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为实现高精度非球面的面形误差检测,对激光直写计算全息图(CGH)的关键技术进行研究。以获得最小线宽偏差为目的,通过基础工艺实验,探究离焦量对光刻胶上线宽的影响;研究湿法刻蚀过程对不同线宽引入的展宽规律;分析线宽误差与位置误差关系,得到CGH不同周期位置误差引入的波前误差。根据实验结果,制作最小线宽1.8 mm,直径80 mm的振幅型CGH。检测结果表明,波前误差均方根值为0.011l,达到l/100量级,可用于高精度非球面的检测。 相似文献
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全息图的独特性质在于它能同时记录信息的强度和相位。传统的全息图是通过参考光束产生的干涉图样和一束成像目标反射的光束相干产生的干涉条纹记录形成的。自20世纪60年代末德国科学家罗曼提出计算机产生全息图以来,这项技术已成为信息光学的一个重要分支,并得到广泛的研究和应用。因计算机产生全息图不要求两束光发生物理相干而使过程简化。然而,在大规模集成电路制造方面,使用照相掩模和光刻技术制作全息图仍然存在自身的生产复杂性。 相似文献
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本文根据Lohmann关于计算机全息术的一般理论阐明了干涉条纹型计算机全息图的原理;对Sirohi等人的计算方法进行了改进,提高了计算精度,而计算时间略有缩短;还制成了一个用于检验抛物面镜(f=1021毫米、2r_o=214毫米)的计算机全息图,再现波面的精度(方均根误差)达到1/20波长,并且已将此计算机全息图用于抛物面镜的检验,显示出了被验元件的面形缺陷. 相似文献
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大口径非球面计算全息图检测系统 总被引:1,自引:0,他引:1
为了精确地检测大口径非球面面形质量,将曲面圆形计算全息图与补偿镜相结合,应用于非球面折射式检测光学系统中.分析了曲面计算全息图的衍射特性,同时分别阐述了利用曲面计算全息图的这种衍射特性来检测凹非球面及凸非球面的基本原理和方法,给出了具体的设计实例.与传统的非球面检测光学系统相比较,该系统不仅简化了传统光学系统的装调过程,还可以大大降低计算全息图(CGH)与补偿镜的制作精度,减少制作成本.尤其是在凸非球面检测过程中,首次在实验技术方面提出了两步全孔径检测法和调整误差的旋转相减消除法,实验验证了该方法的有效性. 相似文献
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提出了一种基于光学子波变换自聚焦综合判别函数(WFSDF)匹配滤波器。这种匹配滤波器,将光学子波变换和综合判别函数(SDF)相结合,只用一个傅里叶变换透镜就能实现输入图像和SDF的子波变换的相关运算。采用计算全息的方法制作复数匹配滤波器。计算机模拟仿真结果表明,和传统的SDF匹配滤波相关器相比,WFSDF匹配滤波器锐化了相关峰,提高了识别率,同时简化了光路。 相似文献
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Two surface aspheric systems are designed using the principle that Snell's laws of reflection are obeyed at the first surface and an eikonal function used to derive the second surface for completely general focusing conditions in the image and source spaces. In most cases the solution requires a computational optimisation procedure and the results are best approximations. However, some situations exist where exact solutions can be derived. These range from the original solution by Schwarzschild for a dual mirror system obeying the sine law, and an afocal distortionless magnifying reflecting system. 相似文献
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