线宽0．15μm曝光技术

日本电气公司开发了制造1Gbit以上的大容量DRAM所需要的刻线宽0.15μm的超微细曝光技术,采用紫外线作为光源使用 ArF激光器不依赖于电子束曝光和X射线曝光也能确保产量.今后还打算作为实用技术进一步发展,提高感光材料的性能和改善曝光装置.     

台积电跨进0．15μm联电0．18μm工艺接单

台积电、联电陆续进入双Φ300ram晶圆厂时代，在Φ300mm厂产能持续扩充，IC设计客户工     

0．2μmCMOS门阵列

０．２μｍＣＭＯＳ门阵列日本ＮＴＴ公司采用ＳＩＭＯＸ（ＳｉｌｉｃｏｎＩｓｏｌａｔｉｏｎｂｙＩｍｐｌａｎｔｅｄＯｘｙｇｅｎ）工艺研制成功０．２μｍＣＭＯＳ门阵列。产品特点是低功耗和高集成度，其功耗是０．５μｍＣＭＯＳ门阵列的１０倍。产品的电路元件由波长...     

2μm光纤激光器的研究进展

近年来,2μm光纤激光器由于自身优点和重要应用价值受到人们的极大关注。综述了单掺Tm3 、单掺Ho3 和Tm3 :Ho3 共掺2μm光纤激光器的发展状况,分析提出1565nm抽运Tm3 :Ho3 共掺光纤激光器系统是产生2μm激光的较佳选择。     

2μm光纤激光器的研究进展

近年来,2μm波段的光纤激光器由于在测高、测距、大气遥感等方面具有重要的应用前景而引起了广泛关注.光纤激光器以其耦合效率高、散热好、转换效率高、阈值低、光束质量好和窄线宽等优点在激光领域中占据了重要的地位.介绍了实现2 μm激光输出的3个基本条件,并分别介绍了单掺Tm3+与Tm3+,Ho3+共掺2μm光纤态激光器的发展状况,指出掺Tm3+光纤激光器2 μm连续激光输出能量应该还有很大的提升空间,在脉冲输出方面,Tm3+、Ho3+共掺激光器是一个今后研究的热点.     

1．48μm大功率GaInAsP／InP激光器

用两步液相外延法研制出１．４８μｍ大功率ＧａＩｎＡｓＰ／ＩｎＰ激光器，尾纤输出功率大于３０ｍｗ。用作掺饵光纤放大器的泵浦光源，双向泵浦小信号增益２８ｄＢ。经较长时间的实际运行，表明器件性能稳定可靠，温度特性好。     

2μm全固态激光器的研究进展

近年来2μm波段的全固态激光器由于在测高、测距、大气遥感等方面具有重要的应用前景而引起了广泛关注。介绍了实现2μm激光输出的三个基本条件,综述了2μm全同态激光器的发展状况,对几种激光晶体进行了理论分析和实验对比,指出Tm,Ho：LuLF是今后2μm全固态激光器研究的一个发展方向。     

Nd∶TAG激光器从1．06μm向1．32μm的改装

证实了１．３２μｍ波长上运转的输出功率大于２．０Ｗ的单模稳定连续波Ｎｄ∶ＹＡＧ激光器可通过对性能较好的进口激光器进行简单的改装而获得。同时讨论了Ｎｄ∶ＹＡＧ激光器在１．３２μｍ波长上连续波调Ｑ及连续波锁模运转的可能性．     

高质量的一级光栅1．55μmDFB激光器

本文详细叙述了ＤＦＢ激光器的设计要点和新的工艺。采用一级全息光栅和二步液相外延法批量研制出高稳定单纵模工作的１．５５μｍ分布反馈激光器（ＤＦＢ—ＬＤ）。外延片成品率＞４０％。器件特性：２５℃时阈值电流２０ｍＡ，单面光功率＞１０ｍｗ，主边模抑制比ＳＭＳＲ达４３ｄＢ（λ／４相移光栅），谱线宽度△ν－２０ｄＢ＝０．３ｎｍ，调制速率＞１．８ＧＨｚ。可靠性测试显示：高温监测光谱稳定，２５°Ｃ时阈值退化率△Ｉｔｈ／ｔ＜０．３ｍＡ／ｋｈ，对应器件预估寿命将超过１０万ｈ。     

Mimetism Audio15．2

人家问我：整天对着音响器材，听多了还能有激情吗？我笑笑答道：你听听这款Mimetism Audio15．2所播出来的音乐，不但音响性一流，音乐感染力同样高得惊人。听着这样的器材，生活没有激情才怪呢。     

CMOS0．2μm电路

ＣＭＯＳ０．２μｍ电路据日本《ＯＰｌｕｓＥ》杂志１９９３年第１６４期报道，日本电信电话（ＮＴＴ）公司已研制成为实现下一代ＬＳＩ的基本技术——超微细的ＣＭＯＳ电路。在加工技术上，采用可代替紫外线的Ｘ线，现用０．２ｐｍ的工艺水平，已使器件做到小型化，速度...     

共掺驱动2μm光纤激光器

悉尼大学的科学家已演示了在掺Ho^3 光纤激光器中用镱作感光剂。虽然在晶态YAG基质中已探测到Yb^3 —Ho^3 感光激光系统,但研究小组首次在石英(光纤)基质中演示．该激光器比以往任何掺Ho^3 光纤激光器产生的2μm功率都要高。     

2μm波段陶瓷激光器的进展

介绍了在2μm波段陶瓷激光器的实验研究进展,主要包括高功率、高效率的Tm:YAG陶瓷激光器,半导体直接泵浦的Ho:YAG陶瓷激光器和Tm光纤激光泵浦的Cr2+:ZnSe烧结成型的陶瓷激光器,这些激光器的输出涵盖了2~2.4μm波段。由于2μm波段的激光陶瓷具有较长的上能级寿命和相对较低的声子能量,不仅在连续波输出时,而且在脉冲输出时具有潜在的高转换效率。还讨论了2μm波段陶瓷的光谱特性,以及这些特性对于2μm波段激光输出性能的影响。     

激光二极管泵浦2μm波段固体激光器

本文综述激光二极管泵浦技术，２μｍ波段固体激光器的特点，研制情况，着重介绍对人眼安全的Ｑ开关ＬＤ泵浦的Ｈｏ：ＹＡＧ激光技术。     

腔内OPO2μm脉冲激光器

设计了基于KTP晶体的内腔式光参量振荡(OPO)2μm脉冲激光器。理论计算了KTP-OPO波长调谐特性及相位匹配参数,采用电光调QNd:YAG1.064μm激光泵浦的KTP晶体,在XZ主平面内,实现了Ⅱ类相位匹配,选用Φ4mm光阑限制光束,分别对单块KTP和为补偿走离效应采用两块向对放置的KTP晶体进行了实验,获得了最高25mJ的脉冲2.12μm激光输出,电光转化效率1.14‰。     

2μm波段激光器的发展状况

讨论了产生2μm激光的两种方式,结合最新的相关文献分别对直接泵浦的2μm全固态激光器和2μm光学参量振荡器(OPO)的发展状况进行了详细的论述,并指出了2μm激光的应用前景。     

1．55μm InGaAsP／InPDH激光器中的0．95μm发光带与Auger复合

报道了在１．５５μｍＩｎＧａＡｓＰ／ＩｎＰ激光器中发现的０．９５μｍ波长高能发光峰的一系列实验结果，并通过分析肯定了ＩｎＧａＡｓＰ有源区的Ａｕｓｅｒ复合是造成载流子向两侧ＩｎＰ限制层漏泄的主要原因，也是影响１．５５μｍＩｎＧａＡｓＰ／ＩｎＰＤＨ激光器Ｔ０值的主要因素。     

2．6～2．8μm KTP OPO实验研究

为了得到2.7 μm波段可调谐激光辐射,设计了信号光单谐振荡KTP光参量振荡器(OPO),给出了KTP OPO II(B)类相位匹配方式下的角度调谐曲线、有效非线性系数.KTP晶体切割角为θ=62°,ψ=0°,有效非线性系数为-2.97 pm/V.利用该KTP OPO实现了2.6～2.8 μm波段范围可调谐激光输出,用脉宽为16 ns的基模高斯光束1.064 μm激光泵浦得到了最大能量578 μJ,能量转换效率达1.7%.     

2．1μm波长Cr，Tm，Ho∶YAG激光器的进展

根据国内外的文献资料对２．１μｍ波长Ｃｒ，Ｔｍ，Ｈｏ∶ＹＡＧ激光器技术的发展现状进行了详细的分析     

波长2．69μm的医用YAG∶Cr∶Tm∶Er激光器

波长２．６９μｍ的医用ＹＡＧ∶Ｃｒ∶Ｔｍ∶Ｅｒ激光器近红外光谱区（２～３ｕｒｎ）的激光常用于外科治疗，这一方面是由于在该区水有强的吸收带，能保证激光辐射与水饱和的生物组织有效的相互作用，另一方面与新型固体激光器研制成功有关。水的最大吸收系数（达１０‘...