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介绍了891E齿轮测量中心的改造方案、改造后状况、校准结果和样板测量比对结果。中国计量科学研究院的校准结果表明,该测量中心具备了很好的测量重复性和很高的精度,可以满足一等渐开线样板、螺旋线样板和二级齿轮的检定要求。 相似文献
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张晓东赵琳李锁印韩志国许晓青吴爱华 《测试技术学报》2022,(5):410-415
扫描电子显微镜是半导体器件关键尺寸测量的重要仪器.为提高扫描电子显微镜的测量准确度和校准效率,研制了一套标称值为100 nm~10μm的线间隔样板和标称值为2μm~10μm的格栅样板.此外,针对现有校准规范中测长示值误差、正交畸变和线性失真度等参数,提出了一种基于图像处理的扫描电子显微镜校准方法.实验研究表明:研制的线间隔样板和格栅样板质量参数高,能够覆盖扫描电子显微镜的测量范围,解决仪器溯源问题.基于图像处理的扫描电子显微镜校准方法,能够有效提高测量准确度和校准效率. 相似文献
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在工具生产中,有大量的平面样板,通常都是由圆弧、有一定倾斜角度的直线段以及水平直线段组成。如图1所示。 样板测量中的关键是各圆弧和直线,直线段和直线段之间的结点的确定。当结点确定后,线段等的绝对测量是比较容易的。而实际上,样板的测量之所以比较困难是因为:有些结点实际上并不存在(如图1中圆弧与L1的结点),因而大大地增加了测量难度。 样板中最典型的结点有如图2所示的几种情况。下面分别讨论各结点O在万能工具显微镜上的确定方法。 1.对于两条直线相交在空间交点O 的确定方法,如图2a可用下面两种方法: (l)当工件较小时,在万工… 相似文献
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本文简介在微机型万工显上测量样板的方法和运用计算机辅助测量软件确定样板“隐点”坐标及“隐点”尺寸的程序操作。 相似文献
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专用校对样板(以下简称样板)是钢铁厂中检查连铸设备的一种专用计量器具。如果样板失准,会造成连铸设备安装错误,引起漏钢而烧坏设备等的严重事故。因此,对样板的定期校准是极其重要的。本文对节距法校准样板直线度的测量结果不确定度进行分析和评定。 相似文献
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针对短圆弧小曲率样板的测量方法进行分析,根据目前存在的问题,指出测量难点。提出一种利用带图形处理软件的坐标类测量设备,以圆心坐标为基准值的测量短圆弧小曲率样板的新方法。 相似文献
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本文针对API RP 5B1-1999《套管、油管和管线管螺纹测量和检验方法》和API RP 7G-2-2009《旧钻柱构件检验和分级推荐做法》等API标准中所述的齿形标准样板,就如何实现其在实验室测量保证其准确溯源开展测量方法研究.根据量具的计量特性提出螺距和牙型角两个测量参数,应用光学三坐标测量机编程实现自动测量,经大量试验验证及相应测量不确定度评定,结果表明,基于光学三坐标测量机的齿形标准样板测量方法,可完全满足齿形标准样板的溯源要求,并提出增加齿形标准样板校准内容的校准规范修订建议. 相似文献
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在万工显上测量凸轮样板的找正方法 总被引:1,自引:0,他引:1
万能工具显微镜(以下简称万工显)以影相法和轴切法,可按直角坐标和极坐标精确地测量零件的长度和角度,并可测量零件的形状,采集数据主要靠瞄准装置和读数系统,不同的工件选用不同的方法。本文介绍一种影象法并以极坐标采集数据测量凸轮样板的找正方法。 相似文献
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在万能工具显微镜上对圆弧样板的检测 ,通常采用的是弓高弦长法 ,在实际工作中常遇到需对顶部开有凹槽或者有凸出部分的圆弧样板半径的测量 ,就无法使用通常的弓高弦长法。本文介绍一种测量这类异形圆弧样板半径的方法。一、测量原理如图 1所示 :设被测圆弧样板的半径为R ,其圆心为o ,测量时用目镜内米字线分别对准 p、p′、pi 和p′i 点 ,得出 p、p′和 pi、p′i 的弦长L、Li,以及L和Li 之间的距离Δi。由图中△pao和△piaio可列出两个方程 :R2 =(L/ 2 ) 2 (R -h) 2R2 =(Li/ 2 ) 2 [R - (h Δi… 相似文献
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丝网印刷样板种类和样式多,每片样板上待测目标也较多,不宜采用一致的梯度阈值参数定位边缘实施测量;此外,传统视觉检测采用定位矩形框建立测量坐标系的方式会引入测量误差,因此,提出一种基于机器视觉的丝网印刷样板的尺寸测量方法。采用一种由粗到细的测量策略,借助每一类待测目标的模板进行信息统计,针对性地设置阈值参数,改善测量精度。在测量阶段,利用基于图像金字塔和归一化互相关函数相结合的分层匹配算法实现多个待测目标的粗糙定位,再使用由模板信息统计获取的阈值参数进行边缘精细定位,建立局部坐标系,完成测量。实验结果表明:在同等实验条件下,此方法能够有效提高测量精度,算法改进后测量结果的平均相对误差由原来的4.02%降到1.47%,并且无需用户介入调整测量参数,适用于不同种类丝网印刷样板的灵活测量。 相似文献
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在19JA万工显上测量长样板沈继斌(国营本溪工具厂,117022),我们针对19JA万能工具显微镜配制了移位夹具,扩大了该仪器的检测范围,从而解决了长样板尺寸的测量。一、夹具结构夹具结构如图1所示。1、2是调整器,利用旧千分尺按图2改制而成。件3是被... 相似文献
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贵刊 2 0 0 0年第 11期关于“一个样板的五种测量方法”阅后 ,深受启发 ,本着共同学习 ,共同探索的思想 ,觉得原测量方法存在测量点多 ,数据复杂等缺陷。就如图所示样板 ,本人采用下列方法进行测量。1 满足测量基准与工艺基准统一的基本原则。以样板加工基准CD作测量基准调整工件 ,使工具显微镜目镜米字线的水平线 (X轴 )与CD重合。2 分别测出A、B、E、F四点坐标 ,即A(x1、y1)、B(x2 、y2 )、E(x3、y3)、F(x4 、y4 )。3 根据平面解析几何定比分点定理 ,计算出M点 ,O点两点坐标。M (x、y)x =12 (x1+x2 )y =12… 相似文献
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随着渐开线圆柱齿轮精度(GB10095-88)的贯彻,渐开线检查仪被广泛使用,它是判析仪器的形状及综合误差的一项重要手段。在保证渐开线样板精度的条件下,此曲线反映了仪器主要部位的位置误差。在实际测试曲线和标准样板曲线不一致的情况下,如何正确分析和判断此仪器存在的问题,这对测量人员尤为重要。现根据本人的多年实践,谈谈我的认识。 图1为3211型万能渐开线检查仪的结构 相似文献