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光学表面的标量散射理论 总被引:3,自引:0,他引:3
简要论述了标量散射理论的研究进展做,着重介绍了Beckman的一维标量散射理论和几种典型的多层膜散射模型-非相关表面粗糙度模型、附加表面粗糙度模型和非相关体内不均匀模型,比较了这些模型在中心波长为632.8nm的11层高反膜的散射特性.结果表明,非相关体内的不均匀性引起反射能带边缘散射,反射能带内的散射主要由附加表面粗糙度引起.理想粗糙度对膜系反射带内的散射影响很小,对反射带边缘几乎无影响.预测了标量散射理论的应用领域及前景. 相似文献
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本文研究了使表面粗糙度,微位移光电传感器实现结构和功能的集成化。对光散射法测量粗糙度,光学三角法测量微位移这两种不同工作原理光电传感器的集成化研究,用同光源、同一光路、同一光敏接收器使不同工作原理和功能的光电传感器实现了并非简单组合的集成,可一机多功能化提供可能的手段。 相似文献
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精密磨削加工过程中,冷却液的使用给表面质量的在线检测带来了困难.借助特制的"透明窗"装置,可以创造出一块透明测量区域解决此问题.通过采集透明测量区域内的表面散射图像,提取特征参数,建立BP神经网络,预测表面粗糙度,从而实现表面质量的在线测量.网络的输入为表面散射光带主方向上的散射特征参数、散射光带长轴和短轴上灰度分布的标准差、散射图像灰度特征和透明流体层的液体流速,输出是粗糙度.使用训练好的神经网络对已知粗糙度数值的标准样块进行预测,预测的平均误差为1.018%.由此推断出,选择的输入参数和建立的神经网络是有效的,能够用来实现表面质量的在线检测. 相似文献
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文章基于Beckmann散射模型,提出一种表面粗糙度的在线测量方法。以半导体激光器为光源构成远心光路,通过线阵CCD记录粗糙物体表面的散射光场。计算机分析处理得到表面粗糙度特征值Sn,在较大的范围内表面粗糙度Ra和Sn有很好的对应关系。该测量方法结构简单、精度高、速度快,可以对不同加工方法的工件表面粗糙度实现非接触实时检测,在工件的在线检测方面有很好的发展前景。 相似文献
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表面粗糙度的激光及相关在线测量方法 总被引:4,自引:0,他引:4
随着机械加工自动化程度的提高 ,对表面粗糙度在线测量提出了越来越高的要求。目前 ,为了提高生产效率和实现生产的自动化 ,生产过程中实时检测愈加受到重视。传统的触针测量法 ,由于测量速度和测量条件的原因 ,不适于在线检测。光学测量方法近年发展很快 ,它是一种非接触测量法。根据测量原理可以归纳为干涉测量法、聚焦测量法、散射测量法、散斑测量法四种。本文重点介绍了这些技术进行表面粗糙度在线测量的原理和目前的研究结果。并对这些方法发展前景进行了分析和预测 相似文献
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激光损伤光学表面的检测研讨 总被引:3,自引:1,他引:2
激光损伤光学表面的检测在激光武器和激光核聚变驱动器的研究过程中占有重要的地位,结合实验研讨了激光损伤光学表面的检测原理,即宏观检测与微观检测原理的优缺点。 相似文献
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材料表面粗糙度会影响太赫兹无损检测结果。当材料表面粗糙度在微波区可以忽略不计时,在波长更短的太赫兹频段则需要考虑在内。研究讨论了在太赫兹频率下粗糙表面散射对反射谱的影响。通过考虑单个样品的反射模型,利用基尔霍夫近似可以将粗糙表面的反射信号与光滑表面的反射信号进行关联。此外,采用太赫兹时域光谱(THz-TDS)系统对不同粗糙度的葡萄糖片进行了测量,并对其反射光谱进行了分析。反射光谱结果表明,由于表面粗糙度引起的漫散射减弱了接收端反射光谱的强度。为了减小粗糙度对光谱的影响,提出了一种能恢复光谱功率的补偿方法。在0.5 THz和1 THz时,具有360目粗糙度规格样品的功率谱分别增加了约3 dB和9 dB。因此,可以认为所提出的粗糙表面光谱补偿方法在未来太赫兹无损检测技术的发展中具有一个特定的参考价值。 相似文献
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提出一种使用激光束快速测量表面粗糙度的无触点光学方法。一束照射在样品表面的激光束随着表面粗糙度的增大反射光的密度分布将被扩展,可用PCD测出从铝制样品表面反射光的密度分布。被反射光的密度曲线可通过高斯函数近似地求出。密度分布曲线的宽度由高斯曲线系数的标准差计算出来,此标准差近似等于密度曲线的高斯函数的标准差,密度曲线的中线平均粗糙度随着高斯曲线系数的增加而增加。粗糙度Ra在0.1~0.5μm的范围内,可利用实验公式Ra=0.088GCP+0.032通过测量GCP得到。 相似文献
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