刻线量规(样板)的改进设计和刻线方法

为了适应刻线量规(样板)传统设计方法的滞后性,一些测量技术教科书和参考书都规定,刻线量规(样板)只能检验公差大于0.5mm的零件。为了改变这种不合理的传统设计理念,扩大刻线量规(样板)的使用范围,提高刻线量规(样板)的检验精度,为此,本文提出刻线量规(样板)异名边间距的改进设计和刻线方法。     

异名边间距精密刻线方法

文章针对量规刻线参数中间距的设计，制造和使用中的问题，提出量规刻线参数异名边间距设计的新方法和在万能工具显微镜上精密刻制异名边间刻线的方法，提高了刻线量规的精度和扩大了使用范围。     

量规精密刻线设计及工艺的改进

量规精密刻线设计及工艺的改进陕西省柴油机厂（７１３８００）刘兴富１．问题的提出量规的刻线通常是以刻线中心为基准来进行参数设计，以两刻线的中心距标志被检尺寸的公差带，但在实际使用中，则是以两刻线相邻异名边的边缘为基准进行比较测量，由于设计基准与测量基准...     

量规刻线的参数设计与质量保证

论述了刻线量规设计、制造、使用中存在的问题和改进方法，并介绍了以刻线中心为基准，以线深控制线宽的刻线方法。     

刻线量规设计,制造与使用中的问题

本文论述了刻线量规设计、制造、使用中存在的问题和改进方法，并介绍了在“万工显”上以刻线中心为基准，以线深控制线宽的刻线工艺方法。     

线切割机床加工刻线

介绍利用线切割机床加工倒角刻线样板及直角坐标样板新工艺 ,对各种样板进行刻线加工 ,既简便省时又寿命长、精度高。附图 4幅。     

刻线加工的新刀具——刻线插齿刀

介绍了一种在插齿机上加工度数环用的刻线插齿刀。这种刻线插齿刀解决了在普通铣床上用分度头加工时劳动强度大、生产效率低以及分齿精度达不到技术要求的问题,具有一定实用性。     

刻线分度夹具

我们加工材质为A3钢刻度盘(图1),其刻线面为30°斜面,圆周360等分,刻线精度要求1°±3′。由于刻线面为斜面,不能在X420K平面刻模铣床直接利用分度头进行刻线,为此我们制作了分度夹具。     

G32柴油机飞轮刻线及安装工艺

G32柴油机飞轮转动惯量较大,其安装技术要求较高。安装该飞轮时主要包括飞轮刻线及飞轮安装。详细介绍了飞轮刻线工具的设计原理及应用,并详细探讨了飞轮安装工艺。     

宏程序在刻线加工中的应用

用宏程序编程在车床中拖板上进行刻线加工.     

刀口半影最小化的光刻机扫描狭缝研究

扫描狭缝是步进扫描光刻机中控制曝光剂量的重要单元,而扫描狭缝产生过大的刀口半影会影响曝光性能。首先,根据步进扫描光刻机照明原理,通过分析掩模面上光强分布与扫描狭缝刀口厚度及位置的相对关系,推导出掩模面上刀口半影宽度的计算公式,同时针对数值孔径NA为0.75的光刻机照明系统模型分别对非共面和共面扫描狭缝在掩模面上的刀口半影进行仿真分析;研制了一种四刀口共面的高精度扫描狭缝装置,不仅满足步进扫描光刻机的同步性能需求,并且有效减小了X向和Y向的刀口半影;最后对所研制的扫描狭缝动态性能以及掩模面上实际刀口半影进行了测试。结果表明,当最大扫描速度达到470mm/s时,扫描刀口动态跟随误差始终在±30μm以内,同时两个方向的刀口半影均不超过0.5mm,满足90nm分辨率步进扫描光刻机的需求。     

某型飞机火控校靶仪的研究与设计

简述了用于测试平视显示器和照相枪主要性能的火控校靶仪的功能需求、工作原理和设计方案,包括光学系统和机械结构.照相枪校靶镜的线视场达到了(35.36±0.5) mm;OB读数观测镜视场达到了24°,屈光度为+3°～-4°,水平调整和垂直调整均为180°;分划板的精度为1′,且中心交点的不同心度小于±0.01,刻线不直度不大于0.002;照相枪校平玻璃上的十字中心和平视显示器光环中心相重合的公差为±°3 mil,平视显示器光环中心同靶板上的照相枪校准点的公差为20 mm.     

掩模位置误差对光刻投影物镜畸变的影响

为使光刻投影物镜满足光刻工艺的要求,研究了掩模位置误差对光刻投影物镜引入的畸变。采用勒让德多项式描述光刻投影物镜的畸变,并应用勒让德多项式对光刻投影物镜进行了畸变分析及畸变补偿。利用以上方法,对一台工作波长为193 nm,数值孔径(NA)为0.75的光刻投影物镜进行了畸变分析。结果显示:当掩模面3个方向的平移公差为1.0μm,绕3个轴的转动公差为0.1 mrad时,光刻投影物镜标定前后的畸变分别为2 113.2 nm和10.0 nm。利用勒让德多项式进行了畸变拟合,获得了多项式中各项系数,并给出掩模面位置误差的畸变敏感度系数;然后利用畸变敏感度系数对掩模面的随机位置误差进行了公差分析和补偿。结果表明,将光刻投影物镜畸变控制在2 nm以内时,掩模面z方向的位置公差为±2.0μm,掩模面与x轴与y轴的倾斜公差分别为±22.3μmad和±55.3μmad。实验结果证明提出的方法适用于对掩模面引入的光刻投影物镜畸变进行有效分析及补偿。     

一种应用标准刻线与CCD直接获取运动位移的方法

将标准刻线应用到对微细物体进行高精度定位的交流伺服驱动控制系统中,提出了一种新的直接获取运动位移的方法。调整光路使CCD获取清晰的光栅图像,对图像进行分析处理,计算出栅距与像素之间的映射关系,再对工作台移动前后的光栅图像进行对比,采用基于李萨如图的相位差比率算法获取它们的像素位置差,从而计算出工作台的实际运行位移。试验结果表明,该方法能简单快速地实现微电子加工领域亚像素级的测量。     

Automatic alignment direct step-on-wafer projection system

This paper describes an automatic alignment direct step-on-wafer (dsw) projection system. Automatic alignment accuracy is better than ±0.25 μm and useful achievable resolution is 1.5 μm or better. Stepping of the stage is achieved using a record ruler (glass scale) and photoelectric microscope. Its precision is better than ±0.33 μm (3 σ). Also included in the system is a reticle box with automatic reticle detection and selection, high pressure pulsed mercury lamp and uv light integrating exposure controller as well as a closed-circuit tv viewing and display system. The fundamental design, some experimental testing data and error analysis of the machine are described briefly in this paper     

三线阵测绘相机热光学试验交会角测试系统

对三线阵测绘相机热光学试验交会角测试系统进行了研究,设计了试验测试系统,研究了交会角的测量方法,提出空间交会角测量方法即定量检测法。详细地阐述了针对测绘相机热光学试验热真空试验设备和光学测量场等测试系统要求,特别是平行光管的改造和特种分划板的要求。同时,描述了三线阵测绘相机热光学试验前的需准备工作。利用Labview软件编制数据采集系统,采用定量测量法对三线阵测绘相机交会角进行了测量。结果表明,测试相机在工况转变后交会角的变化在1″的范围内。综合来看,该测量方法可以准确得到相机交会角的变化量,测量数据对三线阵立体测绘相机在轨测量及地面影像分析提供了可靠的分析依据     

光栅在驱动控制系统运动位移测量中的应用

利用计量光栅的栅距作为基准刻线,对二维精密工作台的运动位移进行测量,提出了一种新的位移测量方法。通过CCD(charge coupled device)获取光栅刻线图像,对图像进行分析处理,计算出栅距与图像像素之间的映射系数,再通过对工作台移动前后光栅图像的对比,采用基于李萨如图的相位差比率算法获取它们的像素位置差,从而计算出工作台的实际运行位移量。     

Nanometer-level autofocus air gauge

A noninvasive, pneumatic, low-flow, differential, hot-wire, top-surface sensing device is described and demonstrated for use in the Etec ALTA^® mask and reticle writer. This apparatus, a nanometer-level autofocus air gauge, is capable of sensing the distance from the final objective lens to the top surface of the photoresist with greater than 0.1 μm accuracy, 100-Hz bandwidth, and less than 10 nm of peak-to-peak noise. It can do this quite independent of the resist’s surface or bulk properties, such as the dielectric constant. The engineering requirements and efficacy of hot-wire sensing are developed and implemented. The theory, in general, for modeling hot wires in this device, as well as the fundamental time constants, transmission line effects, and constraints, are discussed. The necessary electronic circuitry for creating constant temperature bridges using hot wires and running them differentially is also developed and implemented. Results and data are included.     

基于VB的虚拟应变仪的设计

为解决传统应变仪测量中存在的设备匹配,调试麻烦等不足,采用虚拟仪器技术,以VB为开发平台,设计了虚拟应变仪。系统由应变检测模块,数据采集模块,人机接口模块组成。系统充分利用了AD7710的特点简化了硬件设计,使用虚拟仪器技术拓展了应变仪的功能,满足了应变测量内容多样性的要求。试验表明,系统不仅具有较高的测量精度和稳定性,取得理想效果,而且具有较大的拓展空间。     

Virtual spheres gauge for coordinate measuring arms performance test

This work presents a new class of gauges with virtual spheres to check the performance of coordinate measuring arms (CMA). The proposed gauge has two groups of four holes that are used to determine points of two spherical surfaces. These points are fitted to spheres using computational algorithms and the distance between the center of the spheres is calculated. The proposed gauge was named virtual ball bar and an application was performed to test the performance of an articulated arm CMA with rigid probe. The results were compared with the application of the ANSI/ASME B89 volumetric performance test using a conventional ball bar and the proposed virtual ball bar. An additional experiment using fractional factorial design was carried out to complement the comparison of the gauges. The results showed good agreement between the two approaches and it was observed a potential cost reduction compared to ball bar gauge.