基于智能复合镀膜设备的控制系统设计

本文结合复合镀膜设备及镀膜工艺特点,详细分析了复合镀膜设备镀膜工艺流程以及过程中容易产生能耗和污染的问题.并在此基础上,根据设备真空系统、工装和水冷系统、控制系统以及设备各个源的协同作用进行了系统设计,通过PLC和LabVIEW软件协同设计和实现了智能复合镀膜设备自动控制系统,以保证镀膜设备和工艺生产的稳定性及可靠性,...     

镀膜机的微机控制

设计了磁控溅射-多弧镀膜机的微机控制系统．采用PLC可编程控制器与上位机进行数据传递和控制设备的控制方式。本微机控制系统中的真空镀膜机，设计了3套孪生磁控、10套多弧和8级工艺的过程控制，具有自动组合工艺和自控程序升级功能，从而实现多种工艺的镀膜要求。     

《真空镀膜技术》和《真空镀膜设备》出版发行

由东北大学张以忱主编的真空工程技术丛书:《真空镀膜技术》和《真空镀膜设备》两书由冶金工业出版社出版发行。《真空镀膜技术》主要内容:薄膜基础理论、真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜、真空离子镀膜、真空卷绕镀膜技术、真空化学气相沉积(CVD)、离子注入与离子辅助沉积技术、ITO导电玻璃镀膜工艺、薄膜厚度测量与监控、薄膜与表面分析     

《真空镀膜技术》和《真空镀膜设备》出版发行

由东北大学张以忱主编的真空工程技术丛书:《真空镀膜技术》和《真空镀膜设备》两书由冶金工业出版社出版发行。《真空镀膜技术》主要内容:薄膜基础理论、真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜、真空离子镀膜、真空卷绕镀膜技术、真空化学气相沉积(CVD)、离子注入与离子辅助沉积技术、ITO导电玻璃镀膜工艺、薄膜厚度测量与监控、薄膜与表面分析     

采用PLC级差法闭环控制中频电源反应溅射沉积Al2O3薄膜

本工作开发了一种靶电压反馈自动控制系统,称为可编程控制器(PLC)级差法反馈控制系统,用于旋转圆柱金属Al靶真空反应溅射沉积Al2O3陶瓷薄膜。根据反应溅射Al2O3工艺特性设计反馈控制的数学模型,再按照数学模型,采用梯形语言在PLC内进行程序编码实现。通过反馈控制参数的优化,实现较高功率26 kW下中频磁控反应溅射Al2O3工艺稳定。测试得到50 nm厚的Al2O3薄膜,其可见光吸收比和太阳光吸收比接近零。这种反应溅射反馈控制系统简易可行且经济实用。     

《真空镀膜技术》和《真空镀膜设备》出版发行

由东北大学张以忱主编的真空工程技术丛书:《真空镀膜技术》和《真空镀膜设备》两书由冶金工业出版社出版发行。《真空镀膜技术》主要内容:薄膜基础理论、真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜、真空离子镀膜、真空卷绕镀膜技术、真空化学气相沉积(CVD)、离子注入与离子辅助沉积技术、ITO导电玻璃镀膜工艺、薄膜厚度测量与监控、薄膜与表面分析检测技术。     

《真空镀膜技术》和《真空镀膜设备》出版发行

正由东北大学张以忱主编的真空工程技术丛书:《真空镀膜技术》和《真空镀膜设备》两书由冶金工业出版社出版发行。《真空镀膜技术》主要内容:薄膜基础理论、真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜、真空离子镀膜、真空卷绕镀膜技术、真空化学气相沉积(CVD)、离子注入与离子辅助沉积技术、ITO导电玻璃镀膜工艺、薄膜厚度测量与监控、薄膜与表面分析检测技术。书中还系统地介绍了反应溅射镀膜、非平     

《真空镀膜技术》和《真空镀膜设备》出版发行

<正>由东北大学张以忱主编的真空工程技术丛书:《真空镀膜技术》和《真空镀膜设备》两书由冶金工业出版社出版发行。《真空镀膜技术》主要内容:薄膜基础理论、真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜、真空离子镀膜、真空卷绕镀膜技术、真空化学气相沉积(CVD)、离子注入与离子辅助沉积技术、ITO导电玻璃镀膜工艺、薄膜厚度测量与监控、薄膜与表面分析检测技术。书中还系统地介绍了反应溅射镀膜、非平     

《真空镀膜技术》和《真空镀膜设备》出版发行

正由东北大学张以忱主编的真空工程技术丛书:《真空镀膜技术》和《真空镀膜设备》两书由冶金工业出版社出版发行。《真空镀膜技术》主要内容:薄膜基础理论、真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜、真空离子镀膜、真空卷绕镀膜技术、真空化学气相沉积(CVD)、离子注入与离子辅助沉积技术、ITO导电玻璃镀膜工艺、薄膜厚度测量与监控、薄膜与表面分析检测技术。书中还系统地介绍了反应溅射镀膜、非平     

《真空镀膜技术》和《真空镀膜设备》出版发行

由东北大学张以忱主编的真空工程技术丛书:《真空镀膜技术》和《真空镀膜设备》两书由冶金工业出版社出版发行。《真空镀膜技术》主要内容:薄膜基础理论、真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜、真空离子镀膜、真空卷绕镀膜技术、真空化学气相沉积(CVD)、离子注入与离子辅助沉积技术、ITO导电玻璃镀膜工艺、薄膜厚度测量与监控、薄膜与表面分析检测技术。书中还系统地介绍了反应溅射镀膜、非平衡磁控溅射和中频交流溅射镀膜技术。     

基于模糊控制的HVPE生长设备温度控制系统

氢化物气相外延（hydride vapor phase epitaxy,HVPE）工艺的关键是确保加热炉的温场恒定和高精度控制。由于HVPE生长设备温度控制过程涉及多个加热温区,以及温度测量元件和电阻加热炉温度传导引起的延迟,其温度控制存在超调过大、控制精度低和调节时间过长等问题。为实现HVPE生长设备反应室内温度的精准调控,将模糊逻辑应用到PID （proportion integration differentiation,比例积分微分）控制中,设计系统各温区的模糊自适应整定PID控制器。依据实际设备与相应技术要求,设计研发了一套基于PLC （programmable logic controller,可编程逻辑控制器）、温度控制电路以及模糊自适应整定PID控制的HVPE生长设备温度控制系统。Simulink仿真结果与实测结果表明,模糊自适应整定PID控制器可以应用于HVPE生长设备的温度控制系统,且控制效果较好。研究表明,所设计的温度控制算法与温度控制系统能够很好地满足GaN材料生长的工艺要求,具有一定的实用价值。     

高速精密轧辊磨头主轴驱动控制系统设计

高速轧辊磨床是冶金生产领域一种不可或缺的重要设备,它是基于高精度和稳定可靠的电气控制系统来实现对磨削过程的准确控制。针对一种砂轮线速度在80 m/s以上的高速轧辊磨床,以FX_3UPLC作为控制器,采用与PLC（programmable logic controller,可编程逻辑控制器）标准配套的A/D及D/A特殊功能模块,组成PLC模拟量控制系统,设计了基于FX_3UPLC和变频器控制的高速精密轧辊磨头主轴驱动控制系统。介绍了高速精密轧辊磨头运行时的控制要求及磨头主轴电机变频调速控制系统的组成、控制方案及信号处理方法,设计了硬件电路、电机速度控制梯形图及系统通信程序。利用组态王软件开发了上位机监控界面,通过上位机组态界面输入框设定电机转速,加入模拟量编码器作为主轴电机转速反馈传感器,引入PID速度闭环控制系统,使得电机能够在给定转速下稳定运行。系统采用PLC对模拟量信号进行实时采集,经数模计算和反馈,实现轧辊磨头主轴系统各过程变量的实时监测和主轴电机输出转速的在线调整。该系统运行稳定,具有较好的抗干扰性能,保证了高速精密轧辊磨头连续可靠、安全高效的运行。     

HTR-10燃料元件装卸控制系统的研制

为保证高温气冷实验堆燃料元件装卸系统的可靠运行,采用了以ＰＬＣ－ＩＰＣ为核心的控制系统设计方案。介绍了控制系统的结构、主要执行元件的控制方式、ＰＬＣ控制的特点以及ＩＰＣ软件的编制实现了燃料元件装卸循环过程的实时控制、状态监控、数据存储、故障诊断和报警、系统管理等功能。     

基于公用电话网和PLC的远程空调管理控制系统的研究

采用PLC实现房间内空调系统的控制,运用CAN总线和485总线的分布式房间温度监测系统监测温度变化,将二者结合起来,再通过公用电话网络(PSTN)实现远程控制和数据传输,达到对空调的远程管理与控制。     

基于PLC的液体培养基自动制备系统设计

针对液体培养基人工制备过程低效且目前国内外缺乏具有完整流程的液体培养基自动制备系统的问题,开发了一套基于可编程逻辑控制器（programmable logic controller, PLC）的液体培养基自动制备系统,其选用动作与感知层、传输层和应用层相结合的架构体系,由进料子系统、出料子系统和控制子系统组成。该系统以PLC、MCGS（monitor and control generated system,监视与控制通用系统）触摸屏、传感器和执行设备组合的方式,实现基于培养基配方的组分全自动选择和配比,在线pH监控和溶解氧（dissolved oxygen, DO）监测,以及全自动清洗、过滤、混匀和分装,完成液体培养基的自动配制。同时,监控数据可实时采集和图形化显示,且全流程可回溯、可存储。针对系统的误差,基于试验数据获得误差模型后通过预测确定误差修正量。经实际测试与修正,所设计系统制备液体培养基的相对误差在0.336%以下,重复性误差在0.274%以下,pH的最大控制误差为±0.18,pH和DO的最大测量误差分别为±0.04和±1%,能够满足液体培养基的制备需求。研究结果对全流程自动化液体培养基制备系统的开发有一定的参考意义。     

PN PLC: A methodology for designing,simulating and coding PLC based control systems using Petri nets

Flexible manufacturing cells (FMCs) are well established as a means of improving manufacturing efficiency in many batch production industries. They consist of an integrated group of computer numerically controlled (CNC) machine tools, programmable logic controller (PLC) based work/tool handling equipment and a control system to synchronize their operation. The safe and reliable operation of FMCs is clearly essential for their efficient use. However, FMCs are complex systems with elements that operate concurrently and interact at irregular times, depending upon the components to be produced. This inherent complexity demands intricate and sophisticated control systems which require development methodologies that are both comprehensive and rigorous. In this paper the authors introduce a methodology (PN PLC) which uses Petri nets for producing correct programmable logic controller (PLC) programs directly from the specifications. The methodology is specifically contrasted with the benefits, and problems, encountered in using tools such as 'ladder diagrams' (LDs) and 'sequential function charts' (SFCs) for designing logical control systems. PN PLC has advantages over ladder logic in clarity, which allows the program to be checked, maintained and updated reliably. Furthermore, the Petri net graph is a one-to-one equivalent of a ladder logic diagram, and thus either representation may be algorithmically translated to the other without loss of information. Finally, the rules for creating Petri net graphs, and subsequently translating them, are both simple and robust in use.     

面粉冲装称量机构变脉冲积分化控制

目的 针对面粉自动冲装称量生产加工要求,改进设计一种可实现多款称量功能的冲粉称量机构,并进行可变脉冲积分化控制设计,实现自动冲装称量应用.方法 采用可编程序控制器(PLC)的高速脉冲输出功能,设计分段高速脉冲控制驱动步进电机解决冲粉称量的生产控制要求,即在精确称量阶段通过设计匀速递减可变脉冲来快速无限逼近积分控制过程以达到精准称量.结果 该设计有效地抑制了称量中干扰和步进电机的高频振颤现象,最大过冲量小于3 g.结论 与传统的粉末自动冲装称量控制应用相比,该控制无整定参数且精准称量时间更短,设计更便于采用PLC编程来实现,称量精度更逼近称量传感器的分辨率.     

可编程控制器在光束线真空控制系统中的应用

光束线真空联锁保护与控制系统是保障同步辐射加速器与光束线、实验站安全、可靠运行的至关重要的必要设备。采用标准化、高质量的可编程控制器（PLC）为核心的光束线真空控制系统可以提高系统的可靠性、稳定性、抗干扰性和电磁兼容性。本文介绍了合肥同步辐射光源真空联锁保护与控制系统以及PLC在该控制系统中的应用。     

浅谈PLC控制系统在选矿中的应用

自二十世纪六十年代美国推出可编程逻辑控制器（Programmable Logic Controller,PLC）取代传统继电器控制装置以来,PLC得到了快速发展,在世界各地得到了广泛应用。同时,PLC的功能也不断完善。随着计算机技术、信号处理技术、控制技术网络技术的不断发展和用户需求的不断提高,PLC在开关量处理的基础上增加了模拟量处理和运动控制等功能。今天的PLC不再局限于逻辑控制,在运动控制、过程控制等领域也发挥着十分重要的作用。通过在选矿工艺中PLC控制的可靠性方面所遇到的情况进行分析,给出提高其可靠性的具体措施。