微电子机械的发展现状及前景

一、概述 微电子机械系统(Micro-Electron—Mechanical—System缩写为MEMS)是在微电子工艺基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。它涉及电子工程、机械工程、材料工程、信息工程、物理学、化学、光学、医学及生物学等学科和技术。 微电子机械从广义上是指集微型机构、微型传感器、微型执行机构及信号处理和控制电路,直到接口、通讯和电源等于一体的微型机电一体化产品。这里的微电子机械产品是指可以批量制造的、几何尺寸不超过1cm~3的制品,最小体积的远期攻坚目标是微米～纳米(μm～nm)范畴。     

微型机械的研究现状及其产业化分析

微型机械是在微电子工艺的基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域，具有广阔的应用前景。文 中分析了微型机械的研究发展现状，并对其市场前景进行预测。提出微型机械技术产品产业化是微技 术发展的必然趋势，在我国实现微型机械的产业化具有一定的可行性和必要性。最后，对于产业化过程 中的一些相关问题提出相应的对策。     

微机电系统发展的新动向

微机电技术是指集微型传感器、微型执行器、信号处理和控制电路、接口电路、通信系统以及电源于一体的微机电 系统 (M EM S:M icro E lectro M echanicalSystem )。它将微电子 、微米 /纳米加 工技 术、精 密机械、微纳米传感器、微纳米材料等技术相互融合,实现了微电子与机械融为一体的系统。其目标是把信息的获取、处理和执行集成在一起,组成具有多功能的微型系统 ,完成大 尺寸机电 系统所不 能完 成的任 务;也可以嵌入大尺寸系统中,从而大幅度地提高系统的自动化、智能化和可靠性水平。微机电技术是一种典型的多学科交叉的前沿性研究…     

21世纪的机械工程

机机械、机械工程科学的诞生与发展促成了18～19世纪的工业革命,被人们称为“机械文明”。20世纪后期诞生了微电子技术,它与机械相结合,使机械本身出现了革命性的变化,还促成了新颖的微型机械的诞生。同时也对机械提出了新的要求。微电子技术使机械的自动控制机构彻底简化,使机械的自动化程度和柔性大大提高,因而制造业可以由大批量自动生产线作业转向多品种、小批量、常变化的柔性自动化生产线作业。传感技     

2000年我国机械科学技术展望〈三〉

四、微电子技术与计算机在机械制造业中的应用展望 (一)机械电子一体化的技术装备和产品机械技术与微电子技术、信息技术紧密结合,是机械工业发展的必然趋势。事实证明,这种结合从硬件和软件两个方面,把机械产品的功能和性能,以及制造技术提高到     

机电工程科学前沿与发展的思考(4) 综合化是机械工程发展的途径

2　机电一体化工程 (ＭｅｃｈａｔｒｏｎｉｅＥｎｇｉ ｎｅｅｒｉｎｇ)是高技术装备的基础将机械与电、气、液、光、生物和信息等技术融合在一体 ,从而彻底改变了传统机械产品的结构和功能 ,产生出大量全新的技术与产品 ,这就是机电一体化工程。机电一体化是当前我国企业改造、产业调整、产品更新的重要内容 ,也是企业大发展的重大机遇。4 2 1　关于微电子芯片制造微电子技术的核心是集成电路芯片制造技术。集成电路诞生于 2 0世纪 60年代初。 30多年来 ,其集成度 (单个硅片上的元件数 )由几十个元件的小规模集成电路 ,发展到今天上亿个元…     

一种多功能微型电子机械系统

一种多功能微型电子机械系统谢国章一、引言微型电子机械系统（ＭＥＭＳ）是德国学者于８０年代末提出的概念，意指由微机械与微电子集成所构成的微型结构，具有小型、可靠、性能优越、生产成本低等优点，既有微电子的处理功能，又有微机械的传感与执行功能，是一全智能系...     

纳米测量技术与微型智能仪器

纳米测量技术已成为纳米技术的重要组成部分。微型明仪器,是微型传感器、微型执行器和信息处理技术、微电子技术发展的必然产物,是微型机械电子系统的主要开窍内容之一。它将仪器的性能提高、价格下降、在生产和生活中应用更加方便。微型智能仪器具有良好的应用前景,是２１世纪仪器发展的一个重要方向。对纳米测量技术和微型智能仪器的一些普遍问题,关键技术及其发展进行论述。     

微系统集成技术研究的动向

在微电子、微机械和微光学的基础上,集成传感器、执行器和信号处理单元于一体的微系统技术,是现代技术发展的一个新动向。微系统技术在微传感器、微执行器、微光学和专用集成微型仪器等方面有较大发展。微系统在一些工业中获得应用。     

2000年我国机械科学技术展望〈三〉

<正> 四、微电子技术与计算机在机械制造业中的应用展望(一)机械电子一体化的技术装备和产品机械技术与微电子技术、信息技术紧密结合,是机械工业发展的必然趋势。事实证明,这种结合从硬件和软件两个方面,把机械产品的功能和性能,以及制造技术提高到一个新的水平,使机械产品的构成发生了变化,所带来的经济效益和社会效益是相当可观的,这种结合被称为“机电一体化”。机械工业引入微电子技术,不仅可以改造老产品,更重要的是可以促进机械产品升     

2000年我国机械科学技术展望(一)

本文围绕机械工业的科学技术,包括基础技术与常规工艺(如产品设计技术、机械工业基础理论、制造工艺、材料应用、节能技术),微电子技术与计算机在机械制造业中的应用(如机械电子一体化、机械工业自动化系统)现状提出发展预测,并指出与机械制造业发展有关的市场产品技术、材料结构、生产方式的发展新趋势。     

2000年我国机械科学技术展望〈一〉

本文围绕机械工业的科学技术,包括基础技术与常规工艺(如产品设计技术、机械工业基础理论、制造工艺、材料应用、节能技术),微电子技术与计算机在机械制造业中的应用(如机械电子一体化、机械工业自动化系统)现状提出发展预测,并指出与机械制造业发展有关的市场产品技术、材料结构、生产方式的发展新趋势。     

国外微型机械及微执行器的研究

由于高新技术的迅速发展,微型机械包括各种微传感器、微执行器和微控制器的研究和为一些尖端技术发展过程中的重要手段越来越受到国际科技界的重视。微型机械多种多样。如可在狭小的空间和危险场所进行维护检查的自行式微型机械、可进入管道、人体腔体甚至血管进行检查和手术的微型机械、扫描隧道显微镜(STM)和原子力显微镜上的分辨力以纳米计的微动机构、半导体领域和分子机械领域都出现了很精密的微型机械。国外为了提高微型机械的研究水平,最近还定期举办微型机构和微型机器人的比赛,包括爬山、爬崖和自我表演等项目,由于微型机械都必须有所动作,因此其中的微执行器(micro-actuator)最为重要,其工作原理多种多样。本文将就微型机械、微执行器的原理和国外的微型机构比赛作一综述。     

机电一体化讲坛 第一讲 机电一体化与支柱产业

第一节　机电一体化机电一体化是微电子技术向传统机械工业渗透过程中逐渐形成和发展起来的 ,是机械技术、微电子技术和信息技术相互融合的产物。它的产生和发展 ,给整个国民经济、社会生活带来了深刻的变化 ,促进了工业经济的发展。机电一体化涵盖“技术”和“产品”两个方面。机电一体化技术是微电子技术、计算机技术、信息技术与机械技术相结合的一种综合性技术 ,是使机电一体化产品 (系统 )得以实现、使用和发展的技术。机电一体化产品是指机械系统和微电子系统有机结合 ,从而赋予新的功能和性能的新产品。随着科学技术的发展 ,机电一体…     

精密机械——新兴的综合性学科

随着新的科学技术革命的迅速发展,对各类机械产品的要求日趋高性能、高可靠性、智能化、省能耗、省资源消耗与低成本等。这就迫切要求形成一门由机械、微电子、现代光学技术等为基础、结合其它各领域最新成就的综合性学科——精密机械或精密工程(PrecisionEngineering)。目前,国内外已成立了很多相应的研究单位、高校的系科及跨行业的学会组织。并且,为了开展国际间的学术交流。欧美诸国自1981年以来每隔二年举办一次精密工程国际学术讨论会。所涉及的具体领域有:毫     

MEMS技术的发展现状及应用

微电子机械系统(MEMS)技术是在微电子和微机械技术上发展起来的一门多学科交叉技术。MEMS包括微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、通信接口和电源部件等，能完成大尺度电子机械系统所不能完成的工作，从而极大地提高系统的自动化、智能化和可靠性水平。     

将震动传感器与通信网络连接

新型的震动传感器适用于独立工作的分体式机械零部件,它具有更高的智能化程度和直接通过网络传送数据的能力。配合微电子加速传感器、微型监控器、DSP技术和数据总线系统等,构成一整套物美价廉的解决方案。     

微型工程与机电一体化

微型工程 人类进入信息时代之后,传统的精密机械设备已远远不能适应高性能、高可靠、低价格、数字化、智能化等的技术要求,因而近年来精密机械已由传统的纯机械或很偏重于机械的情况,发展为精密机械与电子技术、计算机技术、工程光学技术等相互转换并巧妙融合的综合体。从而在这一基础上,     

抓住机遇,推动我国微型机械的快速发展

阐明微型机械新型学科的内涵和广阔的应用前景。综述美、日等发达国家从事微型机械的研究与开发状况和国内微型机械的研究现状。提出了推动我国微型机械快速发展的建议。     

微电子机械技术的现状与发展

微电子机械技术是国际上新兴的科学前沿，它的发展会象微电子技术那样引发一场新的产业革命。本文介绍了微电子机械技术的主要工艺以及在微结构、微传感器、微执行器和微系统方面的研究进展，并对今后的研究动态进行了论述。