化学技术在微机械传感器发展中的应用

微机械传感器除运用在微电子制造技术外,大量应用化学腐蚀,特种高分子落膜材料,电镀和电化学工艺等化学领域的技术,形成了很多独特的微机械加工技术,这些技术的运用解决了很多关键性技术问题,极大地推进了微机械传器技术的发展,本文从体微机械加工,表面微机械加工和LIGA技术三方面论述化学在近来新型传感器发展中的技术突破和成果。     

微机械惯性仪表的原理结构与制造技术

介绍了微机械惯性仪表（包括微机械陀螺仪、微机械加速度计及微惯性测量组合）在世界各国的进展，阐述了它们所采用的结构方案、电路原理以及制造工艺，比较了各种主要制造技术的优缺点，提出了在我国开展这一领域研究有实用前途的技术途径     

微机械陀螺仪的新进展及发展趋势

微机械陀螺仪是陀螺技术和微电子机械系统(MEMS)技术结合产生的新一代惯性器件。根据其工作原理和采用材料的不同,微机械陀螺可分为硅基微机械振动陀螺(Si-MVGs)、微机械压电振动陀螺(PVGs)和悬浮转子式微机械陀螺等。该文介绍了微机械陀螺仪的主要参数指标和应用,对硅基微机械振动陀螺(Si-MVGs)、微机械压电振动陀螺(PVGs)和悬浮转子式微机械陀螺的最新研究进展作了综合性报道,讨论了微机械陀螺未来的发展趋势。     

微机械技术与市场共同发展

对目前到2005年的微机电系统的技术和市场发展做了初步的预测,详细讨论了可能的市场领域及其对微机械技术发展的意义,认为2005年后,国产微机械产品将具备相当的市场规模。     

硅微机械惯性传感器技术及其应用

本文简述了MEMS技术及微机械传感器的技术含义，着重对硅微机械惯性传感器原理及研制硅微机械惯性传感器的关键技术进行描述，为开展硅微机械惯性传感器研究及应用作技术准备及必要的思考。     

欧洲的微机械技术

欧共体制定了自1994年至1998年有关微机械的研究开发计划.其目的是加强欧洲产业的竞争力.预计对信息技术、产业技术、环境技术、生命科学、能源、运输系统以及特定的社会经济研究投资约1兆7000亿日元.计划是根据汽车、医疗、工艺监控三个方面的主要应用领域的技术需要制定的.微系统是实现未来汽车净化、安全的关键技术,在医疗方向,需要便携式智能诊断外科治疗装置.本文介绍微机械的单元技术、微系统的实例.     

微机械力敏传感器及其发展动向

微机械加工技术的出现把传顺，特别是力敏传感器，推向一个新的发展阶段。微机械力敏传感器以其小型、廉价和集成化成为力敏传感器发展的主流。本文介绍微机械压力传感器、加速度传感器和微机械陀螺的现状及其发展动向。     

微型多道成像光谱分析系统集成比的探索

提出微机械技术和常规半导体集成电路微细加工技术将庞大复杂的多道成像光谱分析系统集成化和微型化的新思想。研究了微型多道成像光谱分析系统的基本结构、工作原理和主要的制作方法。讨论了实验分光系统、成像系统和高灵敏度探测器列阵混合集成在二块三维硅基片上的初步方案。     

硅基微型系统的应用

简单综述了微机械技术的先进性，该技术包括表面和本体硅微机械，电沉积和键合技术。给出了许多躲开系统设计，生产和应用的实例，并对以下微型系统２分别进行了详细介绍：（１）小型化化学分析系统；（２）空间研究用的微型仪器；（３）小型流体控制系统；（４）扫描探针系统；（５）静电和超声波微电机；（６）躲开光－机械系统。     

微机械惯性仪表的原理结构与制造技术

介绍了微机械惯性仪表在世界各国的进展，阐述了它们所采用的结构方案、电路原理以及制造工艺，比较了各种主要制造技术的优缺点，提出了在我国开展这一领域研究有实用前途的技术途径。     

微机械结构的微静电驱动

本文讨论了微机械结构的微静电驱动技术的基本原理，同时结合硅微机械结构和材料特性，给出微静电驱动实现的考虑。     

微机械单元技术的动向

本文从加工、组装、传感器、测量、执行元件等方面，叙述微机械单元技术的动向。     

多孔硅的形成及其在表面微机械技术中的应用

介绍了多孔硅的基本特性及其形成的选择性，最后介绍了多孔硅在表面微机械技术中的应用。     

微米／纳米技术及其应用

介绍了当前国际上关于微米、纳米技术及其在微型机械、微型机械电子系统以及在专用集成型仪器等方面的应用。     

推动科技进步的动力之一——表面微机械技术

表面微机械加工是一种使机械部件微型化的工艺。传感器和致动器都是利用改进的集成电路制造技术来完成的。第一个表面微机械器件是谐振栅晶体管，大约在３０年以前就发表了。该晶体管的栅极采用了自由活动的金属悬梁，多晶硅表面微机械加工在十几年前就有报道，此后出现了许多传感器件的原型，并在最近制造出第一只商品化的传感器。     

微机械及其特性

从机械工程的扩展领域着手研究并制作和测试了许多微机械样机，弄清了微机械的部分特性和研究课题，并就这些方面进行概述。     

RF MEMS器件的研究及其应用前景

本文对微机械电容、微机械电感、微机械谐振器/滤波器、微机械传输线、微机械天线阵列和微机械开关等RF MEMS器件的特点、研究现状及其在射频收发模块中的应用进行了综述,并展望了它们未来的发展趋势。     

光开关技术介绍

光交叉连接技术是光交换的核心，是光网络中的关键技术，介绍了几种比较成熟的光交叉连接设备。目前较为成熟的光交叉连接实现技术是微机械光开关技术，以微机械光开关为基础的光交叉连接产品具有明显的价格和性能上的优势。     

光学读出热成像焦平面阵列的制作技术

光学读出热成像是一种新型的红外成像技术,它基于双材料效应和光学原理实现像转换与像增强,具有高性价比的潜在优势.光学读出热成像焦平面阵列由可动微镜阵列构成,其制作技术是光学读出热成像技术的重要研究内容之一.目前,国内外的研究者已发展了基于表面微机械、体微机械以及表面,体微机械工艺的3种制作技术,前两者各有优缺点,而基于表面/体硅微机械工艺的制作技术则兼顾了前两者的优点.     

微机械电子学的现状

本文先介绍了微机械电子学的概况,接着介绍了几种典型的微型机械、制作技术和微型机械用材料,最后探讨了微机械电子学的研制现状和应用。