HP—602型精密自动划片机误差分析与精度分配

分析划片机各种精度误差对ＩＣ晶片划切质量的影响;分配划片机各功能部件精度。     

划片机工作台仿真分析

以划片机悬臂工作台和桥型工作台为载体,运用ANSYS Workbench仿真软件通过Mohr-Coulomb强度理论分别对两种不同的三轴结构进行位移变形和应力仿真。从仿真结果得出较大变形发生的位置及大小,且桥型工作台结构优化于悬臂工作台结构。     

砂轮划片机z向工作台机械结构关键技术的研究

通过滚动直线导轨应用理论和应用技术的研究及滚珠丝杠副应用技术的分析,针对砂轮划片机z向工作台运动特点,设计了z向工作台机械结构,并分析了系统的刚性误差,通过检测和实际使用验证了设计结果。     

基于干涉原理的高精度直线度误差测量

将空气劈尖产生的等厚干涉与CCD图像处理技术相结合,提出了一种测量连续空间直线度误差的新方法。此方法利用待测工件的直线度误差改变空气劈尖顶角,并用一元线性回归方法对CCD的像元序号与所接收到的干涉条纹光强极值序号之间线性关系进行拟合,进而确定出空气劈尖顶角大小。由导出的直线度误差与空气劈尖顶角之间的关系,用最小包容区域法对工件的直线度误差进行了评定,评定结果为8.11±0.62μm。测量结果表明,新的测量方法是可行的,而且测量系统具有精度高、应用范围广的特点,也可应用到锥角、圆度误差等其他几何量的精密测量中。     

给定平面内直线度误差精确计算方法

本文证明了最小包容区域的存在性与唯一性,提出了一种新的寻找最小包容平行线的方法--逐次旋转逼近法。并给出了求解步骤。     

键合机三维工作台控制系统的设计

主要对引线键合机的自动对准及定位系统进行了误差分析,对三维工作台主要部分的控制原理及实现方法进行了介绍。     

提高直线度测量分辨率的新方法

利用测量光线的多次反射和组合透镜的方法使测量系统的分辨率相对于用探测器直接探测分辨率提高了8倍.实验结果表明:在二维直线度测量范围为±100 μm内,测量系统与Renishaw ML10激光干涉仪比对结果的线性相关度为0.999 7,对应点的标准偏差优于0.1 μm.     

基于电子散斑干涉技术的直线度误差测量方法

将散斑干涉与CCD图像处理技术相结合,提出了一种测量空间直线度误差的新方法,该方法利用待测工件的直线度误差使毛玻璃移动微小位移,通过散斑条纹的变化求出位移变动量。由导出的直线度误差与位移的关系,对工件的直线度误差进行了测量,测量结果为7．420μm。实验结果表明,此种方法测量精确度高,具有一定的使用价值。     

全自动晶圆划片机软件系统的设计与实现

介绍了全自动晶圆划片机设备软件系统的设计与实现。根据设备自动化程度高,功能模块多、复用性强、耦合性强且复杂的特点,将软件系统按照层次化、模块化设计,并提出"二次封装"、界面脱离运动逻辑功能的思想。     

少轮划片机θ向机构和传动误差分析

对砂轮划片机θ向机构及齿轮传动误差产生原因进行了分析。对消隙齿轮θ向机构中的回程误差和传动误差进行了估算,并对验证数据进行了分析,所述方法及计算实例对解决工程实际问题提供依据和建议。     

划片机视觉识别系统设计原理分析

自动对准技术是集成电路后封装设备中的一项重要单元技术,是全自动划片机与普通划片机的最大区别之一。国际上主要划片机制造商的全自动设备都配有实时高效的图像识别对准单元。作为提高其设备性能的一种有力手段,长期以来在划片机的研制过程中我们已逐渐形成了适合划片机应用的视觉识别技术,取得了显著的阶段性成果。     

高线性度VCO的研制

本文描述了一种高线性度VCO的电路设计和实验结果。该器件线性度优于0，8％，且不需要采用外围线性度校正电路，具有调试简单、体积小、成本低、可靠性高的特点。     

一种宽调节范围高线性度压控振荡电路的设计

介绍了一种基于0.8μm CMOS工艺的宽调节范围高线性度压控锯齿波振荡电路,同时利用Candence仿真工具对电路进行了仿真模拟.结果表明,产生的锯齿波压控调节范围为1.1~1.9MHz,中间频段线型度很高,且频率稳定、精度较高,可广泛应用在稳压器以及各种相位频率锁定系统中.     

高线性度低频压控振荡器的设计

文章提出了一种由积分器、比较器以及控制电路和逻辑电路构成的压控振荡器，并对其低频线性度、结构特性等性能进行了较为深入的分析。利用xFAB xdm10工艺模型在spectre上的模拟结果表明．由于采取内部补偿措施，可在相当低的频段内（20KHz～1．5MHz）将其线性误差从1．68％降低到了0．4％；同时，这种经过改进的压控振荡器很好地解决了低频噪声和低频线性度的问题，消除了放电误差，适用于精密的工业控制场合。     

一种L频段高线性度低噪声放大器的设计

对低噪声放大器线性度提高的方法进行分析。基于导数交叠法,使两个晶体管偏置在不同区域,并利用这两个晶体管源端产生的相位差,抵消了3阶项电流。采用TSMC 90 nm CMOS 工艺,实现了一款L频段高线性度全差分低噪声放大器,测试得到输出3阶交调点达30.6 dBm,增益为14.54 dB,噪声系数为1.63 dB,功耗为45 mA@3.3 V。     

测量系统的线性分析

目前,国内许多生产企业需要进行测量系统分析(MSA)指南由第二版向第三版升级的工作,其中,线性分析是一个重要内容,也是一个难点.本文对企业在推行MSA第三版的过程中进行线性分析时存在的疑难问题,基于统计学的原理进行了分析和阐释.     

一种低闪烁噪声高线性度WLAN混频器的设计

提出一种适用于零中频接收的WLAN混频器,采用折叠结构降低开关对的偏置电流,以得到良好的闪烁噪声性能;通过在混频器的驱动级引入辅助管,并优化其衬底电压和尺寸来抵消跨导管的非线性,进而提升电路的线性度.利用Volterra级数辅助分析制约线性度特性的限制因素.基于Chartered O.18 μm CMOS工艺的Spectre-RF仿真表明,电路在WLAN的2.4 GHz频段具有良好的电学性能,噪声系数为8.6 dB,闪烁噪声角为105 kHz,IIP3为5.8 dBm,芯片整体功耗为10 mW,核心电路占用面积为0.09 mm2.     

自动切割机桥形工作台的误差分析

以自动切割机桥形工作台为研究对象,针对其高精度要求,通过对其结构的具体分析,系统并详尽地对三轴桥形工作台的各种误差源进行了分析计算;通过高斯公式计算出各驱动轴定位精度误差;介绍了桥形工作台定位精度的测量方法,对理论结果与实测结果进行了分析比较,验证了误差分析结果的正确性,为高精度桥形工作台的设计提供参考。     

高频高线性度跨导电容滤波器

为了提高滤波器的工作频率和线性度,提出一种新型跨导放大器。该跨导器采用差分和交叉耦合来改善跨导输入级直流传输特性的线性度,以及扩大输入电压允许范围;同时,为了稳定输出共模电平和增大动态范围,提出共模反馈电路和各支路增益调整方法。对该滤波器进行理论分析和验证,结果表明,Gm-C滤波器的截止频率为159.6MHz,过渡带宽大于45dB,动态范围为64dB,具有较好的高频和高线性度特性。