液体粒子计数器测量原理及校准方法

液体粒子计数器广泛的应用于高纯水,高纯化学溶液中对不溶性微粒子进行测量,本文介绍了两类液体粒子计数器（光障碍式液体粒子计数器和光散射式粒子计数器）的测量原理和校准方法,为用户正确选择和使用仪器提供依据。     

尘埃粒子计数器计数损失的分析研究

光散射式尘埃粒子计数器是用来测量空气洁净度的重要仪器，粒子计数器的主要测量误差为重叠损失误差。本文介绍了产生计数损失误差的原因，应用Poisson随机过程分析确定了粒子计数器的计数损失，并提出了测量计数损失的实验方法。最后，给出使用粒子计数器测量中减少计数损失的方法。     

标准粒子发生器研制

激光尘埃粒子计数器是测试洁净度必不可少的仪器,在洁净行业中有很重要的地位.本文介绍的自主研制的标准粒子发生器是校准和测试激光尘埃粒子计数器的基准仪器.国内暂时没有同类仪器,国外的仪器昂贵且维护周期长.本文介绍的仪器通过比较国外多种不同类型的发生器,确定适合我国实际需要的技术路线:成本低廉,性能满足要求.在通过大量比对试验后,证明本仪器满足实际使用的需要,并且某些性能甚至超过了国外产品.     

尘埃粒子计数器粒子散射光信号幅度概率分布

针对粒度标定的准确度,在概率空间基础上,提出了尘埃粒子散射光信号幅度概率谱线和散射光信号度概率谱函数的概念,并对谱线在概率空间上的性质进行了研究。利用单分散粒子间的不相关性,将概率论运用于信号处理中,用全概率公式概括了尘埃粒子计数器信号传输的本质,建立了适用于处理尘埃粒子计数器信号的更完善的概率理论西式。文中给出了这一方法的理论分析及国产Y09激光尘埃粒子计数器的实验测试结果。     

0.3μm激光尘埃粒子计数器传感器设计

本文详细地分析了激光尘埃粒子计数器传感器的工作原理，设计了结构简单、、实用的０．３μｍ激光粒子计数器的传感器，讨论了影响该传感器的主要因素。该传感器经实验证明完全符合设计要求。     

尘埃粒子计数器单粒子散射光幅值概率分布

详细讨论了激光尘埃粒子计数器单粒子散射光信号幅值分布规律,计算出单粒子散射光信号幅值概率分布函数,给出激光尘埃粒子计数器光学传感器粒径分辨准确计算理论公式。并与实验结果进行了比较。     

尘埃粒子计数器信号传输特性研究

为了研究尘埃粒子计数器信号传输的本质特性,采用从单粒子信号出发的方法,在研究单粒子散射光收集特性、光电转换特性的基础上分析单径粒子群信号分布的统计特性及混合粒子群在传感器中的输入-输出信号传输特性,并进行了实验验证,实验值与理论值基本一致,相关系数高达0.9以上。结果表明,尘埃粒子计数器的信号传输特性的本质是将粒子群的粒径分布描述方式以线性变换的方式转换成相应的脉冲信号幅值分布描述方式。这一结果为促进仪器向大流量、高灵敏方向发展奠定了理论基础。     

尘埃粒子计数器的性能试验方法

在参考国外尘埃粒子计数器的性能试验方法标准的基础上，根据我国的实际情况，提出尘埃粒子计数器性能指标和相应的实验原理及方法，介绍国家标准草案。     

用粒子计数法测量颗粒物质量浓度

为了测量颗粒物的质量浓度,基于米散射理论,在偏振入射光条件下,通过数值计算研究了球形颗粒的散射光通量与粒径之间的关系,得到了利用光学粒子计数器测量颗粒物质量浓度的计算公式。该公式重点考虑了粒子数目和大小对质量浓度的影响。实验结果表明,在0.001mg/m3~2mg/m3的质量浓度范围内,该公式的计算值与实验测量值具有显著的相关性,相关系数为0.9953。     

不同光源对激光尘埃粒子计数器性能的影响

使用Beam Profile2350 光束诊断仪测量了氦氖激光和半导体激光两种典型光源的光束特性,并分析了将它们作为激光尘埃粒子计数器的光源时,其在光敏区所产生光场的不均匀性。同时讨论了光场不均匀对计数器性能的影响,计算了两种不同光源下,计数器计数效率和分辨比率的差异。结果表明,以半导体激光作为计数器光源时,光敏区的光强均匀性更好,计数效率更高,粒径的分辨比率较氦氖激光作用时提高了17 % ,增大了粒径的有效测量范围。     

最易穿透粒径在高效超高效过滤器测试中的应用

本文介绍了什么是最易穿透粒径及其产生原因，并且介绍了高效过滤器和超高效过滤器的滤纸效率的测试，过滤器的渗漏测试，过滤器的全效率测试的测试过程及最易穿透粒径在各项测试中的应用。     

HEPA/ULPA过滤器性能测试方法评述

简要介绍HEPA／ULPA过滤器的性能测试有代表性的方法，并进行对比分析     

风机过滤单元生命周期能耗分析

利用生命周期评价（LCA）方法对目前广泛应用于洁净厂房的风机过滤单元（FFU）进行了生命周期能耗分析,得出了一台FFU的生命周期能耗的组成以及各部分能耗所占比重。并从节能的角度出发,分析在一定工况下FFU高效（超高效）过滤器最优的更换周期使节能效益最好。对于FFU的能耗性能参数的获得,采用了FFU实验室测试方法。     

高效/超高效过滤器自动扫描检漏系统的研制

基于欧洲标准EN 1822构建了一套高效/超高效过滤器自动扫描检漏系统.首先描述了扫描检漏测试台的整体管路系统,然后介绍了控制系统的硬件部署,接下来详述了扫描检漏的具体过程,最后对两台H14的高效过滤器进行了在线检测验证.该系统可检测多种尺寸规格和等级的高效/超高效过滤器,能够给出过滤器的局部和全局效率,以及漏点的坐标范围.     

DOP计数扫描法在高效过滤器安装泄漏检测中的应用

高效过滤器安装泄漏检测是空气净化技术检测的关键项目之一,结合实际工程论述了采用DOP计数扫描法检测高效过滤器安装泄漏的应用,对采用气溶胶和粒子计数器的采样要求作了规定。为了提高检漏的工作效率和保证采样结果的有效性,提出增加正压检漏的方法。     

洁净室气态分子污染物的监测技术

随着微电子工业工序复杂性的增加和产品尺寸的不断缩小,气态分子污染物(AMC)对产品的影响成为洁净室环境控制中重点关注的问题。文章介绍了洁净室中AMC的定义,重点阐述了AMC的监测技术。     

洁净室高效过滤器的在位检测

对洁净室高效过滤器在位检测做了简单的介绍，对旧车间高效过滤器进行在位检测提供了指导意见。     

一项民间的高效空气滤纸对比试验

共13家实验室参与了民间发起的、非商业目的的空气滤纸对比试验,旨在检验国内高效滤纸数据的偏离程度。对于同一种滤纸,由于试验方法和试验条件的差异,在不同实验室给出的滤纸透过率数据中,有近三个数量级的差别,而那些数据确实是按各自遵从的标准方法测出的。试验方法的混乱,是阻碍国产滤纸和过滤器进入高端市场的瓶颈。     

新型高效、超高效空气过滤器性能检测系统的探讨

过滤器测试手段的发展是制作高质量空气过滤器的保证，作为我国现行的高效、超高效过滤器性能测试国家标准的钠焰法、油雾法由于种种缺陷已不能满足实际发展的需要，本文简要介绍了欧洲现行标准EN1822采用的MPPS法的一些概念及测试步骤，指出MPPS法是目前测试高效、超高效过滤器较严格的测试方法，我国应尽早制定自己的相关标准以适应国际发展的需要。