激光定位工件台系统电控系统

本文总结了用于可变矩形电子束曝光机激光定位工件台电控系统的研制及实验经验。探讨并解决了高速运行工件台的精确定位问题。本电控系统由微机控制,双频激光测量,运行造度快、定位精度高、效率高、稳定可靠,操作方便,灵活。     

激光定位工件台

本文叙述了可变矩形电子束曝光机激光定位工件台的结构特点及所达到的各项指标。     

激光定位工件台系统鉴定意见

鉴定会审查了光电所提供的激光定位工件台系统实物与研制报告,以及中国计量科学研究院、科学院电工所、科学院光电所等三个单位组成的检测组提供的《激光定位工件台系统检测报告》等技术资料,认为技术资料和图纸齐备,检测组的检测结果是可信的。与会代表同意检测组的检测报告。     

激光定位工件台系统的研制

一、引言电子束曝光是近代微电子技术中最引入注目的一门新技术,它为制作大规模,超大规模集成电路以及声表面波、光集成、磁泡等器件提供了一项全新的微细加工技术。早在六十年代美日等国就在扫描电镜的基础上开展了电子束曝光的研究,至七十年代由于     

激光定位工件台系统检测报告

由中国计量科学研究院王正强(工程师,工程测试室副主任)、陈永江(助理工程师),中国科学院电工研究所朱琪(副研究员,研究室副主任),中国科学院光电技术研究所陆德基(副研究员),龚幼蓉(工程师)等五位同志组成了检测小组,组长为王正强同志。检测小组自1982年4月16日至23日对激光定位工件台系统的鉴定项目及检测项目进行了讨论和测定。     

激光定位工件台系统干涉仪设计

本干涉仪是电子束曝光机之激光定位工件台的重要组成部分,它提供了 X—Y方向100×100毫米位置测量。为实现干涉系统的0.04微米测量精度,对其结构设计严格要求。本设计解决了干涉仪温度变形,长期稳定性,光学系统间几何位置精确调整及调后位置保持不变等问题。     

激光定位工件台系统脱机手动控制

文中主要介绍了利用单板机TP801编制的控制输片系统动作及测量工件台定位精度的软件。     

激光定位工件台电机伺服系统

一、问题的提出本系统为激光定位工件台的伺服系统驱动及驱动控制部份。根据激光定位工件台任务书,本系统的研制要求为:1、最大负载转矩:1.5公斤/厘米;2、最大运行速度:3毫米/秒;3、低速运行乎稳性能好;4、为了调机方便,具有手动和自动,以及用锁紧机构和不用锁紧机构两种功     

可变矩形电子束曝光机激光定位工件台系统

文中概述了系统结构设计的误差分析,阐明了主要设计思想和结构特点,介绍了整机概况和操作控制原理。最后列出了所达到的各项主要技术指标。即工件台行程X·Y分别为135×110毫米,激光干涉仪分辩率为0.02微米,工件台定位精度±1微米,最大速度20毫米/秒,步进速度0.11秒/2毫米,真空度达到2×10~(-5)托。     

激光定位工件台干涉仪装校

一、概述和技术要求在电子束曝光机中,激光干涉仪测量工件台的位置精度是获得高精度掩模版图形的重要环节。因此对激光定位干涉系统不仅要 1、组合干涉分光镜与长条直角反射镜相对位置的正确,即使组合干涉分光镜的棱线垂直于长条直角反射镜镜面棱线,不垂直度小于30角秒,以保证干涉圈的质量。     

激光定位工件台零件退磁处理

电子束曝光是近代微电子技术中最引人注目的一项新技术。我所按照科学院指示,开展了为电子束曝光机用的精密工件台系统的研制工作。在研制中涉及到其中一些钢件的退磁问题。电子束曝光是将电子枪发出的高速电子通过电磁透镜聚焦成细电子束,在涂有光致抗蚀剂(光刻胶)的铬(或氧化铁)版上逐点扫描曝光来制作掩模版或直接在涂有光致抗蚀剂(光刻胶)的硅片上进行光刻的。因     

电子束曝光机用激光定位工件台交付使用

中国科学院光电技术研究所研制成功的激光定位工件台系统,已于1982年10月从四川成都运抵中国科学院北京电工所与电子束曝光机其他部分相配。经光电所、电工所同志的共同努力,仅仅用了一个月时间即安装、调试、检测完毕。检测结果略优于鉴定     

激光定位工件台位置测量及电气控制系统

作为电子束曝光机的激光定位精密工件台的位置测量和控制电路。本电路将电子束曝光机的大脑——电子计算机与工件台连接起来。而且由于计算机容量有限,对工件台的控制工作很多都要由本电路完成。总的来说,它可完成四种功能:1、平面座标系上的位置测量,为计算机随时提供工件台的准确位置代码;2、根据拼接图形的要求。将工件台平稳地停在预定座标位置上;3、在工     

亚微米电子束曝光机激光工件台系统

介绍了正在现场使用的亚微米电子束曝光机激光工件台系统，详细论述了它的技术特征，分析了影响重复测量精度的误差因素，给出了系统各部分实际检测达到的技术指标。     

智能双纵模激光稳频系统的研究

为同时满足双纵模氦氖激光器的稳频精度和响应速度要求,提出一种嵌入式智能控制激光稳频系统。以AT89S52为核心,整个系统通过控制激光管的电流大小以改变激光管谐振腔腔长,从而达到稳频的目的;并基于分段式PID控制算法实现了稳频系统的软件开发。经试验证实:该系统满足设计要求,稳频精度保持在10-8以内;在外界强干扰情况下,恢复原来的状态后,激光器在30s内也可以重新稳住。与以往传统的PID控制系统相比较,该系统大大提高了抗干扰能力和响应速度。     

双通道激光稳频器

一、引言在某些工业应用中要求激光运行时间长、环境温度变化大、且具有克服温漂影响而装置简单的稳频激光器。通常可采用一类“无差”自动调节系统来稳定激光频率,但是由于作为自动控制系统的伺服电动机是振荡环节,往往需要复杂的校正网络,且有机械接触和惰性大等缺点。我们把可逆计数器作为理想积分元件,应用在氯氖激光频率稳定上,取得了较好的效果。     

二氧化碳激光稳频工作简讯

中国计量科学研究院量子室在研究二氧化碳(CO_2)激光稳频工作中,自制了CO_2气体吸收室(有球形和椭球形两种),将它置于CO_2激光腔中,已观察到萤光蓝姆凹陷,凹陷深度     

双纵模激光热稳频光源

介绍一种双纵模激光器的稳频装置原理及其电源电路。对稳频机理进行了理论分析，并说明具体调整方法。该光源采用新的热频原理，在普通的全内腔Ｈｅ－Ｎｅ激光器上获得了与塞曼型稳频激光器同一量极的稳频精度，具有成本低，稳频装置简单的特点。     

基于双纵模热稳频激光源的6D激光测量系统

针对目前数控设备无法实现高速及多参数同时测量的问题,以双纵模热稳频激光源为基础,自主研发了高速6D激光测量系统,不仅允许测速高(可达1.3m/s以上),而且解决了现有5D/6D激光干涉仪未能有效解决的高精度测量滚转角的问题,具有很好的推广应用价值.     

机抖激光陀螺稳频控制技术

激光陀螺的工作中心频率作为激光陀螺的工作计量基准,其频率的稳定性对激光陀螺的测量精度有着直接的影响．稳定激光陀螺工作中心频率最为有效的方法就是采用主动腔长补偿控制．在对腔长控制原理和方法介绍的基础上,提出了将激光陀螺输出光强信号进行交直流分量分离独立控制的方法,并给出了系统的硬件设计框图,最后介绍了软件设计流程．测试结果表明漂移均方差在0．4°·h-1以内,满足系统的使用要求．