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因为在单一晶片蚀刻工具中要求高等离子体密度和低压力,所以已经和正在研制大量商业出售的感应蚀刻装置。本文回顾低压力感应等离子体的一些历史,给出感应等离子体的特性。限制及校正,并介绍等离子体加工的用途,也讨论了趋肤深度,rf线圈阻抗和效率的理论。 相似文献
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虽然已许多工业应用开发了热等离子体工艺,但是由于经济和竞争的原因,和/或再现性和可靠性方面的原因,它们未能作为一种制造技术得到广泛认可,本文着重评估现在对以下课题的了解:1)等离子体炬和吹弧(直流或交流)传热弧以及射频炬的性能;2)确认的工业应用,其重点是切割,焊接,喷涂,传热弧回收,再加热和纯化,再加热金属熔化,还原熔炼,化学运行以及废物破坏;3)最近对等离子体炬在电源,阴极(热的冷和热)阳极( 相似文献
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等离子体诊断是基于波长范围从亚nm到几十cm的许多不同的物理过程的。许多不同的技术正用来测量各种等离子体参数的空间分布和演变。尽管许多技术已充分确立,但是等离子体诊断仍是一个非常富有挑战性和富有活力的学科。一方面这是因为科学家们一直努力想获得更好的空间和时间分辨率,达到较高的准确性以及用更多的空间通道进行测量;另一方面正不断地发展其余更难捉摸的物理过程(不同于常规诊断中使用的物理过程)的诊断技术。本文将简要地介绍了等离子体诊断领域。 相似文献
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本文介绍了国家球形环实验(NSTX)和球形环体积中子源(ST-VNS)的自持稳态的托卡马克平衡,证明了压力梯度驱动电流的量与在这些装置中设计的电流条件相当,前者包括自举电流和抗磁电流。也说明了通过增加等离子体压力来启动的可能的程序。 相似文献
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我们讨论与托卡马克等离子体加料相关的一个重要物理过程。当中性粒子被电离并被磁场捕获时,离子与电子沿相反的方向进行回旋运动,这实际上等效于一种极化;电子和离子被拉开了一个距离 相似文献
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本文叙述了乌克兰科学院物理研究所研制的负氢离子源物理过程的理论与实验研究结果。这是一个带有热阴极和垂直于磁场引出H^-离子的反射放电离子源。在理论工作部分,根据给定的阴极电流和电子能量、气体压强及放电几何条件,计算了气体放电的等离子体参数。包括H^-离子浓度在内的等离子体参数是在考虑了放电室体积内和表面上的主要碰撞反应后对玻尔兹曼方程进行数值解的基础上确定的。 相似文献
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本文从等离子体中材料产生的新观点评述了加工等离子体中的尘埃现象,已对SiH,RF等离子体广泛地研究了粒子的气体生长,Si粒子通常通过三个不同的阶段生长,厚约10nm之前的初始生长阶段,其大小是在由等离子体性能及其电子亲合力支配的大小范围内:快速生长阶段和生长饱和阶段,在第一阶段,尽管大部分是中性粒子,但是粒子定域在等离子体/鞘边界附近,在第二阶段,出闰子间极快凝结,这种凝结可用由于高能电子而产生带 相似文献
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