电子级高纯气体输送系统

从系统设计角度,论述了电子级高纯气体输送系统的主要设备,气体纯化器选型,输送管道、管件和阀门的材料和型式,安装施工验收的技术指标,以及微量污染的来源及控制措施等。     

高纯气体中微量一氧化碳,甲烷,二氧化碳的气相色谱测定

气体中微量一氧化碳、甲烷、二氧化碳的测定,大多用灵敏度较高的氢焰离子化检测器(FiD)。随着半导体工业的发展,大规模集成电路的生产对高纯气体中一氧化碳、甲烷、二氧化碳的检测,提出了更高的要求。然而,对氢焰离子化检测器,随着灵敏度的提高,噪音明显增高,基线达到稳定需要较长的时间。我们采用液氮冷阱冷却载气,基线不仅能很快达到稳定,而且在高灵敏度时,噪音显著降低。长期测定结果表明,这一方法是完全可行的,能够满足集成电路生产对高纯气体中微量一氧化碳、甲烷、二氧化碳检测的需要。     

高纯气体中痕量金属杂质的测定

本工作深入研究了高纯氮、氢、氯化氢、氨、硼烷、硅烷、砷烷及磷烷中钼、钙、铬、铜、铁、钾、锰、钠、铅和锌十种常见金属杂质的测定方法,解决了易燃、易爆及剧毒气体的取样,溶液的吸收条件及基体分离等问题.建立了无火焰原子吸收光谱法测定ng·g~(-1)量级的杂质,方法灵敏,简便,对生产及研制工艺将起积极的指导作用.     

半导体生产用高纯气体供应系统

本文简介半导体用高纯气的种类，品质要求和供应系统，对以超大规模集成电路为代表的半导体高纯气的制取、纯化和高纯气配管技术进行了介绍，可供从事高纯气供气系统设计，施工和运营人员参考。     

半导体气敏元件自动检测装置的研究

对气体传感器性能的检测，将直接影响到传感器的质量，应用和发展，只有把气体传感器的各项参数精确的测试清楚，才能可靠的发挥其作用，该装置通过配气系统和计算机测试系统对气敏元件的各项参数进行检测，从而大大提高了检测气敏元件的精密度。     

可燃气体集中检测装置

可燃气体集中检测装置贺慧玲（佛山市机电学校，广东佛山，５２８０００）可燃气体集中检测报警装置广泛应用于炼油厂、化工厂、油库、民用液化气站、焦化厂等可燃气体储存或使用场合，对可燃气体的泄漏或积留，可以迅速准确地发出声光报警，必要时能自动启动排风系统等设...     

一种制冷式气体激光器装置

本文报道一种用蒸发器冷却放电管的CO_2气体激光器,并给出它的工作特性.     

用于探测微量气体的室温红外仪器

美国约翰逊空间中心最近研制成一种用以探测空气中浓度非常低的CO或其它几种气体的基于激光器的紧凑型便携式中红外仪器.该仪器在一个样品室内采用了红外吸收光谱技术.该样品室既可以盛空气样品,又可以受空气流量的作用.对样品室质询的激光束是由一个受两束激光束激发的体非线性光学媒质中的差频振荡(DFG)形成的.     

机载导航设备自动测试系统

主要介绍了一种基于VXI总线的机载导航设备自动测试系统的设计和实现,详细论述了自动测试系统的硬件结构及软件设计。硬件设计采用货架设备和标准化组件,软件设计采用虚拟仪器。测试系统能实现设备系统级与板极的自动测试,并在保证测试过程完整性的同时实现远程诊断和数据共享。该系统具有可靠性高、测试精度高、系统开放等特点。     

舰艇电子装备试验自动测试系统技术研究

目前舰艇电子装备试航试验测试仍采用人工记录数据、事后处理数据的传统测试方法，存在效率低、测试精度差和实时性差等问题．研究基于LXI（LAN eXtensions for Instrumentation）总线的舰艇电子装备试验自动测试系统的网络接口与数据过滤筛选技术、动态数据实时监测与录取技术和报表实时生成打印技术，实时地采集多设备参数、分析误差和输出测试报表，实时和客观地反映装备性能，能达到提高舰艇电子装备试验的测试效率和检验精度的目的．     

一种新型自动化测试管理平台的实现

由于自动化测试有着回归测试更方便,可运行更多更繁琐的测试,执行一些手工测试困难或不可能进行的测试,更好地利用资源的一致性、可重复性,增加软件信任度的特点,故越来越多的公司和科研院所开始进行自动化测试管理平台的研究工作。但是,通常开发出来的自动化测试管理平台功能单一,缺乏灵活性、可升级性和集成性,而现代测试管理系统已经迫切需要集成自动化测试管理平台,这样,落后的测试平台设计就无法满足先进测试管理系统的需求。这里设计一种新型的自动化测试管理平台,能够很好地集成到先进测试管理系统中,并且容易维护和升级。     

电离式碳纳米管气体湿度传感器

研究了一种新颖的碳纳米管气态离化结构的碳纳米管气体湿度传感器。该传感器具有一对或多对叉指状侧壁电极结构,电极上覆盖一层多壁碳纳米管薄膜,其利用碳纳米管高长径比的尖端电场收敛作用增大局部电场,有效地增强了传感器对气体湿度的敏感性。通过搭建的气体湿度测试平台,对传感器的静态和动态气体湿度特性进行了研究,结果显示传感器对60%以上相对气体湿度表现出了较强的灵敏度。与吸附式等传统气体湿度传感器对比,该气体湿度传感器具有较快的响应速度(约为0.15 s)和回复速度(约为0.6 s),较传统湿度传感器高了一个数量级,能够用于实时并且快速的气体湿度参量标定。     

基于数据驱动的自动化测试的研究和实现

本文介绍了基于数据驱动的自动化测试以及其实现方法,包括软件是否适合自动化测试的可行性分析;开发测试前的需求分析;基于数据驱动的测试框架的实现以及其维护和扩充。     

声表面波滤波器自动测试软件

声表面波滤波器测试参数较多，仪器设置也较复杂，通常人工测量效率比较低，为了提高测试效率，我们利用E5070B’s VBA在Agilent E5070B网络分析仪上建立了一套自动测试系统，并已应用于实际工作，收到了较好的效果。文章介绍了软件的应用，并提出了改进的方法。     

显示屏色度自动检测平台设计仿真

为了提高显示屏色度检测效率,减轻工作人员的劳动强度,设计了一种新型自动检测平台.该系统利用两轴控制系统,实现对显示屏的定点检测.采用反馈解耦控制方法对系统进行解耦控制设计,并且只需通过改变2个参数就能改变系统控制精度,降低了控制设计和维修难度.     

基于PXI的光电瞄准设备自动检测系统

光电瞄准自动检测系统是在PXI测试总线技术的基础上,有机地结合计算机技术和虚拟仪器测量技术,研制开发出的新一代检测系统.检测系统采用了PXI总线技术和规范的系统结构框架,通过选取M公司的PXI-1010混合机箱、PXI-8187主控制器、SCXI-1130矩阵开关、SCXI-1167继电器驱动模块、PXI-6509数字I/O、PXI-6229数据采集、PXI-4070数字万用表、PXI-5122数字化仪功能模块以及EXC公司的DAS-429cPCI/Mx、Condor公司基于cPCI的MIL-STD-1553和DDC公司的SB-36200IX模块,并利用LabVIEW开发工具开发出检测系统,而且还解决了PXI模块硬件及驱动程序与被测产品匹配问题,实现了基于PXI虚拟仪器的软面板技术.该检测系统是根椐标准的数据采集--信号分析与处理--输出及显示的结构模型而建立的,实现了光电瞄准系统数据的实时采集、处理和显示.光电瞄准自动检测系统样机实现了产品的自动化检测,具有一定的技术先进性.     

探测器/杜瓦组件热负载自动测试系统及其应用

热负载是决定探测器/杜瓦组件与制冷机适配性能的重要指标之一,也是间接判断探测器/杜瓦组件内部真空度的手段.为适应批量生产的测试要求,我们建立了热负载自动测试系统.     

一种基于UI／MMI接口的手机软件自动测试方法

文章针对现有的手机软件测试技术中存在的问题,提出了一种基于UI／MMI接口的自动测试方法。该测试方法将键盘模拟板和屏幕模拟板与电脑相连,在手动软件测试过程中计算机可记录键盘输入和屏幕输出数据。当手机软件版本发生变化时,计算机可自动进行回归测试。该方法可实现手机软件测试的自动化,并提高测试准确度。