等离子体加工用的感应等离子体

因为在单一晶片蚀刻工具中要求高等离子体密度和低压力，所以已经和正在研制大量商业出售的感应蚀刻装置。本文回顾低压力感应等离子体的一些历史，给出感应等离子体的特性。限制及校正，并介绍等离子体加工的用途，也讨论了趋肤深度，ｒｆ线圈阻抗和效率的理论。     

等离子体喷枪

本文介绍了氢-钛等离子体喷枪的工作原理和电极结构.在假定迴路电阻可忽略,迴路电感远大于加速电极电感的情况下,从理论上分析了喷枪出口的等离子体速度和各种参量间的关系.叙述了测量速度的方法和一些实验结果.利用这种喷枪产生的等离子体的粒子数为10~(17)数量级,速度为2.5—4×10~6厘米/秒.     

等离子体诊断学

一、引论等离子体诊断学的任务就是设法从灼热的等离子体中获得我们所需要的情报,即获得关于在等离子体中进行的物理过程以及等离子体本身性质(例如电子温度、电子密度、离子温度和离子密度等)的知识,由于高温等离子体的特性,常常无法对所要求得的量进行直接测量,而常常只能从等离子体所表现的某些“症象”来间接地求得这些量,这就是为什么我们用“诊断”这样一个术语。     

热等离子体

虽然已许多工业应用开发了热等离子体工艺，但是由于经济和竞争的原因，和／或再现性和可靠性方面的原因，它们未能作为一种制造技术得到广泛认可，本文着重评估现在对以下课题的了解：１）等离子体炬和吹弧（直流或交流）传热弧以及射频炬的性能；２）确认的工业应用，其重点是切割，焊接，喷涂，传热弧回收，再加热和纯化，再加热金属熔化，还原熔炼，化学运行以及废物破坏；３）最近对等离子体炬在电源，阴极（热的冷和热）阳极（     

等离子体诊断学介绍

等离子体诊断学是以波长在亚纳米到几十厘米范围的许多不同的物理过程为基础的。许多不同的技术正在用来测量各种等离子体参数的空间分布和演变。虽然其中大多数技术已经是非常确实的，但是等离子体诊断学仍是一门富有挑战性的活跃学科。一方面，这是始终不断地努力工作来获得更好的空间和时间分辨率、达到更高的精确度和用更多空间道测量的结果。另一方面，正在继续开发以更难以捉摸的物理过程(与在例行诊断学中使用的物理过程比)为基础的诊断技术。本文将简要介绍等离子体诊断学领域。     

等离子体诊断介绍

等离子体诊断是基于波长范围从亚nm到几十cm的许多不同的物理过程的。许多不同的技术正用来测量各种等离子体参数的空间分布和演变。尽管许多技术已充分确立，但是等离子体诊断仍是一个非常富有挑战性和富有活力的学科。一方面这是因为科学家们一直努力想获得更好的空间和时间分辨率，达到较高的准确性以及用更多的空间通道进行测量；另一方面正不断地发展其余更难捉摸的物理过程（不同于常规诊断中使用的物理过程）的诊断技术。本文将简要地介绍了等离子体诊断领域。     

自持稳态托卡马克等离子体

本文介绍了国家球形环实验（ＮＳＴＸ）和球形环体积中子源（ＳＴ－ＶＮＳ）的自持稳态的托卡马克平衡,证明了压力梯度驱动电流的量与在这些装置中设计的电流条件相当,前者包括自举电流和抗磁电流。也说明了通过增加等离子体压力来启动的可能的程序。     

等离子体加料过程中局部电荷分离及等离子体电漂移

我们讨论与托卡马克等离子体加料相关的一个重要物理过程。当中性粒子被电离并被磁场捕获时,离子与电子沿相反的方向进行回旋运动,这实际上等效于一种极化;电子和离子被拉开了一个距离     

氩双等离子体离子源

这是一台为聚焦重离了束溅射制靶装置研制的离子源。双等离子体离子源产生1～2mA的氩离子束,并被加速到10keV的能量。通过调节单透镜的聚焦作用和离子源的放电状态,可以使到达靶上的氩离子束直径(束密度最大值的1/10处的全宽度)在2mm左右,束密度最大值的1/2处的全宽度为1mm左右。源连续工作超过24小时。     

负氢离子等离子体源

本文叙述了乌克兰科学院物理研究所研制的负氢离子源物理过程的理论与实验研究结果。这是一个带有热阴极和垂直于磁场引出Ｈ＾－离子的反射放电离子源。在理论工作部分，根据给定的阴极电流和电子能量、气体压强及放电几何条件，计算了气体放电的等离子体参数。包括Ｈ＾－离子浓度在内的等离子体参数是在考虑了放电室体积内和表面上的主要碰撞反应后对玻尔兹曼方程进行数值解的基础上确定的。     

加工等离子体中的尘埃现象

本文从等离子体中材料产生的新观点评述了加工等离子体中的尘埃现象，已对ＳｉＨ，ＲＦ等离子体广泛地研究了粒子的气体生长，Ｓｉ粒子通常通过三个不同的阶段生长，厚约１０ｎｍ之前的初始生长阶段，其大小是在由等离子体性能及其电子亲合力支配的大小范围内：快速生长阶段和生长饱和阶段，在第一阶段，尽管大部分是中性粒子，但是粒子定域在等离子体／鞘边界附近，在第二阶段，出闰子间极快凝结，这种凝结可用由于高能电子而产生带