一种微型探针台的设计和应用

介绍了一种便携式探针台,其结构小巧,功能实用,成本较低,可以满足基本的试验需求。特别之处在于显微镜和探针台采用分体结构设计,使得探针台部分能从整个探针台系统中独立出来,可以应用于辐照试验中。固定在探针台上的芯片可以与探针台一起放置于空间任意位置,方便将芯片对准辐照源中心。该探针台也可放置在高低温箱中,用于芯片的三温测试。加上显微镜固定采用多角度云台支架设计,支持全方位观察,可以使得观察更加立体直观。探针卡采用多探针结构,可实现多路测试,并且探卡及其信号连接线采用了低漏电及EMI设计,测试精度可以达到0.1 n A以下,配合接地良好的铝制屏蔽盒,增加了抗干扰能力,其测试数据更加精确。     

自动探针测试速度的提高方法与实现途径

对探针台测试速度的提高方法进行了讨论 ,且论述了这种方法在TZ— 10 7型自动探针测试台的实际应用与实现途径。     

多探针自动测试台的技术改造

介绍了将测试75 mm圆片的多探针自动测试台改造为测试100 mm圆片的多探针测试台。在原设备的基础上,重新设计加工X轴和Y轴的丝杆和导轨及承片台,控制由TP801单板机改为80C32单片机,数码管显示改为彩色液晶屏显示。改造后的探针测试台只需一次对片就能测完100 mm圆片,且控制稳定,功能更加完善,使用更为方便。     

自动检测设备高温下测试坐标修正方法

硅晶圆半导体芯片在进行晶圆级电性能测量时,往往需要模拟芯片实际工作时的工作环境,如温度、湿度、气压。在自动探针台上进行高温环境模拟测试时,由于高温会导致测针、晶圆片和承片卡盘产生一定程度的形变,从而使得芯片上测试Pad位置坐标发生偏移,这种情况下,测试系统需要对形变后的测试点坐标进行修正。提出了一种基于机器视觉自动图形识别的在线修正测试点坐标偏移方法,用以解决自动探针台在高温环境下进行电性能测试时的测试坐标修正难题。     

亚毫米波太赫兹集成天线测试系统及测试精度分析

集成天线代表了近年来天线技术的重大成就,为毫米波天线设计开辟了新思路。国内首套亚毫米波太赫兹集成天线测试系统由上海交通大学和中国电子科技集团第四十一研究所合作建成,该系统主要包括矢量网络分析仪、扩频模块、探针台、天线转台、控制机以及控制软件部分。能够在远场条件下完成18~325 GHz频率范围 内的片上天线的阻抗及辐射特性测试。文章介绍了系统框架原理,分析了影响系统测试精度的若干关键因素如系统底噪、探针辐射特性、探针阻抗特性、高密度泡沫载物台、吸波材料等对集成天线测试精度的影响,给出了系统可测增益的动态范围,最后测试了一款94 GHz片上集成天线,测试结果与仿真结果吻合良好。     

集成电路测试探针承片台步进电机快速启停的微处理机控制

<正> 集成电路测试探针(即自动多探针)承片台步进电机,若采用一般硬件逻辑电路实现最佳启动,电路设计是很复杂的,而且一旦需要改变启动规律时,会给硬件电路的修改带来很大的工作量。在我所即将问世的新型集成电路测试探针整机中,由于引入了以Z-80CPU芯片为核心的微处理机控制,上述问题的解决相应地变得容易多了。     

无测试图形薄层电阻测试仪及探针定位

研制出检测ULSI芯片的薄层电阻测试仪,可用于测试无图形样片电阻率的均匀性,用斜置的方形四探针法,经显微镜、摄像头及通信口接入计算机,从计算机显示器观察,用程序及伺服电机控制平台和探针移动,使探针处于规定的位置,实现自动调整、测试;对测试系统中的探针游移造成的定位误差进行分析,推导出探针游移产生误差的计算公式,绘制了理论及实测误差分布图;测出无图形100mm样品电阻率,并绘制成等值线Mapping图.     

无测试图形薄层电阻测试仪及探针定位

研制出检测U L SI芯片的薄层电阻测试仪,可用于测试无图形样片电阻率的均匀性,用斜置的方形四探针法,经显微镜、摄像头及通信口接入计算机,从计算机显示器观察,用程序及伺服电机控制平台和探针移动,使探针处于规定的位置,实现自动调整、测试;对测试系统中的探针游移造成的定位误差进行分析,推导出探针游移产生误差的计算公式,绘制了理论及实测误差分布图;测出无图形10 0 m m样品电阻率,并绘制成等值线Mapping图.     

自动探针测试探头性能的分析

在集成电路的制作工艺中,广泛地采用自动探针和测试仪连动,实现电路特性及参数的中间测试,为后工序的工艺过程提供合格的电路。自动探针和测试仪是通过测试探头而连接起来的。因此,测试探     

探针台与测试系统接口技术

无论何种自动探针台与测试系统组合进行芯片自动测试时,都存在与测试系统电气连接的问题,也就是接口问题。通过对其之间信号的选配、极性与时序配合以及供电等的说明,结合作者设计的接口线路图阐述了该技术     

雪崩光电二极管芯片自动测试系统

利用Keithley 2400源表、AV6381可编程光衰减器、AV 38124 1 550 nm单模半导体激光器和TZ-608B型光电屏蔽探针台搭建雪崩光电二极管芯片自动测试系统.在Labview环境下开发了自动测试软件,通过软件控制测量仪表,实现了雪崩光电二极管芯片的击穿电压、暗电流、穿通电压及10倍增益工作点电压的自动测试及合格判定.探针台可以根据测量系统反馈的判定结果对不合格芯片进行NG标记,方便划片后对不合格芯片进行筛选和剔除.建立的自动测试系统准确性高,测试速度快,软件操作方便,显示结果直观.同时可以实现测试参数的自动存储,方便进行统计过程控制(SPC)分析.     

TZ 3型自动多探针步进工作台装调方法

我所研制的TZ—3型自动多探针是半导体集成电路生产工艺中重要的中测设备。步进工作台是该设备的核心部件,它的功能是在电气部分控制下,使被测芯片对准后,接触探针,并按予定步距作准确、迅速地移动进行连续测试。因此,步进工作台的精度直接影响到测试工作能否顺利进行和测试结果的准确程度。     

提高探针台测试效率的方法研究

分析探针台的自动测试流程,从减少运动次数和时序重合两方面提出了几种提高探针台测试效率的方法,说明其实现原理,并用实际测试的数据,证明这些方法对效率确有提高。     

双电测组合法测试半导体电阻率的研究

对双电测组合四探针法测试方块电阻 (Rs)和体电阻率 ( ρ)进行了研究 ,从理论和实践上揭示三种组合模式的共同优点 :测量结果与探针间距无关 ,可使用不等距探针头 ;具有自动修正边界影响的功能 ,不必寻找修正因子 ;不移动探针头即可得知均匀性 .推导出用于体电阻率时的厚度函数 .论述了Rs、ρ、大小样片及边界附近的测试原理 ,给出了Rs 和 ρ的计算公式.     

双电测组合法测试半导体电阻率的研究

对双电测组合四探针法测试方块电阻(Rs)和体电阻率(ρ)进行了研究,从理论和实践上揭示三种组合模式的共同优点:测量结果与探针间距无关,可使用不等距探针头;具有自动修正边界影响的功能,不必寻找修正因子;不移动探针头即可得知均匀性.推导出用于体电阻率时的厚度函数.论述了Rs、ρ、大小样片及边界附近的测试原理,给出了Rs和ρ的计算公式.     

科研成果介绍

该系统是采用微机技术设计的一台用于检测离子注入、扩散掺杂工艺均匀性和重复性的自动化测量及数据处理系统(照片内左侧部分)。可与半自动探针台及手动探针台联用,用范德堡法及正方阵列,直线阵列四探针法进行自动测量及数据处理。具有速度快、功能全等特点。最近已通过技术鉴定,确认为国内较先进的自动测量及数据处理系统,具有一定的使用价值。本系统可向用户提供,欲购者请与湖南长沙96号信箱朱文章联系,电话:35811,电报挂号:1501。     

微波裸芯片的测试技术

鉴于目前对微波裸芯片的旺盛需求,介绍了几种测试技术,主要包括探针台测试技术、夹具测试技术和非侵入式测试技术,并对不同的测试技术进行了对比,分析了各种测试方法的优缺点及存在的问题。     

TZ—107型自动探针测试台在大生产中的应用及其启示

ＴＺ—１０７型自动探针测试台在大生产中的应用及其启示电子工业部第４５研究所唐德兴概述自动探针测试台是我所的一项主导产品。在国内有较大的市场覆盖面。ＴＺ—１０７型自动探针测试台是近年研制的新产品。设计时课题组对国内、外探针台的结构特点进行了较深入地剖析...     

探卡对功率器件导通压降测试的影响

功率半导体器件是各类电力电子装置的重要组成部分,对系统的效率、可靠性、功率密度等性能起着决定性作用。导通电阻作为器件最重要的参数之一,直接影响到该器件的使用。探卡是用于测试封装前芯片的一种精密的接触工装,探卡上探针的针尖分布和扎针位置对导通电阻测试有一定的影响,芯片面积和测试电流越大,对探卡测试的影响越大。基于以上分析,建立了探卡测试导通电阻模型。通过验证发现,在相同的探卡探针分布下,模型的精度大于96%;在不同的探卡探针分布下,模型的精度大于87%。     

MODEL3300探针台及其改进

<正> 我厂从日本引进的TELMEC公司3300探针台系自动探针台3000和自动装料台300的组合,用于半导体的中测。该机用微处理器8080控制,使硅片的装片、对准、顺序探测、卸片等操作都实现了自动化,除预对准误差1°尚需精密对准外,其余全部操作自动化。操作人员非常省力,可以一人多台。该机控制程序分别写在八块ROM中,存储器板尚留四块2708ROM空插座,可随意扩大功能,只需要增写部分程序即可。维修时,更换四块2708ROM,使用诊断程序检查故障。