微细机械加工技术

随着微型机械的应用领域进一步拓展,微细机械制造加工技术得到了快速发展.在介绍了微细切削加工、微细电火花加工、微细蚀刻以及微细电解加工的基础上,对其加工特点和性能进行了比较,讨论了微细机械加工发展的方向与关键问题.     

微型机械加工技术,途径和发展方向的研究

介绍了微型机械的基本概念和特点,综述了微型机械的加工技术和应用途径,讨论了微型机械的发展方向和趋势。     

微型机电系统与微细加工技术

本文介绍了一个新兴的机械电子研究和应用领域－微型机电系统的产生、发展和应用前景,这种机电系统有着传统机电系统不能比拟的特点和优势,例如经济、制造快速等。本文列举了几个常见的微型机电系统和它们的应用举例。与微型机电系统密切相关的微细加工技术在本文中有详细的介绍,以硅加工和LIGA技术为例,本文比较了微细加工技术之间的特点和各自的应用范围,最后说明微型机电系统有广阔的发展前途。     

特种微细加工的现状及应用

本文论述了主要特种微细加工的原理、特点、现状及其应用。     

微型机械加工技术、应用途径和发展方向的研究

介绍了微型机械的基本概念和特点,综述了微型机械的加工技术和应用途径,讨论了微型机械的发展方向和趋势。     

微细电火花加工技术的研究进展

研究和综述了微细电火花加工技术的研究现状和发展趋势。比较分析了常用微细加工与微细电火花加工方法的特点及应用，论述了线电极电火花磨削技术的原理及在微细加工中的作用。结合电火花加工过程中无宏观作用力的特点，论述了微细电火花加工装置微小型化的可行性和几种主要形式。     

微型齿轮研制中微细加工技术的应用研究

本文研究了在紫外光光刻条件下用微细加工方法研制微型齿轮的加工工艺,对加工过程进行了分析,加工水平已达到准ＬＩＧＡ水平。     

基于LIGA技术的微细电火花加工

随着众多消费产品向“轻、薄、短、小”方向的发展,微细加工技术日益成为新产品研发中的最重要组成之一,基于微细加工技术的微型机电系统(MEMS)已经成为众多研究机构和企业竞相投资的热门领域之一,其产品遍布工业、农业、医疗、     

微型机械加工技术发展现状和趋势及其关键技术

微型机械加工技术备受国内外关注和重视，本文扼要介绍国内外微型机械加工技术的发展现状、发展趋势及其关键技术。     

微型模具制造技术研究与发展

介绍了微型制件及微型模具成形特点，全面分析了各种微细加工方法的技术特点及其在微型模具制造中的应用状况，同时分析了各种微细加工技术的适用范围与发展前景，并重点阐述了以LIGA技术为代表的光加工技术在未来微型模具制造技术发展中的重要作用。     

微槽激光电解组合微加工研究

微槽结构作为微型结构的基本单元,具有增加散热面积、存储润滑剂和减少阻力等功能,多用于大热流密度器件的散热或表面润滑,但其存在加工尺寸小、精度要求高以及加工难度大等问题。为了实现微槽的高效高精度加工,提出了一种激光电解组合微加工方法,并搭建了纳秒激光加工装置和数控微细电解加工装置;利用激光烧蚀快速加工出微槽结构的基本形貌,再通过微细电解的方式去除其表面再铸层及飞溅颗粒,提高其表面精度和表面性能。通过理论研究以及优化加工参数试验,加工出长度为400μm,宽度为220μm,深度为120μm的微槽结构。激光电解组合微加工微槽的表面粗糙度由激光加工后的Ra 5.36μm降低至Ra 1.23μm;激光电解组合微加工的加工效率是微细电解加工的4.26倍。     

电流变技术在微型机械系统中的应用研究

介绍了电流变技术在微型机械系统中的应用，特别介绍了三通口微型电流变阀的结构特点，制造工艺，基本特性，并通过实验模型阐述了这种阀的可行性。     

A review on the conventional,non-conventional,and hybrid micromachining of glass

Glass, commonly known as a brittle material, has the potential to be used in many applications in semiconductor, biomedical, mold manufacturing, opto-electronics, automobile and aerospace industries due to its superior mechanical strength and excellent wear and thermal resistance. This review article aims to present a comprehensive overview on the micromachining of difficult-to-cut glass materials. The article includes the state-of-the-art reviews on conventional, non-conventional and hybrid machining of various types of glass materials at micro-scale. A comparative analysis of various conventional and non-conventional micromachining processes used for machining glass is presented. Discussions on the current research trends and challenges in micromachining of glass have been included. Finally, recommendation for future research in the areas of glass micromachining has been provided.     

微细加工技术与应用

微细加工技术是现代机电领域新兴学科微机电系统（MEMS）研究的关键技术之一。分析了近年来微机械领域的主要微细加工方法、能达到的加工尺度与水平、加工范畴及应用;阐述了微细加工技术的发展趋势。     

微细电火花成形加工设备关键技术研究

基于微细电火花加工的要求,对微细电火花成形加工设备中的关键技术进行研究,成功研制了一套高精度的微细放电加工设备产品,包括一台微细电火花加工机床和一台精密脉冲电源。优化机床关键零/部件的结构后,机床的变形小,运动精度高;电源放电稳定,控制精确。经加工试验表明,该设备加工效果较好,加工精度和稳定性较高,加工出的窄槽工件的尺寸精度可达到5μm,加工直径为300μm的小孔,其圆度误差达到3μm,可满足微细电火花加工的要求。     

Experimental investigation of shape changes in electrochemical micromachining through photoresist masks

Electrochemical micromachining (EMM) through photoresist masks of SS304 and Phynox using a jet cell and a neutral NaNO₃ electrolyte is investigated. Results show that EMM is suitable for the shaping of highly corrosion-resistant alloys which are not readily machined chemically. The main difficulty of EMM results from the uneven attack of differently spaced anodes. A new cathode arrangement is proposed to alleviate this problem.     

微管道流体的流动特性

讨论微流体特性及其测量方法，并进行了微直圆管道内微流体运动特性的初步试验研究。开发一种适于微流体测量的施加和保持压力的方法。以去离子水和直径为１０－５０μｍ直圆管为对象进行一系列试验，并与用Ｎａｖｉｅｒ－Ｓｔｏｋｅｓ方程式描述的微圆管道流体流动规律进行了比较。     

应用硅和非硅MEMS技术的微型直接甲醇燃料电池

分别以硅和不锈钢材料为极板研制了两种结构简单、体积小、比能量密度高的微型直接甲醇燃料电池,并介绍了该电池的工作原理和结构。利用光刻、溅射和腐蚀等MEMS技术完成了硅基微型直接甲醇燃料电池的制作,实验测试表明,在室温条件下,使用1.5 mol/L甲醇溶液供液时其开路输出电压为520 mV,最大输出功率密度达到5.9 mW/cm²;利用非硅微加工技术完成的不锈钢微型直接甲醇燃料电池,在室温下用2 mol/L甲醇溶液供液时开路输出电压为650 mV,最大输出功率密度达到15.8 mW/cm²。     

微燃烧透平发电系统的研制及性能测试

研制了一种基于布雷顿热力循环（Brayton cycle）的微燃烧透平发电系统,其关键部件微透平运用VC[HT5,5"]+[KG-*3]+[HT5K]6.0和Object ARX工具二次开发AutoCAD设计而成,直径14mm,由电火花加工工艺（EDM）制造。介绍了系统的结构设计、制造、集成过程及关键技术。对系统的冷态和热态性能进行了测试,获得最高62000r/min的转速,17.2V的线电压,1.35W的电功率以及1.12％的热电转化效率。阐述了微燃烧透平发电系统中的基本科学问题,为进一步研究指明了方向。      

基于腔结构的射频微机械谐振元件的设计

对圆柱形复合腔结构微机械谐振元件进行了设计研究,提出了一种基于柱形腔结构的微机械复合谐振元件的设计方法,并对其结构及特性进行了研究.建立了复合腔结构的电磁场数学方程,腔体基于体微机械微细加工技术实现工艺设计,最后对该元件进行了仿真分析.TM010模式下,谐振腔谐振频率为24.313299GHz,Q值为3529.707890,考虑微带耦合时仿真出复合谐振元件的最佳谐振频率为24.75GHz.仿真实验结果和理论值的平均误差不到1%,两者吻合得很好,说明了该设计的可行性.进一步改变结构参数,可获取不同谐振频率的器件,且可在腔体中填充高介电常数介质来减小器件的谐振频率,克服了以往使用腔体结构在低频段时体积过大等问题.