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ZnO:Al(ZAO)透明导电薄膜国内的研究现状 总被引:2,自引:0,他引:2
综述了以氧化锌铝陶瓷靶为靶材制备透明导电ZAO薄膜的制备技术,系统地研究了各工艺参数,如氩气压强、射频功率、衬底基片温度、退火条件和氧流量等对其结构和光电特性的影响。在纯氩气中且衬底温度为300℃时制备的ZAO薄膜经热处理后电阻率可降至8.7×10-4Ω.cm,可见光透过率在85%以上。X射线衍射谱表明,ZAO晶粒具有六角纤锌矿结构且呈c轴择优取向,晶粒垂直于衬底方向柱状生长。 相似文献
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利用Ti掺杂ITO靶材,采用单靶磁控溅射法在玻璃基底上制备厚度为50~300 nm的ITO:Ti薄膜。借助X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、可见光分光光度计、霍尔测试系统和四探针电阻测量仪,研究薄膜厚度对薄膜的晶体结构、表面形貌和光电性能的影响。结果表明:ITO:Ti薄膜呈现(400)择优取向,随薄膜厚度增加,薄膜的结晶程度增强,晶粒度增大,薄膜更致密。随薄膜厚度增加,薄膜的均方根粗糙度和平均粗糙度以及电阻率都先减小再增加,薄膜厚度为250 nm时,表面粗糙度最小,蒋膜厚度为200 nm时,电阻率最低,为2.1×10-3?·cm。不同厚度的薄膜对可见光区的平均透过率都在89%以上。 相似文献
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《稀有金属与硬质合金》2015,(5)
采用磁控溅射法,以溅射气压为变量,在ITO导电玻璃上制备了WO3薄膜及TiO2薄膜,将Li+聚合物电解质涂覆于这两种薄膜之间封装成固态电致变色器件。采用XRD、AFM对WO3薄膜进行结构表征和形貌观察;采用直流稳压电源对器件进行电致变色测试,并以分光光度计测定其着色/褪色态可见光透过率。结果表明:1.5Pa溅射气压下原位沉积WO3薄膜含较多的金属W;2.0~3.0Pa溅射气压下得到了非晶态WO3薄膜;2.0Pa溅射气压下得到的WO3薄膜表面分布有狭长的颗粒团簇,表面积较大,便于着色或褪色时Li+与电子的注入或脱出,故其所封装器件的调制幅度最大,响应最快;随溅射气压的增大,WO3薄膜表面缺陷增多,器件变色性能恶化。 相似文献
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Cu(In,Ga)Se_2太阳能电池窗口层ZnO∶Al薄膜的研究 总被引:4,自引:3,他引:1
用射频磁控溅射氧化锌掺铝陶瓷靶的方法在玻璃衬底上制备了ZnO∶Al薄膜。研究了衬底温度(Ts)、靶基距(Dt-s)对薄膜结构及光电性能的影响。实验结果显示:Ts在室温至300℃、Dt-s在35~60 mm范围内时,薄膜为六方相结构,并具有C轴取向,可见光范围平均透光率大于88%。Ts及Dt-s对薄膜电学性能的影响相似,随Ts升高或Dt-s增大,ZnO∶Al薄膜的电阻率先减小后增大,霍尔迁移率先增大后减小,载流子浓度逐渐减小。在Ts为150℃,Dt-s为40 mm时,可获得最低电阻率4.18×10-4Ω.cm的ZnO∶Al薄膜,其载流子浓度为8.13×1020cm-3、霍尔迁移率为18 cm2.V-.1s-1,可见光范围平均透过率为89%。 相似文献
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通过直流磁控溅射热等静压铟锡氧化物(ITO)靶材制备ITO导电薄膜,并且针对O2-Ar混合气氛中氧的分压对ITO膜的结构、表面形貌、透光率以及导电率的影响进行了研究.结果表明,在低氧分压的条件下溅射,膜的(400)面非常显著地择优取向平行于玻璃表面,而随着氧分压的升高却表现为膜的(222)面择优取向平行于玻璃表面.同时,随着氧分压的升高,膜的表面粗糙度变小,膜的结构变得更细腻.膜的可见光透过率在氧分压增大的情形下有少许增大,但是膜的导电率却略有下降. 相似文献
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以制备出性能优异成本低廉的低辐射镀膜玻璃为目的.通过直流磁控反应溅射技术在玻璃(或单晶硅)表面制备(Al,Ti)N薄膜作为低辐射镀膜玻璃的内层介质层,在此基础上进行单因素变量分析铝靶功率、钛靶功率、氮气流量和溅射时间对薄膜可见光透过率、表面粗糙度的影响以及测定最优条件下薄膜的结晶状态、表面形貌和元素含量.结果表明,当铝靶功率为100 W、钛靶功率为80 W、氮气流量为2.5 ml/min、溅射时间为90 min时可见光范围内透过率均在96%以上,表面粗糙度11.3 nm,膜基结合力强,膜质优异适宜低辐射镀膜玻璃功能膜的附着. 相似文献
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工艺参数对Sm-Fe超磁致伸缩薄膜沉积速率的影响 总被引:2,自引:0,他引:2
采用磁控溅射在聚酰亚胺薄膜以及黄铜等基片上成功制备出Sm-Fe超磁致伸缩功能薄膜,并且较深入地研究了溅射功率、工作气压、靶基距以及沉积不同阶段等主要工艺参数对沉积速率的影响规律。结果表明:随溅射功率的减小和靶基距的增大,会不同程度地引起沉积速率的下降;随着工作气压的增大,最初沉积速率不断增大,当溅射气压增大到一定程度(1.5Pa)时,沉积速率达到最大值,之后随溅射气压的增大,又不断减小;对于黄铜和聚酰亚胺基片,溅射初始阶段的沉积速率低于后面阶段的沉积速率。 相似文献
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Some theories of personality hold that an individual's perception of others is influenced by his own personality characteristics; more specifically, that a trait of low social value will be projected more into others, and that insight into the possession of these characteristics reduces this distortion. These 2 hypotheses were tested by having a group of college students rate each other (including themselves) on degree of friendliness or hostility. Agreement with group rating about self yielded the insight score. In general, the hypotheses were supported; the "friendly" Ss were most accurate in their perception of others, and insight was positively associated with accurate perception. From Psyc Abstracts 36:04:4HL16M. (PsycINFO Database Record (c) 2010 APA, all rights reserved) 相似文献
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通过对焦炭在高炉内的历程及其变化规律的剖析,阐述焦炭热性能指标的意义,形象地把焦炭在高炉内的损耗分为三部分(M1,M2,M3)。指出M2对焦比及焦炭价格有一定的指导作用。 相似文献
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鲁迅先生一生热爱美术作品,对版画中木刻兴趣尤甚.<野草>作为其"写心之作",亦呈现出一些与木刻版画一致的审美特征:一是具有木刻版画的色彩特征,多对比、多冷色,有阴郁的美感;二是具有木刻版画的力度特征,环境描写、人物刻画处处刀锋毕现,遒劲有力,有一种"力之美". 相似文献
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锂离子电池安全性研究现状 总被引:1,自引:0,他引:1
锂离子电池广泛用于小型电源驱动设备,但其安全性一直是人们关注的焦点。综述了锂离子电池安全性的研究现状及其进展,对短路试验、过充试验、穿钉试验以及热稳定性进行了总结。 相似文献
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对本钢冷轧厂轧机工作辊轴承润滑前存在的问题进行了分析并针对这些问题采取解措施进行了改造研究,最终采用工作辊轴承的油气润滑方式具有低能耗、易控制、润滑集中、润滑效果好、系统维护方便和安全性能高等特点。 相似文献
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介绍了锅炉排污余热利用节能工作的实践。将锅炉排污热水收集到水箱,用热水泵送入热网采暖用补给水箱,或直接送入采暖管道中用于采暖系统,使锅炉排污水得到充分利用,既节水又节能。 相似文献
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铕的电化学还原受多种因素影响,其中阴极极板最为重要。研究了采用钛阴极进行铕的电化学还原常遭遇极板失活问题;并对极板失活进行了探讨与分析,认为钛阴极吸氢以及质劣钛材料是妨碍铕的电化学还原的主要原因。提出了钛板脱氢的初步方案,以及尽可能选择质优钛板材料进行铕的电化学还原的建议。 相似文献