MZI型MOEMS压力传感器的研究

集成光学压力传感器利用幅度、相位、折射率分布、光程和光波极化方式的改变来感应外部压力。设计了马赫-曾德尔干涉仪（MZI）型微型光机电系统（MOEMS）压力传感器,探讨了工作原理,分析了弹性薄膜尺寸对应力的影响和波导中TE、TM模式的光对波导折射率的影响。通过设计弹性薄膜的尺寸和选用特定波长的单模激光,得到传感器的工作特性。     

光纤压力传感器

为解决马赫-泽德光纤干涉仪在实际应用中遇到的噪声、扰动等的影响,介绍了采用高双折射的偏振保持光纤做成的单根光纤干涉型压力传感器的检测原理,光传输特性、信号处理方法和结果.特别指出了光纤压力传感器的一些技术要点.     

微型多晶硅膜电容式 压力传感器的研制

目前使用较为广泛的扩散硅压阻式压力传感器,是利用半导体硅的电阻率随应力变化的性质而制成的.由于电阻器间的PN结隔离,使这种传感器温度稳定性较差,应用时     

基于C++Builder下的压力传感器自动测试系统

为了解决批量压力传感器研制和测试过程中的重复工作及大量数据的后期处理,利用数字输入输出卡PCL 722和端口通讯卡IEEE 488，以及自动测试电路等研制了自动测试系统。     

阵列式硅压阻压力传感器的研究

介绍了一种阵列式硅压阻压力传感器 ,就其设计结构、生长工艺及实验结果进行了概要地阐述 ,其生长工艺将微机械加工工艺和半导体平面CMOS工艺融为一体。     

面向人体运动检测的纸基柔性压力阵列传感器

针对制备同时具有高灵敏度和大工作范围的柔性压力阵列传感器的挑战,以无尘纸作为基底,采用石墨烯—碳纳米管导电涂料和聚二甲基硅氧烷(PDMS)进行混合作为涂层,利用PDMS的粘性与涂料的导电性进行电气连接,使用激光切割进行阵列设计,高灵敏度(3.29 kPa~(-1))、大工作范围(0～45 kPa)的压力阵列传感器研制成功,同时纸基材料不易连接的问题也得到了解决。该传感器不仅可以用于检测大幅度的肢体运动,还可以用于探测细微的人体动作。由于该传感器具有柔软、灵敏度高、制造工艺简便、成本低、电气连接简便等优点,显示了其在可穿戴传感器领域和智能机器人触觉领域的应用潜力。     

轮胎压力监测系统及轮胎压力传感器的现状与发展

介绍了汽车轮胎压力监测系统及轮胎压力传感器的种类、工作机制、特点和其发展现状,涉及了典型的硅压阻式、电容式轮胎压力传感器、无电池石英谐振式表面波轮胎压力传感器的研究状况,以及可直接与标准轮胎集成的声表面横波压力传感器等新型汽车轮胎压力传感器,并探讨了当前研究中需解决的问题和今后发展方向。     

光纤传感器中的补偿技术

振幅调制型光纤传感器采用光桥式补偿结构后,有效地减小因环境因素变化而导至的误差,该技术应用于光弹效应光纤压力传感器及激光雷达储油罐液位测量中,取得明显的效果。     

基于光学微腔的MOEMS微位移传感器

该MOEMS微位移传感器是一种基于光波导环形谐振腔的悬臂梁式传感器,通过一系列的微加工技术集成制造在SOI材料上.光学微腔是一种新型的光学谐振腔,当其在回音廊模式下(WGM)共振时可以检测到规则的透射谱图,该传感器通过测量透射谱的偏移来确定位移量.利用有限元分析法可以得到悬臂粱结构的最佳尺寸参数,利用时域有限差分方法(FDTD)可以得到环形腔投射谱的偏移特性.当使用跑道型谐振腔时,该新型传感器最高可以探测到10nm左右的位移量.     

适用于极端环境的高精度压力传感器开发与标定＊

设计一种可应用于高温高压、强腐蚀性环境的压力检测传感器,以满足极端环境科学研究的需求.利用可耐高温高压、抗腐蚀、具有高屈服强度的钛金属作为传感器材料,采用组合式结构和特殊的圆膜片贴片与组桥技术,开发了适合于极端环境工作的钛压力传感器,并应用多维线性插值算法对传感器进行标定,以提高检测精度.实验检测结果表明,钛压力传感器在60MPa、400℃环境下的酸性或碱性溶液中都能正常工作,检测精度可以达到±0.2﹪FS以内,满足极端环境高精度压力检测需求.     

声表面波压力传感器

论述了声表面波压力传感器的工作原理及设计方法,报导了研究结果:传感器在0～100kPa范围内具有良好的线性;其中一阶压力灵敏度为0.55×10~(-9)/(Pa·cm~(-2))。     

测量海水压力的传感器

本文介绍了海水压力传感器的原理、结构及高准确度、耐腐蚀等特性,可用于海水深度及舰艇位置测量、有广泛应用前景。     

热激励谐振式硅微结构压力传感器闭环系统

讨论了一 执 式硅微结构压力传感器闭环系统。该谐振式硅微结构压力传感器以方形硅膜片作为一次敏感元件;硅梁作为二次敏感元件。在硅梁谐振子的中部设置一电阻,作为热激励单元;在梁的要部设置一压敏电阻,作为拾振单元。基于该夺式硅微结构压力传感器敏感机理,分析了信号的相互转换,给出传感器闭环系统实现的条件。     

热激励谐振式硅微结构压力传感器

对一种以方形硅膜片作为一次敏感元件;硅梁作为二次敏感元件的硅谐振式压力微传感器进行了研究:建立了微传感器敏感结构的数学模型;敏感结构参数:方形膜边长4 mm,膜厚0.1 mm,梁谐振子长1.3 mm,宽0.08 mm,厚0.007 mm;对原理实验样件采用电热激励、压阻拾振方式作了开环测试,讨论了传感器的闭环系统.     

单光纤压力传感器的研究

设计了一种目的在于减小传感器尺寸的单光纤结构膜片式光纤压力传感器.实验中采用62.5/125 μm多模光纤和直径为10 mm的弹性膜片,对光纤端面到膜片的距离在几种不同情况下的传感器响应特性进行了实验研究.我们通过对光纤投射到膜片上的光斑进行分析,给出了反射回光纤的有效光场分布,并利用有效光斑进行计算,而对原有理论做出了一定的修正,修正后的理论与实验的符合性比未修正前有了较大的提高.     

硅膜片电容压力传感器CAD

本文用数值方法计算C型和E型硅膜片电容压力传感器的输入、输出关系及性能指标,给出了能减少非线性误差的新的电极形状。     

压力传感器及误差补偿

介绍了压力传感器、变送器、智能压力传感器,对压力传感器的零点漂移、压力灵敏度、非线性误差进行补偿。设计了压力变送器、温度变送器、A/D转换器和单片机电路。较好地补偿压力传感器的误差,提高测量精度一个数量级别,达到测量精度0.1%±1字。