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研究了一种具有高灵敏度、小尺寸的四端梁结构的压阻式加速度计。利用有限元软件对不同悬臂梁、质量块尺寸的结构建立模型,并对该结构进行了灵敏度与应力分析、模态分析,以及动态响应分析。仿真研究结果表明,在50kg量程内,传感器轴向灵敏度达到7.40μV/g,横向灵敏度为0.33%,线性度为0.06%,响应时间为20.3μs,固有频率为111.2kHz。抗冲击性能能达到334000g,可以满足高g值环境下的测试需求,同时该研究为研制高性能传感器提供了一种准确且高效的仿真方法。 相似文献
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基于SOI硅片,设计了一种新型平面内振动高g值压阻式加速度计。该加速度计包括X轴向与Y轴向单元,采用三梁一扇形质量决平板内振动结构,与传统的平面外振动结构相比较,该结构具有较高的谐振频率与灵敏度。采用两两相对的单元布局方式,可有效的消除横向灵敏度的影响,提高结构的测量精度。建立理论模型并利用ANSYS软件对结构进行模拟分析与验证。分析表明,加速度计在X轴向、Y轴向灵敏度分别为1.2μv/g、1.18μv/g;谐振频率分别为479KHz、475KHz。可实现对量程高达25万g加速度的测量。 相似文献
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本文分析了电容式加速度传感器的工作原理,在此基础上设计了一种大量程加速度计,通过MATLAB进行系统仿真和ANSYS仿真验证,结果显示本设计可以很好的实现要求:量程70g,线性度小于2%,并有较好的稳定性。 相似文献
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Jeff Falin 《电子设计技术》2003,10(5)
由于制造工艺的种种局限性,所有IC的输入电压都会受到限制。当人们试图用一个DC/DC变换器(如线性稳压器)来把很高的电源电压降到较低的稳定电压时,这一局限性就会带来麻烦。在线性稳压器的输入端加接一只FET(效场应管)就能使DC/DC变换器的输入电压范围比单单使用稳压器的大。但是这样一来,FET要承受过大的电压和功耗。图1示出了一只IRF7601型n沟道MOSFET加接在TPS79228型2.8V、100mA低压差稳压器的输入端上。该稳压器噪声 相似文献
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低g值微惯性开关是一种感受惯性加速度、执行开关机械动作的精密惯性装置。为了解决开关芯片在清洗干燥过程中的粘连问题,提高器件的成品率,提出了防粘连的梯形凸台结构。该结构尺寸约为135μm×135μm×20μm,采用玻璃无掩膜湿法腐蚀技术在深约85μm的玻璃封盖底部实现。通过减小质量块与玻璃封盖底部的接触面积,弱化液体表面张力和范德华力的影响,避免了粘连现象的发生,使得低g值微惯性开关芯片在清洗干燥环节的合格率约达95%。采用MEMS体硅加工工艺和圆片级封装技术,完成了带有防粘连凸台结构的低g值微惯性开关的制作。玻璃无掩膜湿法腐蚀技术具有工艺简单、便于操作等优点,它的成功应用较好地满足了器件产业化的要求,为批量研制低g值微惯性开关提供了可靠的工艺基础。 相似文献
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侵彻武器用MEMS大G值加速度计 总被引:1,自引:0,他引:1
侵彻武器用大G值加速度计,不仅需要有较宽的加速度测量范围,还有较强的抗冲击能力。介绍利用MEMS技术研制出的可满足侵彻武器应用需求的集成大G值加速度计,通过分析工作原理、机械结构、信号处理线路的设计,针对实验结果提出了在实际工程应用中还需进一步解决的问题。 相似文献
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于治会 《电子工业专用设备》2001,30(4):52-60
介绍了有关冲击摆 (单摆与复摆 )的计算方法、产生加速度的原理、加速度的调整与测量方法及其误差分析。冲击摆是在工厂条件下校准加速度计的一种装置。对于低于 50 0 0m/s2的冲击加速度 ,其稳定性和精确度都很好 ;若加速度波形为半正弦波 ,其综合测量误差优于5%。 相似文献
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在集成电路的设计和测试过程中,黑盒模块,未初始化的时序单元,时钟域交叉和A/D转换器的错误行为等情况常常会导致电路中未知值X的出现.电路中X值的传播会严重影响故障的激活和敏化,降低测试覆盖率.针对电路多个输入为X值的情况,本文提出了一种的基于极端随机树算法的测试覆盖率损失的预测方法.通过对电路进行仿真分析,区域划分,提取结构特征等步骤提取出数据集,训练出高准确率高稳定性的预测模型,达到快速分析多点X值输入下电路测试覆盖率损失的目的.实验结果表明,本文模型的平均预测准确率达到了94.47%,相比于同类方法增加21.71%.单个电路的预测结果最低为89.03%,最高为99.99%,表明了本文预测模型具有很好的稳定性. 相似文献
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通过传感器动态校准理论分析,给出对不同谐振频率的加速度计动态校准时所允许的最大脉冲宽度以及脉冲宽度与传感器谐振频率之间的关系式。在有限元分析软件ABAQUS中建立霍普金森杆数值模型,产生窄脉冲,并提出了一种产生且复现脉宽在10μs以下的窄脉冲信号的方法。分析了子弹的不同撞击速度、不同端部形状等因素对数值模拟结果的影响。对988压电式加速度计进行频率特性分析,发现数值模拟结果与实际实验结果十分接近,验证了所建立方法的有效性。 相似文献
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在获取到的人脸图像不完备以及人脸图像在有遮挡、光照、表情的变化或受到噪声污染时,识别率就会变得十分低,针对这一问题,本文提出了一种基于HOG低秩恢复与协同表征的人脸识别算法HLRR_CRC.首先采用低秩恢复算法得到训练样本和测试样本的干净人脸图像,然后对测试样本中干净的人脸图像和训练样本中干净的人脸图像分别进行HOG特征提取,得到HOG特征向量,以此特征向量为基础,得到测试样本特征矢量的协同表示,最后,通过规则化残差进行分类.在ORL、Extended Yale B和AR数据库上进行测试,实验结果表明,本文算法对光照、噪声较鲁棒,相比于当前的人脸识别算法,本文算法在恶劣光照和噪声下的识别率平均提高29.6%. 相似文献
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