平晶表面形状加压分析判断法的原理与应用探讨

平晶表面形状的判断对于平晶平面度的计算非常重要，错误的判断将会直接导致计算错误。该文通过对加压分析判断法原理的介绍，讨论在实际检定工作中的注意事项。灵活掌握该方法不仅对于平晶检定工作，而且在使用平晶测量量具或工件表面平面度时都非常重要。     

无色光学玻璃折射率温度系数与平晶等厚干涉条纹

本文通过平晶折射率温度系数和热膨胀系数对其等厚干涉条纹影响的定量分析,找出了温度变化影响平晶等厚干涉条纹的主要因素.从理论上论证了平晶表面形状判断的新方法,证明了新方法短时局部外围温升法(阶跃温升法)的合理性和可操作性.最后对标准平晶和高精度工作平晶玻璃的材质提出了特殊要求,以满足其平面度的热稳定性要求.     

浅析环境温度对检定平晶平面度的影响

本文针对检定平晶工作面平面度的时候,由于环境温度变化对平晶平面度测量的影响,对其进行了分析,并同时通过相关实验得出结论,即在检定温度范围内,温度的变化会影响平面度的量值大小,旨在为从事相关工作的技术人员提供参考依据。     

平行平晶平面度测量结果的不确定度评定

本文依据JJG29-2000《平晶检定规程》,使用平面等厚干涉仪,对平行平晶平面度的不确定度进行了分析,给出了完整的不确定度评定过程,为平行平晶平面度校准提供了完善的不确定度评定方法。     

平面平晶平面度测量结果的不确定度评定

文章介绍了平面平晶平面度测量常用的方法之一:用等厚干涉法,测量工作平晶平面度时的误差来源、类型、不确定度合成方法及各分量对测量结果的影响程度.     

（2／3）d范围内平晶平面度测量方法分析

在JJG28-2000平晶检定规程中,对平晶有效直径d范围内的平面度和（2／3）d范围内的平面度均有规定的要求。但该规程附录D中的计算公式和图示并不是平晶有效直径d范围内的平面度测量方法,且没有给出（2／3）d范围内的平面度测量方法,该文将对此问题进行分析,最后给出了符合现行规程要求的新测量方法,补充了计算公式。     

平晶检定时干涉条纹的快速调整方法与平面度计算

在平面等厚干涉仪上检定平晶工作面平面度时,需要在被检区域调整出3到5条干涉条纹,依据测量原理和计算公式求出被检平晶工作面的平面度.文章重点分析干涉条纹的快速调整方法与标准平晶平面度的正确引用方法.     

工作平晶平面度测量不确定度评定

本文对JJG2 8-2 0 0 0《平晶》中以等厚干涉法检定工作平晶 (D3 0mm～ 10 0mm)平面度的方法进行了分析、评定 ,得出了平面度的测量结果不确定度。     

基于移相式激光干涉仪的平晶平面度测量方法分析

平晶的平面度计量主要应用激光平面干涉仪和移相激光干涉仪,本文通过分析比较了两种方法的优劣。对高精度平晶进行了检测,介绍了基于移项激光干涉仪的测量原理及方法,并进行了不确定度分析,以验证该方法满足平晶检定规程,方法可行。     

φ150平晶及长平晶的不确定度评定

简介φ150平晶及长平晶的发展过程,并对φ150平晶及长平晶的不确定度进行了评定.     

平面平晶局部平面度校准的探讨

文章介绍了用平面平晶校准量块工作面平面度的方法,根据校准原理提出局部平面度校准来提高被测量面平面度校准的精度,并对平面平晶的局部校准提出了新的建议。     

Evaluation of Measurement Uncertainty for Absolute Flatness Measurement by Using Fizeau Interferometer with Phase-Shifting Capability

It is important to precisely measure flatness of the optical flats, as many industries use these as reference standards to ensure the quality of precision measurements and fabricated components. This paper describes identification of sources of error and measurement uncertainty evaluation for three flat test. Three flat test is used for absolute flatness measurement of optical flats, with the help of Fizeau interferometer (VerifireXP/D, with phase shift interferometry) established recently at National Physical Laboratory, India (NPL-I). The absolute profile of reference flat with higher accuracy can be determined using liquid level reference but liquid flat reference is more difficult to realize practically. Therefore three flat test is frequently adopted in standard interferometric measurements and traceability of this test can also be established by using a traceable laser head. This paper describes three flat method in detail along with observations and evaluation of measurement uncertainty as per ISO GUM is also done. Factors contributing to uncertainty of measurement of surface flatness have been indentified and detailed evaluation of uncertainty in measurements has been reported here.     

多光束移相干涉在镀膜平面形貌测量的应用研究

本文以光干涉原理为基础,分析多光束干涉原理特点及其在平面形貌(平面度)测量中应用可能,提出应用移相方法对被测镀高反膜表面进行调制,得到一系列被调制的干涉图样,经计算机对干涉图样进行自动采集和图像解包裹,获得被测表面的三维形貌数据,并通过实际测试验证了该方法的可行性和科学性。     

多光束移相干涉在镀膜平面形貌测量的应用研究

本文以光干涉原理为基础,分析多光束干涉原理特点及其在平面形貌（平面度）测量中应用可能,提出应用移相方法对被测镀高反膜表面进行调制,得到一系列被调制的干涉图样,经计算机对干涉图样进行自动采集和图像解包裹,获得被测表面的三维形貌数据,并通过实际测试验证了该方法的可行性和科学性.     

平面度计量——点线面之间的量值传递与控制

研究了平面度计量中的线和面两种传递路径。针对通过等厚干涉仪的面传递中不能维持平面度指标的原始定义,必须采用光圈(N、ΔN)等指标来描述的问题,在讨论测量点的绝对检验方法的基础上,提出了解决直线和面域上不同的平面度指标体系的统一的方法。分析了《JJG 28-2000 平晶》中以点控线和以线控面过程中的假设和附加要求对于传递精度的影响问题,提出了基于相移干涉仪高分辨率和快速测量的优势,采用圆平晶以最大变化正交截面替代国标中随机的“任意”正交截面的方法,从而保证对平晶平面度计量的严谨性要求。     

平板波动量检具的研制

平板波动量是平板局部工作面平面度的判定依据之一。提出依据最小包容原则计算平板波动量并研制一种新型的测量工具,并进行不确定度和可行性分析。     

电化学沉积法制备氧化锌薄膜及性能研究

以硝酸锌为原料,CTAB和硝酸钾为电沉积添加剂,以导电石墨板为对电极,采用方波电位沉积的方法在氧化锡铟（ITO）导电玻璃基底上制备出透明的ZnO薄膜,采用X射线衍射、原子力显微镜和光学透过谱等技术对不同沉积条件下薄膜的结晶特性、表面形貌、光学性质等进行了研究,结果表明,应用方波电位法制备氧化锌薄膜的优化条件为：沉积时间6min、Zn（N03）2、浓度0．05mol／L、沉积温度为80℃、退火温度500℃。制备的ZnO薄膜在可见光范围内的平均透光率〉85％,且表面平整度高,晶粒尺寸较小。