晶圆显影过程中喷嘴液滴运动的数值计算

集成电路制造过程中对晶圆显影工艺的均匀性有很高的要求,重点在于保证显影喷嘴出口—毛细管出流液滴的体积和滴落频率稳定。采用有限体积法对液滴的形成及脱落过程的纳维斯托克斯方程进行了求解,并对轴对称毛细管模型进行了结构化网格的划分,通过VOF(volume of fluid)模型针对液滴变化过程中的气液两相界面进行了追踪。分析了毛细管中流量逐渐加大对液滴低落频率及液滴体积的影响,并研究了在液体流速低于和高于临界流速的不同情况时不同的滴落过程。该研究有助于显影喷嘴设计过程中确定出口毛细管管径的大小、间距以及额定工作流量。     

大高宽比光栅的摇床式辅助显影工艺

针对大高宽比微结构显影过程中由显影液的对流传质严重受限、光刻胶层厚、显影时间长带来的显影不均匀问题,提出了基于翘板式摇床辅助的显影方法。利用有限元法模拟了摇床工作时整个样品表面的流场分布以及显影液在不同高宽比微结构光栅表面的流场分布。模拟结果表明,通过摇床摆动可以实现显影液均匀流动。然后,提出了快速的显影参数确定方法,并通过实验给出了沟槽深宽比和显影速率之间的关系,提供了可参考的显影工艺参数,并验证了工艺参数的合理性。在显影时间为10~12 min,显影速率为0.21~0.23 m/s,沟槽深宽比为2.5,光刻胶厚度为200μm的光栅的显影均匀性优于96%。该方法可以实现大高宽比微结构的均匀显影,满足高质量大高宽比光栅的制作要求。     

静电复印机磁刷显影器探讨

一、引言磁刷显影法是美国RCA公司为用于该公司静电复印而开发的粉体显影法,由于它边缘效应小,并且能使显影器小型化、简易化,因此被广泛应用于静电记录传真、静电复印机等设备。由于对磁刷显影器构造与显影剂劣化现象的关系,以及与记录图象质量的关系进行了实验性的探讨,从而取得了磁刷显影器设计方面的基础资料,提出此项报告。二、磁刷显影器的结构首先介绍一下在这一探讨中使用的磁刷显影器。     

显影磁辊套筒表面处理工艺研究

显影磁辊作为静电复印机及激光打印机中重要部件之一.在磁辊磁性能及几何尺寸一定的情况下,显影磁辊套筒表面质量决定是否能保证将要求的显影剂数量均匀地送到感光鼓上进行显影.讨论了套筒表面的喷砂处理,选择不同的磨料、时间及压力可得到套筒不同的表面形状及粗糙度.     

大幅面彩色激光打印机显影器设计

显影器是复印机和打印机的重要组成部分,介绍了大幅面彩色激光打印机显影器设计,同时也介绍了制造各向异性多极性磁辊的方法和显影器成型方法.     

无氨机显影方式辨析及三辊显影方式实现研究

晒图机是工程复印行业集机、光、电知识为一体的主流设备。而冷光无氨晒图机更因其节能、即开即晒、无氨味等特点备受欢迎。本文对此机种中最优的三辊式显影结构进行研究,介绍此机种的原理及实现过程中应注意的问题。     

学习苏联先进经验无阿母尼亚显影法的报道

过去我们晒图工作是使用阿母尼亚熏图法来显影的,这样不但所须设备多,而且生产效率又低,同时不能使晒图工作者立刻看见自己工作的结果——晒完、显影完毕。特别是用阿母尼亚显影法对身体健康有很大妨碍。容易造成职业病。 前经「机床与工具」编辑部介绍高连玉同志译自苏联「无阿母尼亚显影法」这一先进经验後,我们就进行了多次学习与试验,最後达到要求标准,现将试验结果报道如下: 一、显影药剂的配制及显影机装置: 显影剂是用试验的第四次配方得到成功的,其方法是:苛性钠 1克; B-萘酚 1克;硫酸苯胺0. 5克;水40～50克。用此法的反应:①显影…     

新型抗冲击磨损扇形喷嘴的设计研究

从磨损机理出发,指出扇形喷嘴的主要磨损形式.分析造成扇形喷嘴磨损快、寿命短的原因,指出传统喷嘴结构上的缺陷,提出新型喇叭型出口结构的扇形喷嘴,并进行了磨损对比试验.结果表明:喇叭型出口结构可增加喷孔颈部的厚度,增强喷孔的抗冲蚀能力,可有效地减少喷嘴的磨损、延长喷嘴的寿命.     

高压喷嘴室导流板斜锥孔系加工工艺分析

某给水泵汽轮机组高压喷嘴室中喷嘴室导流板喷嘴孔由7组空间相交斜度达75°的斜锥孔系组成,加工难度很大,文章就该工件的加工工艺方案及制造过程进行分析,阐述了成功方案的工艺方法及注意事项。     

软 X 射线接触式显微术抗蚀膜显影条件分析

按照生物样品各分辨单元具有多种透过率的特点,设计了一个多衬度的台阶状蛋白质模型,模拟各台阶的真实成像条件,测量了各台阶所对应的抗蚀膜显影速率曲线,对显影条件作了定量分析,并将显影条件与分辨率紧密结合起来,找到了一种较好的定量确定显影条件的方法。     

喷射粘接快速成型技术的原理、成型特性及关键部件

本文主要论述了喷射粘接快速成型的基本原理,成型工艺特性（包括成型速度的影响因素及提高成型速度的途径、成型物体尺寸误差的主要来源与控制、成型物体的表面质量的影响因素及提高表面质量的方法）,最后论述喷射粘接成型系统的关键部件—喷嘴,根据粘接剂微粒的特性,提出了一种实际可行的喷嘴结构。     

大球面光胶

本文对φ130毫米直径的球面光胶工艺进行了论述,光胶定心精度达到0.03毫米。指出了光胶缺陷的排除和脱胶方法等。     

使用中的拉刀刃磨工艺

本文对拉刀的切削过程及产生磨钝的原因进行了分析；指出了拉刀在使用中常出现的缺陷提出了应采取的补救工艺。     

MC3A辊坯探伤缺陷鉴定及分析

论述了MC3A轧辊钢的探伤检验方法及对缺陷性质的分析,提出避免缺陷的工艺方法。     

均匀钎料熔滴喷射装置设计

针对现有焊球生产设备结构复杂、成本高等缺点,设计了实验室用均匀钎料熔滴喷射装置。该装置分为压力控制器、液滴生成器、气体保护装置以及冷却凝固装置四个部分。其中液滴生成器采用喷嘴局部缩径,使熔滴在表面张力差及重力的作用下实现分离,有效地简化了装置的结构,降低了成本。利用所设计的装置对Sn3.0Ag0.5Cu焊球的制备工艺进行优化,并对优化工艺参数下制备的焊球从表面形貌与球形度、焊球尺寸分布以及钎料微观组织等方面进行质量评定。结果表明：喷射压力、喷嘴到冷却介质表面的距离以及喷嘴内径是影响焊球成形的主要因素。优化工艺参数下制备的焊球尺寸均匀、表面光亮、球形度好、内部组织细密无缺陷。所设计的装置能够满足实验室研究钎料喷射过程以及焊球制备的需要。     

喷射粘接快速成型技术的原理,成型特性关键部件

本文主要论述了喷射粘接快速成型的基本原理，成型工艺特性（包括成型速度的影响因素及民型速度的途径、成型物体尺寸误差的主要来尖与控制、成型物体的表面质量的影响因素及提高表面质量的方法），最后论述喷射粘接成型系统的关键部件－－喷嘴，根据粘接剂向来闰的特性，提出了一种实际可行的喷嘴结构。     

汽轮机喷嘴环磨粒流抛光工艺参数优化

为解决大型汽轮机喷嘴环磨粒流抛光的工艺技术问题,研究了喷嘴环磨粒流抛光工艺,分析了抛光工艺因素对表面质量的影响。根据喷嘴环结构的特点,结合抛光压力损失规律,设计了喷嘴环磨粒流抛光专用夹具;利用ANSYS有限元软件对叶片进行压力载荷静态分析,确定了合理的磨粒流抛光压强范围;采用信噪比实验设计法对工艺参数进行分析,得出工艺参数对表面粗糙度的影响关系及最优抛光工艺参数。通过实验验证可知,喷嘴环表面质量得到显著提升,可满足喷嘴环抛光表面粗糙度小于0.4μm以及允许变形量小于0.1mm的图纸要求。     

超临界C12A喷嘴室铸造工艺研究

通过对冒口、型砂、冶炼、热处理、缺陷处理等方面进行工艺论证,对C12A喷嘴室铸件的铸造工艺进行研究。利用华铸CAE软件,对工艺方案进行数值模拟研究,优化工艺方案,结合生产实践,掌握该产品的铸造性能,为开发汽轮机铸件市场积累了生产经验和数据。     

混合磨料辅助电磁抛光法对喷嘴的试验研究

航空发动机中的微小燃油喷嘴在机加工后棱边产生毛刺和飞边等表面缺陷,尤其是一些窄小的棱边和沟槽,用传统加工方法很难去除或去除效率低下.利用旋转电磁场磁力研磨工艺,辅以磁针与磁性磨粒的混合磨料.均匀且强大的旋转电磁场及磁力线可以穿透物体,带动磁针旋转,同时被磁场磁化的磁针两端吸附磁性磨粒,形成以磁针为载体的磁力研磨刷,大量磁力研磨刷与喷嘴产生相对运动而形成随机频繁的相互撞击、滑擦,达到抛光喷嘴表面和去毛刺的目的 .通过3D超景深电镜观察了研磨前后喷嘴表面微观形貌.试验结果表明:利用混合磨料能够有效地去除喷嘴微小表面区域和沟槽的毛刺、飞边等缺陷,使表面形貌得到改善.     

一种喷嘴小直径锥孔加工工艺研究

对喷嘴小孔及内锥孔加工工艺方法进行了研究,阐述了小直径锥孔由于孔径较小,精度要求较高使其机械加工非常困难。通过对喷嘴内锥孔的加工工艺进行分析,从工艺方法、加工设备及刀具选择等方面综合考虑,制定出了可行的工艺方法,完成了该喷嘴小直径锥孔的加工,使其满足了使用要求。