高真空电离真空计的改进

在电真空器件及半导体器件的生产过程中,需要对真空系统进行真空度的测量。特别是在1×10～-3乇到1×10～-8乇这个范围内。普遍使用高真空电离真空计。目前使用的电离真空计都采用图1这样的基本电路。它存在着下列几个问题。 一、在仪器的调整和测量过程中。需要交替的扳动各有关开关。在操作上感到不够方便。 二、当开关S使用日久后,簧片的接触电阻增大,在调整真空规的发射电流时,使仪表的指示与实际值存在误差,同时影响直流放大器的满度校准引起真空度测量误差。 三、图1中V6V7,屏极电压是随机变化的。当T1的次级电压UW2升高时,如欲保…     

热阴极电离真空计问答

热阴极电离真空计问答王逊（北京大学无线电电子学系）ＡｎｓｗｅｒｓａｎｄＱｕｅｓｔｉｏｎｓｏｎＨｏｔ－ｃａｔｈｏｄｅＶａｃｕｕｍＩｏｎｉｚａｔｉｏｎＧａｕｇｅ￥ＷａｎｇＸｕｎ（Ｄｅｐ．ｏｆＲａｄｉｏａｎｄＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ，ＢｅｉｊｉｎｇＵｎｉｖｅ...     

北京大学研制成功DL-8型高压强电离真空计

在批林批孔运动和认真学习无产阶级专政理论的推动下,北京大学物理系和无线电系工厂,遵循毛主席关于独立自主,自力更生的教导和科研为无产阶级政治服务、为发展国民经济服务的方针。根据生产战线上提出的迫切任务,实行厂校挂钩,并在有关使用单位密切配合下,经过反复试验,设计研制成功量程为 10-6-1%的 DL-8型电离真空计。现已开始小批量生产提供使用。 DL-8型电离真空计是一种新型的高压强电离真空计,其规管的电极结构是利用一定的电场分布适当控制电子的路径和能量使它能够在压强升高到1乇时仍能基本上保持测量线性;在压强低放10-‘毛的…     

用磁悬浮真空计校准电离真空计的研究

通过对国际上新颁布的两项ISO标准以及我国检定规程的剖析,利用我院比较法真空标准装置,对磁悬浮真空计校准电离真空计的方法进行了研究,并对不确定度进行了分析.     

电离真空计的误差分析

本从影响电离真空计示值误差的7个方面,推导出电离真空计“误差 函数”y=f(x)和其表达式,并着重强调了误差函数的“与门”特性,进一步讨论了电离真空计误差函数f(x)中,自变量因子影响函数的方式和计算思路。     

电离真空计用作真空保护系统传感器的响应时间的研究

介绍了以GH07X热阴极电离超高真空计为核心的双重真空保护模块的设计和应用。实验结果表明,GH07X对真空系统压力突变的快速报警响应时间可小于200μs,慢速报警响应时间小于100ms。实验数据还表明,快速报警响应时间与气体分子浓度和真空计规管灯丝的发射电流密切相关。分析比较了溅射离子泵、冷阴极电离超高真空计、热阴极电离超高真空计等作为真空保护传感器的不同电子学设计。与国内外报道的其它光束线真空保护模块设计相比,GH07X真空计独有的双重真空保护模块设计,使得光束线真空保护控制系统响应更快、更可靠。     

电离真空计用作真空保护系统传感器的响应时间的研究

介绍了以GH07X热阴极电离超高真空计为核心的双重真空保护模块的设计和应用.实验结果表明,GH07X对真空系统压力突变的快速报警响应时间可小于200μs,慢速报警响应时间小于100ms.实验数据还表明,快速报警响应时间与气体分子浓度和真空计规管灯丝的发射电流密切相关.分析比较了溅射离子泵、冷阴极电离超高真空计、热阴极电离超高真空计等作为真空保护传感器的不同电子学设计.与国内外报道的其它光束线真空保护模块设计相比,GH07X真空计独有的双重真空保护模块设计,使得光束线真空保护控制系统响应更快、更可靠.     

热阴极电离真空计的误差

电离真空计规管及其控制单元。都有各自的各项误差。本文讨论作为电离计整体的误差与各项误差的关系。 电离计的压强读数可用下述公式表达;式中:i+──为收集极离子流; i──为发射电流; k──为规管系数. 白误差传递公式(1)可得到压强的示值 (相对)误差Ep的表达式: E2=E2H+E2I+E2i-(2)式中Ek、Ei+和Ei-分别为规管系数,离子流和发射电流的相对误差。下面分别讨论这三项误差。 1.规管系数的误差 规管测量的对象往往含有氧气、水蒸汽或其它污染性气体,电极及玻壳往往受到氧化或污染。这样规管系数在寿命过程中会逐渐变化。使用后的规管比…     

电离真空计校准中的数据处理

本文介绍了一种在电离真空计校准中进行数据处理的新方法,可明显减小示值相对误差,提高电离真空计示值的准确性,使得实际工作中测量结果更接近真实值.     

放射性电离真空计的校准方法

主要介绍了放射性电离真空计结构、工作原理及放射性电离真空计的校准方法和校准装置,并对校准数据进行了处理。放射性电离真空计修正因子采用阿伦方差进行不确定度评定,可以提高校准的准确度,确保卫星、火箭发射的安全。     

热阴极电离真空计检漏的灵敏度

文中扼要的评述了热阴极电离真空计检漏的灵敏度,并进行了实验测定。其结果与已有的理论表示式是一致的。由此得到两种常用电离真空计的最高检漏灵敏度分别为10~(-8)和10~(-11)(托·升/秒)。最后分析了影响灵敏度的因素。     

热阴极电离真空计的单片机控制电路

利用单片机控制热阴极电离真空计，可使真空计具有一系列的新功能，且成本低廉，因此它是真空测量的更新产品。本文简述了它的结构和原理。     

冷阴极电离真空计校准方法研究

主要介绍了冷阴极电离真空计结构、工作原理及冷阴极电离真空计的校准方法和校准装置,并对校准数据进行了处理.由于冷阴极电离真空计为非线性真空计,通过比较,校准结果采用了校准曲线的方式,可提高校准的准确度,减小校准不确定度,保证真空测量的可靠性.     

自动换档的快速电离真空计

一、引言稳态超导磁镜等离子体研究装置是一大型复杂真空系统,对真空测量和控制提出了一些特别要求:系统从l0~(-3)托向l0~(-10)托抽空的过程中能随时自动监测真空度,实现真空过程的自动化、程序化控制;在测量范围内,对任意预置真空值,可给出逻辑信号,实现与电子计算机、强流粒子注入器和等离子体“诊断”设备的联动;为保证装置运行中的人机安全,真空计电器单元应与规管相距五十米以上;其对聚变真空室阶跃气压变化的反应时间不得超过几十毫秒;为装置配备了数种国内、外产的电离规,希望做到一机多用,达到较强的通     

基于电路模拟的热阴极电离真空计电参数校准装置及方法

传统热阴极电离真空计的电参数校准中,必须将热阴极电离真空规与热阴极电离真空计连接并为其提供高真空环境,且校准周期普遍较长。针对该问题,提出一种等效模拟热阴极电离真空规的方法,研制了新型热阴极电离真空计电参数校准装置。该装置可单独对热阴极电离真空计的阴极电压、栅极电压、发射电流等电参数进行自动化校准,适用于无配套热阴极电离真空规情况下的校准和现场校准。解决了传统热阴极电离真空计电参数校准装置存在的问题,并为使用其他热阴极电离源真空仪器的调试提供了新思路。     

ZD—2型数字式电离真空计

在第二届真空学会年会论文集第一卷(P.92)中曾对本真空计作过简介;为使读者了解它的设计特点,本文就其主要线路分别作些介绍。 一、线路大致可分四个方面 数字显示部份、稳发射系统、电流──电压──频率转换、稳压电源。详见图1。 数字显示部份系采用PMOS电路,详情请查阅上海元件五厂样本。显示的值分系数和指数两部分。系数和指数之间的转换;计数器的清零指令R(SCM);寄存器的寄存指令SCP;可逆计数器的置数选通指令“L”,而它们相互之间的时序则是该部分的关键。 (一)系数ni、指数Ni之间的转换 线路见图2。 对显示值的要求: 1.当系…     

DL-7型智能化热阴极电离真空计

本文介绍ＤＬ—７型智能化热阴极电离计，采用 ＤＬ—７型规管，在 １—１０－８Ｐａ范围内量程自动转换，本文所述原理也适用于其他热阴极规管。     

B-A电离真空计中反X射线电流

产生在Ｂ－Ａ规管栅极的软Ｘ射线,引起规管壁发射光电子。如果离子收集极工作电位接近管壁,一部分光电子将有能力到达收集极。一小部份穿过栅极实际上到达收集,因此增加一个与普通Ｘ射线电流方向相反的残余电流分量,引起规管Ｘ射线限制的减小。只要规管几何形伏和工作电压配合得当,将净Ｘ射线限制可以降到零甚至可能是负的。     

用电桥校准电离真空计的离子流放大器

采用电桥线路校准电离真空计的离子流放大器，不必考虑离子流放大器的输入电阻，即可解决１０－１２～１０－４Ａ的小电流测量问题．     

BDZ──1A型标准电离真空计简介

为满足真空测量和真空计量工作的需要,在中国计量科学研究院、辽宁省计量局、沈阳真空技术研究所、沈阳教学仪器厂和774厂等有关单位的大力支持下,我处在1973年试制了一合“ BDZ—1型标准电离真空计”。于1973年 11月经中国计量科学研究院检定,达到原设计指标。 1974年经进一步改进,初步定型为“B D Z—1A型标准电离真空计”移交我处实验工厂试生产。 一、概述 BDZ型标准电离真空计,是全半导体化的数字式高精度真空度测量仪器。它配用相应的热阴极标准电离规管,可作为真空计量标准。 本仪器设计加速极电压为 225V。收集极电压为-25V,发…