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步进扫描投影光刻机同步机制研究 总被引:2,自引:2,他引:0
Yang Liangliang Zhou Yunfei Pan Haihong Luo Fuyuan.Huazhong University of Science Technology Wuhan .Guangxi University Nanning 《中国机械工程》2009,(1)
分析了步进扫描投影光刻机的同步运动过程,将各个分系统分为同步主系统和同步从系统,采用串行同步总线实现了同步主系统的状态发布;分析了分系统与自身数据采集系统的同步通信,采用高速串行传输链路实现了分系统与远程数据采集系统的数据采集与通信;搭建了同步实验平台,对步进扫描投影光刻机的同步机制进行了验证。实验证明该平台稳定可靠,满足系统同步性能要求和工程要求。 相似文献
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具体阐述了几种常见的液压同步回路的原理及优缺点,通过工作原理和试验效果分析有轨运输与无轨运输快速转换平台同步控制方案,理论分析和实践证明,分流集流阀同步控制回路解决了快速转换平台工况同步升降问题,是一项具有推广意义的技术。 相似文献
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多通道高速数据采集系统的设计与实现 总被引:1,自引:0,他引:1
为了解决多通道数据的高速采集问题,文中讨论了一种基于LabVIEW平台的USB多通道高速数据采集系统的设计方案.该系统采用了USB芯片CY7C68013和A/D转换芯片MAX1320并配合FPGA技术实现多通道数据的高速同步采集,同时基于LabVIEW开发平台采用多线程技术实现了对多通道采集数据的文件存储、显示和分析.经调试应用证明,该系统运行稳定,数据采集可靠实时. 相似文献
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提出一种对磁悬浮轴承进行转子位移同步悬浮控制的策略,建立了位移同步悬浮控制系统的控制模型,基于状态重构机理实现转子位移同步,按状态空间法设计状态同步矩阵和系统闭环状态反馈矩阵,并对所设计系统进行了仿真分析。 相似文献
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针对工业CT运动平台的控制问题,尤其是两轴同步运动的问题,研究了运动平台的控制方式,尤其是同步运动轴的同步控制方式。基于欧姆龙Sysmac自动化平台,设计了控制系统,包括硬件组成、通信协议、轴的配置、程序的设计。为了满足高精度的定位要求,对于运动轴采用了全闭环控制;针对同步运动问题,利用欧姆龙PLC内置的电子齿轮功能,设计了2种同步运动模式,编写了程序;结合非同步运动,利用运动平台对其运动性能和定位精度进行了测试。研究结果表明:该系统单轴定位准确,同步轴之间同步运动位置偏差仅为0.8μm,明显优于其他模式,系统满足使用要求。 相似文献
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针对节能环保的目的,以一款正在开发中的Plug-In柴电混合动力轻型商用车为研究对象,分别设计了逻辑门限控制策略和模糊逻辑控制策略。以仿真软件AVL/Cruise和Matlab/Sumilink为平台,通过联合仿真的方式对两种控制情况下的工况进行了模拟,验证了两种控制策略的合理性与优越性。在此基础上,完成了逻辑门限控制系统的开发,并利用dSPACE/MicroAutobox将其控制模型生成快速控制原型,进行了台架试验和实车试验,试验结果表明逻辑门限控制系统性能满足设计要求,整车经济性有大幅提高。 相似文献
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基于微机CAD/CAM数控网络系统设计 总被引:3,自引:0,他引:3
介绍一种CAD/CAM数控网络系统,该系统以Windows2000Server为操作平台,以流行的CAD/CAM软件为软件平台, 通过网络数据通讯和中央计算机集控,实现数控自动编程、DNC直接数控加工。该系统用于中小企业的生产实践,同时可 用于科研、教学等工作。 相似文献
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针对协同制造系统的特点,以及对可靠性信息化的需求分析,指明了协同制造系统可靠性信息化的内涵和特征,提出了构筑基于Internet的可靠性信息集成和协同平台的实施策略,制定了可靠性信息平台建设的总体规划、体系和规范,开发了跨平台的主题数据库,使之成为协同制造系统可靠性快速决策的支持平台,以提升协同制造系统可靠性水平。 相似文献
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基于永磁同步电机数学模型和磁场定向控制,设计了结构紧凑的单轴稳定平台伺服控制系统。系统控制以DSP芯片TMS320F2812为核心,构建了基于空间矢量脉宽调制算法的位置、速度、电流三闭环控制系统,重点介绍了控制系统的硬件组成和系统软件的实现。实验结果表明,该系统具有启动快、响应快和控制精度高等特点,为基于DSP的二维稳定平台伺服控制系统研究和开发提供可行性方案。 相似文献
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为研究六自由度平台的优化设计及控制策略,需要对系统进行详细建模。针对液压六自由度平台仿真建模方法进行研究,提出一种机电液联合仿真的建模方法。采用AMESim对液压系统和控制系统建模,Virtual.Lab对平台机构动力学部分建模,通过软件之间的接口将机械、液压控制系统两部分模型联合,建立液压并联机构的通用仿真模型。通过与试验结果的对比验证了仿真模型的正确性。与传统数学建模方式相比,该方法发挥了各软件的优势,使建模过程简捷且高效,适用于复杂装备的设计与研究。 相似文献
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In this paper, Model Predictive Control and Dead-beat predictive control strategies are proposed for the control of a PMSG based wind energy system. The proposed MPC considers the model of the converter-based system to forecast the possible future behavior of the controlled variables. It allows selecting the voltage vector to be applied that leads to a minimum error by minimizing a predefined cost function. The main features of the MPC are low current THD and robustness against parameters variations. The Dead-beat predictive control is based on the system model to compute the optimum voltage vector that ensures zero-steady state error. The optimum voltage vector is then applied through Space Vector Modulation (SVM) technique. The main advantages of the Dead-beat predictive control are low current THD and constant switching frequency. The proposed control techniques are presented and detailed for the control of back-to-back converter in a wind turbine system based on PMSG. Simulation results (under Matlab-Simulink software environment tool) and experimental results (under developed prototyping platform) are presented in order to show the performances of the considered control strategies. 相似文献