光谱范围从 365 至 12000nm 的高精度光电自动折射仪

介绍了由作者研制的光谱范围从３６５至１２０００ｎｍ的高精度光电自动折射仪的测量原理、主要误差源和仪器组成。用该仪器对包括红外材料锗在内的多种样品进行了测量,在小于２６００ｎｍ和大于２６００ｎｍ的波长范围内分别获得了优于±３×１０－６和±５×１０－５的折射率测量精度。     

直流数字电压表标准装置

本文介绍了直流数字电压表检定标准装置的结构原理、技术指标和误差分析。其电压测量范围为±0.01μV～±1100V,不确定度为±2.1×10~(-6),用于检定高准确度的数字电压表。     

光谱范围从365至12000nm的高精度光电自动折射仪

介绍了由作者研制的光谱范围从365至12000nm的高精度光电自动折射仪的测量原理、主要误差源和仪器组成。用该仪器对包括红外材料锗在内的多种样品进行了测量,在小于2600nm和大于2600nm的波长范围内分别获得了优于±3×10^-6和±5×10^-5的折射率测量精度。     

锥度量规的间接测量

车间磨削锥度量规时最常用的测量工具是万能量角器,其分度值为2′,示值误差为±2′,测量精度低。锥度量规的制造公差为±20″,所以选用万能量角器测量是不合理的。我厂使用万能工具显微镜和杠杆千分表作压定值的指示仪表,从显微镜纵向X轴、横向Y轴投影读数器上读取所构成的直角三角形的直角边长,计算出锥度量规的斜角α。一个锥度量规经3次磨削后测量,即能合格,解决了车间测量锥度量规的困难。在没有专门锥度量规检测仪器的情况下,用间接法测量锥度量规,精度不低于正弦规法和轴切法的精度,其极限误差不大于被测工件公差的1/3。现介绍如下。     

1″直角尺简易制作法

本文叙述的直角尺是作为一种检具来检定精密导轨的直角误差和立柱及金属台面的垂直性。还能作为标准角度块规使用。该直角尺的误差可达1＂。本文重点介绍了该直角尺的技术要求,修磨的研磨工具、修磨工艺流程及方法、计量等。图3。     

小模数大螺旋角蜗杆齿距的测量

一、问题的提出对于6～7级精度的小模数蜗杆齿距偏差和累积误差,通常采用影像法或干涉法在万能工具显微镜上进行测量。然而当螺旋角较大,超过万能工具显微镜立柱倾斜角调整范围(±12°或±15°)时,齿距偏差和齿距累积误差的测量就成了问题。从工艺上可知,小模数蜗杆的加工是左右齿面同时加工的,因此,不必分     

机械工业计量检定规程简介

为加强机械工业计量器具的监督管理，确保量值的准确可靠，使计量检定工作有法可依，计量检定规程审定委员会审定通过了一些有关行业急需的计量检定规程，为便于计量人员检定使用，现将陆续作以简单介绍。1JJG（机械）194－97《滚式尺》滚式尺的测量原理是用两个精密圆柱，以量块确定两圆柱的中心距离，以光隙法间接测量各种圆弧和各种角度所构成的尺寸（如图1）。本检定规程对滚式尺寸的检定项目和检定条件做了规定，检定项目见表1，检定条件为：检定室温度20℃±3℃，温度变化不大于1℃／h；受检尺和检定用工具在检定室内等温时间不少于…     

用角度块检定光学分度头示值误差的方法

苏联光学机械式计量仪器检定规程第6—489规定: 检定光学分度头示值误差时,需用检查分度的显微镜和 标准圆盘;如果没有这种设备,则可利用带4、5或6个工作边的专用多边形板来检定。 从苏联《测量技术》杂志1958年第1期第22页上, И.T.德受满同志所写的文章中可以知道用角度块检定光学分度头的示值误差方法。这种方法即很简便又可保证精度。工厂计量室一般都有角度块,可以携带进行流 动检定。 检定方法介绍如下: 苏联伏洛希洛夫国立检定所利用经检定过精度高于 ±5″的一级角度块(四 块)未检定光学分度头 的示值误差。安装如 图。角度块1用两…     

激光干涉仪在高精度垂直度检测中的应用

为检测用于测量直角尺、方尺等的高精度垂直度测量仪的垂直度,采用激光干涉仪为主要测量工具,以基准法测量高精度垂直度测量仪的垂直度。根据激光干涉仪测量直线度、垂直度的原理,结合分析软件,对垂直度的测量方法进行了介绍,实验结果表明,采用激光干涉仪测量垂直度的方法简明准确,较为直观、方便、高效。     

图案棱边直线性的测量装置

本文介绍了一种用于高精度测量图案棱边直线性的装置。它由一个气浮导轨工作台、一台光电显微镜和两台双频激光干涉仪组成,一块高精度的反光镜用作直线标准。测量的可靠性可优于±0.1μm。     

两种简便精确检测垂直度误差的方法

垂直度是线或面对基准平面或基准轴线构成 90°角的状态。在工厂中垂直度误差的检测一般都转换成平行度误差的检测,但要加上一个直角座作为测量基准。在实际测量中标准直角座一般为直角尺或标准方箱。然而在某些测量精度要求较高的情况下则需要检测这些作为测量基准的检测元件的误差,在没有特殊测量仪器时,如何去检测这些元件的垂直度误差呢 ?笔者根据实践经验总结出两种简便精确的检测直角尺和方箱等检测元件垂直度误差的方法。 　　(1)用三尺互检法检测直角尺的垂直度误差 (见图 1)　　设直角尺 1、 2、 3、的两边均为理想直线,且其在…     

提高V棱镜折光仪测量精度的一种方法

本文提出了用高精度标准块,在V棱镜折光仪与被测样品作相对测量,从而提高V棱镜折光仪测量精度的一种方法。同时对误差进行了分析,并给出实测数据。用这种方法,在非标准环境下测试,不用修正,就能给出折射率,其精度可达±1×10^-5。     

高精度不可见内回转曲面在线自适应测量

本文介绍一种测量精度为± 2微米的高精度计算机辅助二维在线测量系统的测量原理和方法。分析了系统精度 ,用双频激光干涉仪测量系统组成部分的误差 ,并通过软件方法进行补偿。用最小二乘原理对燕尾榫槽轮廓度加工误差进行误差分离和测量信息反馈 ,Minimax方法对轮廓度加工误差进行最优计算。     

纳米级电容测微系统的研究

本文首先介绍非接触式高精度电容测微仪的基本工作原理,进而详细论述纳米级电容测微技术中所涉及到的非线性误差、环境噪声等的关键技术问题,对典型驱动电缆方案作比较。根据原理模型,给出仪器的主要结构。对仪器自身产生的各种误差进行详细的分析,并提出相应的消除或修正方法。换用不同有效直径的传感器可以使仪器分辨率最小达到0 1nm ,测量范围±2～±5 0 μm ,满量程非线性度优于0 5 %。该仪器可广泛应用于通过串口、USB口通信的高精度的动、静态微位移测量及纳米定位     

SPM三维纳米级微定位的研究

介绍了一种三维纳米级微定位系统。该系统可用于各种扫描探针显微镜（ＳＰＭ）探针和样品的微定位,探针可在样品表面１０ｍｍ×１０ｍｍ区域内定位,重复定位精度小于１００ｎｍ,在高度方向,探针可 顺利地进入样品表面１０ｎｍ区域内。     

锗的红外折射率精密测量

利用所研制的KGZ-Ⅱ型高精度光电折射仪,在5～10.6μm的光谱范围内,测量了由北京有色金属研究总院研制的锗的折射率,并与红外色散公式计算的结果进行了比较,分析了影响测量准确度的各项主要因素,给出了具有±3×10^-4准确度的测量结果。     

直角尺垂直度误差的自检法

铸铁直角尺是一种基准量具,在机械行业的各部门被广泛应用,其寿命几乎可以认为是无限的,一般不需要以新换旧,磨损后刮研修复即可继续使用。而修理的前提是测量,若能准确掌握误差的分布情况,修理并不困难。再就是使用中的直角尺也需要做定期检验。目前大多数单位采用的测量方法,是在精密平板上,以高精度圆柱直角尺为基准,按光隙法作比较测量。本文则介绍不采用客观基准的自检法,精度较高且又简便易行。     

高精度平面度测量技术研究

为解决高精度平面的测量提出了平直度光电组合测量法,开发了PG－1高精度平直度测量系统。平直度光电组合测量法和PG－1高精度平面度测量系统主要用于被测面能导电的中等尺寸工件的高精度平直度测量。系统采用双频激光直线光轴作为参考基准,进行单一线的连续非接触测量。通过若干测量线的相关检测构造出被测面的形貌,进而评定出符合国际规定的平面度或直线度误差。其主要技术指标如下：1．最大测量尺寸600×400mm2（平面度）或800mm（直线度）;2．测量分度值：0．01μm;3．量程：60μm或200μm;4．测量间隔：最小为1mm;5．测量不确…     

热电偶自动检定系统的炉温控制设计

介绍了热电偶自动检定控温系统的硬件设计。根据热电偶检定炉温度控制过程的特点和要求,提出了模糊单神经元控制算法。实验结果表明:系统整体控温误差不超过±5℃,恒温时≤0.6℃/6 min,测量时≤0.2℃/min,具有较高的控制精度。     

基于AD537V/F转换器的高精度智能测温仪设计

介绍了利用铂电阻PT1000作为温度传感器,以高精度、高线性度的电压/频率转换器AD537构建的高精度智能温度测量系统.利用AD537直接将电阻值转换成频率信号,供后续微处理器进一步处理.减少了一般测量系统中用电阻-电压转换电路以及信号调理电路带来的误差.经实际应用表明,此系统实现了高精度的温度测量,使误差不超过±0.2℃.