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相似文献
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1.
报道了用650nm的半导体激光二极管建立的一个正面入射式外部电光测量装置.用〈100〉面镀红光全反射膜的半绝缘GaP作为外部探头,提出以有效调制电压为测量对象,对外部电光测量装置进行了电场空间分辨率的测量.实验结果表明,电场空间分辨率小于1μm,电压灵敏度为12.6mV/ Hz.  相似文献   

2.
罗俊  秦国林  刘鸿飞  表茂斌  张大明 《微电子学》2011,41(5):690-694,699
采用极化聚合物电光材料,设计制作出一种结构新颖的亚微米VLSI电路正面入射式外部电光探测器.通过在探测器中引入参考电极,实现了电压的标定测量;利用1 μm线宽指状电极的电场分布,验证了触立式极化聚合物电光探测器对电场具有较高的空间分辨率.实验证明,该新型外部电光探测器的空间分辨率可达0.5 μm,完全满足亚微米电路无损...  相似文献   

3.
采用极化聚合物电光材料,设计制作出一种结构新颖的亚微米VLSI电路正面入射式外部电光探测器。通过在探测器中引入参考电极,实现了电压的标定测量;利用1μm线宽指状电极的电场分布,验证了触立式极化聚合物电光探测器对电场具有较高的空间分辨率。实验证明,该新型外部电光探测器的空间分辨率可达0.5μm,完全满足亚微米电路无损探测的要求。  相似文献   

4.
采用质子轰击n-GaP晶体作为外部电光采样材料,用倍频移相扫描电光采样技术和反射式光路结构,对ITO共面波导上的微波信号进行了测量.结果表明,用质子轰击的方法可以使n-GaP样品的电阻增大四个量级,接近于半绝缘材料,能有效地减小GaP晶体内部自由电荷对电场的屏蔽效应.在2.30GHz微波信号时,质子轰击GaP外部电光采样测量获得了40mV(/Hz)的电压灵敏度.  相似文献   

5.
采用质子轰击 n- Ga P晶体作为外部电光采样材料 ,用倍频移相扫描电光采样技术和反射式光路结构 ,对 ITO共面波导上的微波信号进行了测量 .结果表明 ,用质子轰击的方法可以使n- Ga P样品的电阻增大四个量级 ,接近于半绝缘材料 ,能有效地减小 Ga P晶体内部自由电荷对电场的屏蔽效应 .在 2 .30 GHz微波信号时 ,质子轰击 Ga P外部电光采样测量获得了 40 m V/Hz的电压灵敏度 .  相似文献   

6.
进行空间发射准备时,发生闪电非常危险,探测器提供的信息可以预测闪电灾难,但时间是关键。 在佛罗里达的卡拉维拉尔角,由31台静电计组成的阵列已安装就绪,可以预测雷雨时电荷聚集造成的危险,但这些装置测量的是通过金属平板天线流入地面的电流,而不是直接测量电场强度。闪电放电过程中电场或电压的变化必须由静电计读数计算出。为静电计单位选择时间常数要同时兼顾闪电的分解能力和测量的灵敏度。 美国航空航天局马歇尔空间飞行中心的William J.Koshak和芝加哥大学的Richard J.Solikiewios已开发一种以普克尔斯盒为基础的电光检测器,可直接测量电位,也可高灵敏性地测量一些稍纵即逝的现象。 盒的中心是一块电光晶体。当电压穿过晶体或经过晶体传导的光变性时,其折射率发生改变。普克尔斯盒广泛用于高速遮光器和光纤通信,在高频下也可进行调制,甚至高达吉赫兹。 当平板天线与地面间的电场加在晶体上时,在此电光探测器内可以监控通过磷酸二氢钾的激光。当闪电放电使电场变化时,激光开始调制。在测量闪电时,晶体需要高阻抗来控制电压。 此时静电计更加实用。电光系统是为评估晶体特性而建立的工程装置。该装置主要的耗费是晶体,约要2000美元,笨重而昂贵。随着激光二极管的功率和光学性能持续提高,电光晶体的进一步发展,电光闪电感应器会更具竞争力。 此装置中只有一束激光通过晶体,使用多通道或多个晶体可加以改善。向微型化发展还有另外一个优点,因为光纤可把激光传到远处的传感器,而此传感器只包括板型天线和晶体,经调制的光就可以输回,进行检测和度量。  相似文献   

7.
电光检测技术空间分辨率的研究与进展   总被引:2,自引:0,他引:2  
概述了电光检测技术空间分辨率的发展。为适应集成电路工艺水平的提高,电光检测技术必须提高空间分辨率和电压灵敏度。介绍了近年来开展的提高空间分辨率到亚微米量级的研究,提出了未来空间分辨率进一步提高的设想。  相似文献   

8.
介绍了电光取样系统空间分辨率的测量原理和方法,实验结果表明,建立的电光取样仪的空间分辨率为3μm。  相似文献   

9.
本文描述了一种可调滤光器,这种可调滤光器,在双折射电光晶体的寻常偏振光与异常偏振光之间于相位匹配波长下利用空间周期直流电场耦合光能.本文描述的一个具体装置是一片LiTaO_3置于近交的偏振片间用横向电场工作,引用(?)olc的双折射滤光器及Harris声光滤光器进行摸拟,这种电光滤光器是经由分离的可寻址的指状电极列阵来改变电场的空间周期而进行调谐.美国已演示的可调谐性从4,700埃至4.5微米透射实验的结果与外加电压的关系和带宽与通过波长的关系和理论很一致.着重指出了这类电子滤光器的灵活性有可能通过非周期电压分布来合成任意传递函数.  相似文献   

10.
王云才  王贤华  胡巍  丰善  陈国夫 《中国激光》1996,23(12):1097-1099
建立了基于增益开关半导体激光器的非接触电光采样系统。利用电光晶体的Pockels效应.以LiTaO3晶体制做成微小的电场传感器,对梳状波信号进行了测试。实验结果与取样示波器测得结果相符。系统的时间分辨率为25ps.最小可测电压为20mV。  相似文献   

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