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目前,国内尚无针对CNC数控机床在线测量系统的相关的标准和校准规范。为统一技术要求,本文研究了CNC数控机床在线测量系统的工况条件及其计量特性参数,提出了有别传统三坐标测量机校准方法的校准方案,研制了符合基于公差带位置判别废品原理的标准器组,以在线测量系统的测工件的方式,反向校准CNC在线测量系统的尺寸精度,解决其量值溯源问题。 相似文献
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为了实现半导体行业内关键尺寸测量仪器的校准问题,展开了纳米尺寸线宽标准样片的研究工作。采用多层膜沉积技术研制了尺寸为20 nm和50 nm的纳米级线宽标准样片。针对标准样板整体尺寸小、仪器测量视场小所引起的校准时不便寻找的问题,以及由于样板线边缘质量问题导致每次测量不同位置结果相差太大的困扰,设计了定位循迹标志。共设计9组标志,每组标志9个标记格,每个标记格的宽度尺寸为0.5μm,标记格的间隔为2.5μm,每组标志之间的距离为100μm。采用半导体工艺进行加工,可以快速准确地寻找到标准的测量位置,保证了每次测量结果的重复性,有效提高了测量速度及准确性。 相似文献
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为了解决静强度变形测量试验中,拉线传感器两维角度偏转引入的测量问题,采用转台提供标准偏转角度、拉线传感器正交安装测试的方法,突破了变角度工作条件下的拉线传感器校准技术,提出了基于正交安装的灵敏度系数校准方法,构建了校准装置,并通过两个正交方向的灵敏度系数合成,提出了拉线传感器正交误差模型的建立方法,最终为拉线传感器变角度工作条件下的现场误差测算提供了方案,实现了静强度试验中变形量测量的快速评定。拉线传感器校准方法的探索,对其在测试领域的应用起到了促进作用。 相似文献
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当前试飞测试系统压力参数的校准主要采取拆卸后在实验室校准的方式,存在校准时间长,多次拆装容易造成接口损坏的问题。为了解决这个问题,研究一种压力参数的在线校准方法,实现了真实工况下的原位比对校准。通过实验获得了标准压力传感器在温度复合情况下的量值特性规律,构建了温度补偿模型,实现了标准压力值的准确获取。研制了由三个不同量程标准压力传感器、环境温湿度和大气压传感器以及在线校准软件等组成的校准装置,通过初步实验验证了校准方法和装置的合理性。该方法可以作为实验室校准的有效补充,降低校准的人力和时间成本,提高飞行试验的效率。 相似文献
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目前CNC机床在线测量系统的校准方法在国内有用激光干涉仪、标准量块等一些用于企业的针对性方法,缺少适用于计量校准机构的校准方法,本文根据该系统的工作原理,对CNC机床在线测量系统的校准方法进行研究,提出几项计量特性参数,并结合实际情况设计了校准方案,研制了校准用计量标准器,分析了数据的处理方法.经研究表明,本文的校准方... 相似文献
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