光学薄膜膜厚监控方法及其进展

针对目前膜厚监控技术的广泛使用和其方法的日益多样性 ,力图对光学薄膜膜厚监控方法作一个全面、细致的描述。包括膜厚监控方法的分类、进展和展望 ,重点介绍了几种膜厚的光学监控方法     

光学薄膜膜厚监控中极值法的应用

极值法是目前国内外真空镀膜膜厚监控中应用最广泛的方法。本文阐述了此法的膜厚监控原理、系统、方法。重点讨论了为提高监控精度而采取的一些改进措施。     

石英晶体膜厚监控仪在红外镀膜中的初步应用

本文介绍了兰州物理所研制的SF-3A石英晶体膜厚监控仪在红外镀膜(10.6μm波段)中的初步实验应用。SF-3A作为光学镀膜的膜厚监测是可行的,实验结果与理论计算一致,与光电极值法的效果相同。     

光学膜厚监控方法

光学膜厚监控方法是光学镀膜过程中用以控制光学薄膜光学厚度的主要方法,也是实现镀膜自动化的关键技术之一.了解光学膜厚监控方法的工作原理、特点及误差来源,有助于在实际应用中根据所镀产品的要求选择合适的光学监控方法及监控参数.文中针对最常用的两种光学膜厚监控方法一单波长法和宽光谱法,分别介绍其工作原理,给出了单波长下根据薄膜的透射率或反射率推算膜层厚度的计算方法以及宽光谱法所常用的3种评价函数,总结出影响单波长法测量的8种因素和宽光谱法的11种因素,并根据这些因素分析了这两种方法的特点和适用范围.     

厚膜光刻工艺在PDP中的应用

简要介绍了表面放电型ACPDP制作工艺中电极、障壁和荧光粉的厚膜光刻技术,并对这些工艺中所存在的一些问题进行分析和讨论。     

MCM在厚膜混合集成电路中的应用

本文结合厚膜混合集成电路的设计、制造工艺，介绍了MCM技术的应用，详细说明了如何针对MCM的特点进行厚膜混合集成电路的设计，阐述了设计要求、材料的特点及工艺的控制方法。     

AutoCAD在厚膜版图设计中的应用

主要介绍了AutoCAD在厚膜版图设计中的应用，并在此基础上简要阐述了使用AutoCAD设计厚膜版图的一些方法。     

光学薄膜在光通信中的应用

主要介绍了光学薄膜在光通信的无源型器件中的原理及应用，并与光纤光栅和平面光波导型的无源器件作简单比较。     

光学薄膜的监控

在淀积薄膜过程中,为了镀制出合乎要求的膜层,要对光学薄膜参数加以测量和控制。监控技术通常都是把薄膜的厚度当做最重要的参数。本文简要评述目前流行的各种监控原理并对比了它们的优缺点。结果表明:这些方法很少能够对付折射率的误差,它不象对付厚度误差那样简单,要想严格地控制膜层材料参数,必须充分利用目前监控方法中的最新成就。     

光学薄膜在光通信中的应用

主要介绍了光学薄膜在光通信的无源型器件中的原理及应用,并与光纤光栅和平面光波导型的无源器件作简单比较。     

厚膜成膜工艺中的膜厚控制

厚膜成膜工艺中膜厚对成膜质量有重大的影响，本文探讨了膜厚的意义，影响膜厚的工艺因素及在实际工作中采取的控制措施。     

表面组装技术在厚膜电路中的应用

在厚膜集成电源误差放大电路设计中,采用标准的片式元器件,运用表面组装工艺,使产品制作中工艺方便灵活,成品率大大提高,以片式电阻的贴装弥补了多次印刷工艺带来的成品率下降的缺点。同时介绍贴装技术中再流焊工艺的使用经验,总结了再流焊对电路设计的要求及其优点,说明了表面组装技术用于厚膜电路是一种切实可行的方法。     

高精度数字式光学膜厚监控系统

通过对光学膜厚监控系统中光路部分、电路部分以及信号处理部分的噪声分析,设计出频率稳定性良好的斩光器、低噪声光接收电路和具有较强抗噪声性能的数字式锁相放大器,从而显著地提高了系统的精度和稳定性,为提高镀膜成功率和薄膜性能创造了有利的条件。将该系统应用于镀膜系统中,实验结果证实了该系统具有较高的精度和稳定性。     

离子镀技术在光学薄膜中的应用

光学薄膜的制备有真空蒸发、反应蒸发、溅射、等离子体淀积及离子镀等方法。离子镀技术在1963年美国马托斯提出后,经过二十年的发展,已成为将真空蒸发和溅射相结合的制备薄膜的新颖而获得广泛应用的工艺。它在航空工业、机械制造工业、轻工业、电子工业及光学工业等部门中,已显示出了巨大的优越性。这种工艺相对于其它制备薄膜的技术来说,具有许多独特的优点:(1)沉积速率快,蒸发料粒子电离后,动能可达3000～5000eV,沉积速率可达0.24～1μm/min,而溅积仅只达～0.1μm/min;(2)附着力好,粒子高速轰击工件时,能够穿透工件表面,形成一种注入基体的     

石英晶体监控膜厚仪的发展与应用

石英晶体振荡监控光学薄膜厚度是直接监控光学薄膜物理厚度的方法，与工作波段无关，设置简单，各种厚度皆可控制．易于实现自动控制，将会越来越广泛地应用在光学薄膜厚度监控中。本文首先介绍了石英晶体监控膜厚仪监控光学薄膜厚度的原理，然后讨论了石英晶体监控仪的发展和晶振片的稳定性。     

光学薄膜厚度监控技术

本文简要地评述各种监控技术的优缺点,重点介绍了非λ/4膜厚监控技术的进展。     

光学薄膜厚度网络监控系统应用研究

以光电极值法为基本理论,以现代网络传输技术为基础,实现了光学薄膜厚度网络监控系统.文中主要描述了光电极值法的基本原理和网络监控系统的技术基础,并给出了详细实现方案及部署模型,最后通过实验验证了网络监控系统.     

新型厚膜电阻系列在高压系统中的应用

<正> 概述 高阻率厚膜浆料广泛用于聚焦控制电位器、分压器及旁路网络。厚膜电阻之所以能被迅速采用,是因为其电阻具有良好的稳定性,及较低的加工成本。过去对电阻材料在