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ITO薄膜的光电子能谱分析 总被引:11,自引:0,他引:11
运用XPS分析了ITO薄膜真空退火前后各元素化学状态的变化情况.研究表明,低温直流磁控反应溅射ITO薄膜退火前后Sn和In处于各自相同的化学状态中.O以两种化合状态OI和OII存在,其结合能值分别为529.90±0.30eV和531.40±0.20eV,分别对应着氧充足和氧缺乏状态.两者面积之比RoI/oII从薄膜表面到体内逐渐增大.退火后薄膜表面的RoI/oII小于未退火薄膜表面的RoI/oII;经Ar+刻蚀20min后,退火薄膜体内的RoI/oII大于未退火薄膜体内的RoI/oII.这些结果表明,ITO薄膜中氧缺位状态主要分布在薄膜表层. 相似文献
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NiAl2O4材料的X射线光电子能谱分析 总被引:2,自引:0,他引:2
多晶半导体陶瓷材料NiAl2O4是一种很有应用价值的高温热敏材料。本文介绍了这种材料的合成方法,并用XRD技术分析该材料在不同合成温度下的相态及晶体结构。结果表明:合成物主晶相为尖晶石型Ni1-xAl2O4,次晶相为NiO,且随合成温度的提高,NiO含量大幅度减少。本文根据XPS分析结果,重点讨论了样品中各元素在不同合成温度下的结合能位移。分析表明:Ni1-xAl2O4中存在有Ni空位,随着合成温 相似文献
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早在1983年就从含碳的烟雾中发现C_(60)的存在,但是在1990年5月份之前,人们对这种固体的状态了解甚少。近来用自制的真空充氦放电装置制备得到C_(60_和C_(70),并且用核磁共振、红外谱等方法在室温下测得了C_(60)的有关信息(另文发表)。本文主要报道用自制的C_(60)在超高真空环境蒸发到GaP(111)表面上.并原位做紫外光电子谱(UPS)研究的初步结果。 相似文献
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X射线光电子能谱(XPS) 总被引:5,自引:0,他引:5
在对许多材料的研究和应用中,了解其表面特性是很重要的。而要获得材料的表面特性,就需要一些特殊的仪器,对各种材料从成分和结构上进行表面表征。其中,X射线光电子能谱(XPS)由于其对材料表面化学特性的高度识别能力,成为材料表面分析的一种重要技术手段。 X射线光电子能谱的基本原理(图1)是当一束特定能量的X射线辐照样品,在样品表面发生光电效应,就会产生与被测元素内层电子能级有关的具有特征能量的光电子,对这些光电子的能量分布进行分析,便得到光电子能谱图。XPS起始于发现光电效应之后不久,1914年Rutherford即成功地表述了XPS的基本方程: 相似文献
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通过对低温和室温下的钯表面吸附亚硝酸甲酯的角分辨紫外光电子能谱(UPS)的分析,以及对亚硝酸甲酯(CH3ONO)分子的abinitio理论计算,讨论了UPS的几个港峰对应轨道的性质,并对照相应能缓的分子轨道组成和Mulliken集居数分析,提出在低温下CH3ONO主要是通过中心氧原子与Pd的d轨道相互作用而吸附的。与NO和CO共吸附峰相比较,则认为在室温下亚硝酸甲酯分解为NO和CO等的共吸附。本工作有助于亚硝酸乙酯与CO在Pd/Al2O3上气相催化合成草酸二乙酯机理的理解。 相似文献
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用射频/直流磁控溅射法制备了NiOx/Ni81Fe19和Co/AlOx/Co磁性薄膜。利用X射线光电子能谱研究了NiOx对Ni81Fe19耦合交换场Hex与NiOx化学状态的关系以及Co/AlOx/Co磁性薄膜中AlOx对Co膜的覆盖状况。结果表明:Hex的大小只与+2价镍有关,单质镍和+3价镍对Hex没有什么作用;在Co/AlOx/Co磁性薄膜中,Al层将Co膜完全覆盖所需的要最小厚度为2.0n 相似文献
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膨胀石墨的形貌结构与表面功能基团的XPS研究 总被引:3,自引:0,他引:3
膨胀石墨的孔结构和表面化学组成对其物化性能有着很大影响,利用扫描电镜(SEM)和X射线光电子能谱(XPS)对550~920℃制备的膨胀石墨形态结构和表面功能基团进行了表征,结果表明:在蠕虫状的膨胀石墨粒子表面和内部存在大量的网状孔洞,这些网络状孔洞是由10~50nm厚的石墨片叠合而成的平行塌陷片层构成;膨胀石墨表面化学组成以C、O元素为主,其它元素含量较低,其表面存在有-C=O、-C-O和-O-O-(过氧基团)等功能基团. 相似文献
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杨得全 《真空科学与技术学报》2000,20(1):31-36
有序分子薄膜由于其特殊的结构而表现出优异的性能。为此,人们对微结构与宏观性能之间的关系极为重视。本文重点讨论了近年来X射线光电子能谱在有序分子薄膜位结构分析中取得的结果及其应用情况。其中包括薄膜厚度的确定、薄膜-基底界面结构、分子之间的相互作用情况及其有序分子结构对薄膜电学、气体敏感特性等宏观性能的影响。研究结果说明,X射线光电子能谱由于其对薄膜的损伤小、表面探测灵敏度高和较高的能量分辨能力,因此是确定有序分子薄膜微结构的重要手段之一。 相似文献
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磁性半导体GdxSi1-x的XPS研究 总被引:1,自引:0,他引:1
采用离子束技术,在n型硅基片上注入稀土元素钆,制备了磁性/非磁性p-n结.本文中使用的XPS对制备的样品进行测试,利用Origin 7.0提供的PFM工具进行研究,O1s束缚能介于金属氧化物和SiO2中O1s的束缚能之间,Si2p的XPS谱分裂为两个峰,其中一个是单质Si的,另一个介于单质Si和硅化物之间,Gd4d的束缚能介于金属钆和氧化钆中的Gd4d之间,说明GdxSi1-x形成了无定形结构. 相似文献
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用XPS和AFM等方法研究氮化钛薄膜的物理化学特性 总被引:5,自引:0,他引:5
采用反应非平衡磁控溅射方法制备了氮化钛(TiN)薄膜,沉积时的衬底偏压的范围从0V到-500 V.实验结果表明:TiN薄膜的物理特性和力学性能随衬底偏压变化,最佳的薄膜硬度与弹性模量在偏压为-100 V时得到.AFM的测量结果显示薄膜的表面形貌和粗糙度随衬底偏压变化有一个非线性的变化趋势,同样的趋势也出现在Ti2p和N1s的芯态能谱上.特定谱峰的强度和位置的变化预示着偏压引起的薄膜成分和化学态的变化,XPS的结果表明:适当的偏压有助于TiN的成键,稳定的化学结构防止了表面的氧化和扩散,抑制了杂质和缺陷的形成,良好的机械特性归于表面形貌的改善. 相似文献
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采用X射线光谱R(XPS)和椭偏测试仪(SE)对GaN材料干氧氧化所得氧化物薄膜的组分、厚度、光学常数等物理特性进行了研究.当氧化温度为900℃、氧化时间为15~240min时,XPS测试结果表明,所得氧化物类型为Ga_2O_3,且由于大量O空位的存在,其表面Ga/O比率约为1.2.SE测试结果表明,GaN线性氧化速率约为40nm/h,呈抛物线生长,最终平均氧化速率约为25nm/h.在300~800nm测试范围内,Ga_2O_3折射率为1.9~2.2,与文献测试结果相符.但在300~400nm测试范围内存在反常色散现象,这与GaN在此波段的强吸收有关. 相似文献
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用X射线光电子谱研究了CeO2和Pt间的相互作用,探讨了通过相互作用能提高CeO2的氧化还原反应活性的机理,并与通常的金属和载体强相互作用的机理进行了比较.对高结合能端O1s峰和表面O-离子的产生过程进行了讨论. 相似文献