理、工艺流程及还原炉尾气处理实例。 相似文献
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针对改良西门子法中尾气回收精馏工序的节能要求,用过程模拟软件Aspen Plus对流程进行模拟优化。首先,通过SiHCl3-SiCl4物系汽液平衡实验数据与用不同热力学模型模拟出的汽液平衡数据比较,然后将Aspen软件模拟出的进料物流的热容值与实际计算的热容值进行比较,筛选出了能最佳描述本体系热力学性质的热力学模型RK-Soave,建立了热力学模型;其次,将用Aspen软件模拟得出的进料物流的纯组分密度与查阅文献计算得到的密度进行比较,考查了所选热力学方程的可靠性。对多晶硅尾气回收段的精馏工序进行模拟优化,得出各塔的最优参数。 相似文献
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针对多晶硅还原尾气干法回收过程中吸附塔再生氢气的排废所带来氢气浪费、废气处理成本高、污染物排放量大等问题,采用变温、变压吸附工艺将再生氢气净化后回收利用。通过对净化后产品的组分和成本分析,总结出再生氢气回收利用给多晶硅生产带来巨大的经济和环境效益。 相似文献
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影响多晶硅质量的因素 总被引:1,自引:0,他引:1
在三氯氢硅加氢还原生产多晶硅过程中,影响产品品质的因素有:三氯氢硅提纯、三氯氢硅加氢还原和外来杂质等.多晶硅分析要求精度高而分析方法中存在不足,建议从整个多晶硅生产工艺来分析和判断多晶硅杂质产生的原因. 相似文献
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介绍了宁夏西部聚氯乙烯有限公司采用变压吸附法回收VCM精馏尾气的新工艺,与原活性炭吸附工艺法相比,具有PLC自动化控制程度高、运行稳定、操作方便、安全性能好等优点。实际运行结果表明:采用变压吸附法工艺回收VCM精馏尾气,VCM、C2H2回收率大于99.9%,排放的尾气中VCM质量浓度小于36mg/m^3,C2H2质量浓度小于150mg/m^3。 相似文献
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采用高铁酸钾处理多晶硅废水,考察了初始p H、高铁酸钾投加量和反应时间对污染物去除效果的影响。结果表明,高铁酸钾通过氧化和絮凝作用去除污染物。初始p H为4时,高铁酸盐对COD和浊度的去除率最高,初始p H在5以下时高铁酸盐除F-效果好;初始p H为4、最佳投加量为500 mg/L情况下,高铁酸盐对COD的去除率达到43.4%。纳滤分析表明高铁酸盐氧化能使聚乙二醇断链降聚,改善了多晶硅废水的可生化性。 相似文献
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总结了江西景德半导体新材料有限公司1 500 t/a多晶硅装置安装调试情况,指出:设备的合理选型是达到设计能力的前提,装置清洗是保证系统清洁度的关键,规范施工是确保装置顺利开车的有力保障,所以从立项到试开车,每个阶段都需要制定一个缜密完善的施工方案,保证安装品质,使装置能够顺利达标、达产。 相似文献