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等离子体化学气相沉积法合成石英玻璃 总被引:1,自引:0,他引:1
用高频等离子体作为热源,采用化学气相沉积法合成了石英玻璃样品.实验分别使用02和空气作为等离子体电离气体和冷却保护气体,改变等离子体电离工作气体种类时,等离子体火焰长度和石英玻璃沉积温度变化较大,而灯具冷却保护气体的改变对等离子火焰长度和石英玻璃沉积温度的影响不大.当等离子体电离气体和灯具保护气体均为O2时,等离子体火焰长度为12cm,石英基体温度为1 300℃,当等离子体电离气体和灯具保护气体均为空气时,等离子体火焰长度可达24cm,石英基体温度升高到l 840℃,可确保气相沉积过程进行,合成的石英玻璃在波长190nm处光透过率达84%,羟基含量3.5×10-6,可达到全光谱透过的要求. 相似文献
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研究了石英玻璃与水晶原料之间羟基的遗传关系,用红外光谱法研究透明水晶和普通石英的吸收光谱和水晶中的羟基特征,四极质谱仪测定石英玻璃热处理时释放的空气,通过电子自旋共振(ESR)分析玻璃结构中E′心缺陷对脱羟的作用,用氢同位素(氚)示踪法研究石英玻璃羟基的来源,结果表明:石英玻璃中难消除的羟基随水晶原料中结构水含量升高而增加,但并非源于水晶原料,而与结构缺陷E′心相关。 相似文献
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面对中国战略资源萤石日益匮乏的现状,开发了以磷肥副产氟硅酸为原料合成氟硅酸钠,经动态分解得到四氟化硅,四氟化硅纯化后和无水氯化铝发生气相沉积反应、提纯制备高纯氟化铝工艺路线,并对反应原理、工艺流程、关键点控制及产品质量和原料成本等进行研究。结果表明:氟硅酸钠软膏采用两级干燥方式进行干燥,干燥后水分≤0.05%(质量分数);氟硅酸钠热解采用动态分解方式,分解率>99%。粗四氟化硅气体采用浓硫酸洗涤、分子筛吸附、精馏提纯后纯度>99.5%;无水氯化铝以气体状态和提纯的四氟化硅反应,反应后产品纯度>99.5%,符合高端领域市场需求。该研究可为磷肥副产低品位氟资源的高效高值利用提供参考和借鉴。 相似文献
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1光掩模玻璃基板的定义及种类
1.1光学掩模的定义及分类
1.1.1光学掩模板的定义
光学掩模板,又称光掩模板、掩模板、掩膜版、光掩膜、光刻掩膜版、光罩等,在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并精确定位,以便用于光致抗蚀剂涂层选择性曝光的一种结构,是微电子制造中光刻工艺所使用的图形母版.光掩模板应用十分广泛,在涉及光刻工艺的领域都需要使用光掩模板,主要用于集成电路(1C)、平板显示器(FPD)、印刷电路板(PCB)、微机电系统(MEMS)等领域. 相似文献
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研究建立用等离子发射光谱法直接测定石英粉中7种金属杂质元素的方法,试验了相关实验条件,所测元素回收率96%~103%,精密度为0.16%~1.34%. 相似文献
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高固体分低黏度羟基丙烯酸树脂的制备 总被引:1,自引:0,他引:1
以丙烯酸(AA)、甲基丙烯酸甲酯(MMA)、丙烯酸丁酯(BA)、叔碳酸缩水甘油酯(E-10P)、丙烯酸羟丙酯(HPA)为单体,以二叔丁基过氧化物(DTBP)为引发剂,采用溶液聚合法合成了高固体分低黏度的羟基丙烯酸树脂。通过研究引发剂用量、E-10P用量以及反应温度等反应条件对树脂固含量和黏度等性能的影响,确立了合成羟基丙烯酸树脂的最佳配方:引发剂二叔丁基过氧化物用量为2%,E-10P用量为15%,反应温度为150℃左右。在上述配方和工艺条件下制得的树脂为无色透明液体,固体分高达75%,黏度仅为1 350 mPa·s。 相似文献
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以八角茴香油为原料,采用静态冷冻工艺冷冻、离心制备得到粗产品,再采用网波不锈钢填料分馏塔对粗产品进行精馏分离得到高纯度大茴香脑(纯度〉99%)。产品按国家标准GB23489—2()(19的要求进行检验。此工艺路线简单、实用,产品品质优良.是生产高纯度天然大茴香脑的新型实用方法。 相似文献
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High purity silica bricks have stable physical properties,except for the RUL (0.2 MPa) exhibiting extreme two different levels of high-level RUL T0.6 of 1 683-1 686 ℃ and low-level RUL T0.6 of1 174-1 184 ℃.The low RUL phenomenon was researched,the formation reasons and solutions were analyzed in this paper.The low-level RUL T0.6 of 1 174-1 184 ℃ of the un-burnt high purity silica bricks is a pseudo RUL T0.6 phenomenon for the transformation of crystalline morphology.The real RUL T0.6 of the specimen hot treated at 1 093 ℃ is > 1 680 ℃.Therefore,the un-burnt high purity silica bricks shall be hot treated at about 1 100 ℃ firstly before testing RUL.For the heating up of the lining of glass tank arch,baking curves with long holding time at 1 100 ℃ shall be strictly obeyed to avoid the obvious shrinkage negatively influencing the lining stability. 相似文献
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为了适应环保及室外高耐候性装饰要求,采用稳定的丙烯酸单体,加入一定的引发剂、链转移剂在连续加料方式下,合成高耐候性、高固体份、低粘度羟基丙烯酸树脂. 相似文献