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用金属有机化合物化学汽相沉积的方法制备半导体材料,大大推动了电子工业的发展。该技术已在微波、光电和太阳能电池等器件制备中得到应用。从金属有机化学的角度,论述了采用加合物方法提纯MO源的原理、MO源纯度与半导体材料质量的关系,新MO源的开发及对MO源的展望。 相似文献
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MOCVD用MO源的发展概况和研究方法 总被引：1，自引：0，他引：1
概述了国际上MO源的发展概况(包括生产,经营厂家、品种及价格等)和研究方法(包括制备、纯化、分析、封装、毒性及安全技术等),分析了MO源研究的发展趋势。 相似文献
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