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基于微机械的多孔硅牺牲层技术 总被引:3,自引:0,他引:3
多孔硅作为一种牺牲层材料 ,在表面硅微机械加工技术中有着重要的应用。文中综合讨论了三种不同的多孔硅牺牲层技术 ,并用后两种“在低掺杂衬底上的多孔硅牺牲层技术”,制作了良好的悬空微薄膜结构 ,同时对多孔硅表面的薄膜淀积 ,和制备过程中的掩膜材料等进行了分析 ,为利用多孔硅工艺制作各种 MEMS器件奠定了基础。 相似文献
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多孔硅及其在MEMS中的应用 总被引:2,自引:0,他引:2
具有不同孔径尺寸和孔隙率的多孔硅在不同的 MEMS中可作为功能结构层和牺牲层。简要介绍了多孔硅的结构和制备方法 ;与体微机械和表面微机械加工技术相比 ,多孔硅技术的优势被详细阐述 ;针对多孔硅材料的性质 ,讨论了多孔硅在不同领域的应用。 相似文献
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主要介绍1种用硅的微机械加工技术研制的硅电容式传感器,采用电容层析法(ECT)技术可检测尺寸为50μm左右的微小粒子。其中的主要技术有硅材料的微机械加工技术,特厚光刻胶的匀胶曝光技术,微集成电镀技术。 相似文献
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微机械加工技术与微传感器 总被引:1,自引:0,他引:1
传感技术的一个重要发展方向是传感器的微型化,微机械加工技术同昌硅微传感器的基础工艺技术,也是制作微执行器和微电子机械系统的基础工艺技术。本介绍微机械加工技术的概况以及采用微机械加工技术研制的几种微传感器。 相似文献
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本文设计了具有类椭圆函数非对称响应的太赫兹窄带带通滤波器。滤波器由两个椭圆柱形谐振腔组成,并采用
侧壁激励的方式,中心频率分别在0.88THz 和1.041THz。鉴于传统机械加工工艺已经无法满足该频段滤波器的加工要求,
硅基微机械加工工艺被用来完成两个滤波器的加工工作。使用商用全波电磁仿真软件Ansoft HFSS 仿真,结果显示滤波
器相对带宽分别为0.77%和0.75%。本文设计的滤波器具有结构简单,紧凑,易于加工等优势。文中还对微机械工艺可能
对滤波器性能带来的影响进行了分析。 相似文献
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先进封装和MEMS应用的超厚抗蚀剂光刻技术(英文) 总被引:1,自引:0,他引:1
微电子机械系统(MEMS)制造和先进的封装技术更需要厚抗蚀剂层。在MEMS应用领域包括体硅微机械加工、表面微机械加工和有源器件结构的实际制作。对先进的封装技术,应用再分布和蚀化层以及金属焊凸微成型。各种用途要求抗蚀剂厚度能达到和超过1000μm。为适当地获得这些厚度,制造商开发了适当的涂层材料。这些材料包括AZP4620.ShipleySPR220\AIPLP100XT、JSRTHB611P和SU-8。最终开发了处理这些材料的设备,制作了专用的涂胶设备和接触?接近式曝光机。 相似文献
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R. F. Wolffenbuttel 《Mechatronics》1991,1(4):371-391
The integrated silicon microsensor and microactuator field is a rapidly developing branch of the microelectronic technology research. The vast potential of these sensors lies in the compatibility with conventional microelectronic circuits in silicon. Special efforts are often required to maintain this fundamental material compatibility, while enabling the fabrication of versatile sensors and actuators. Sensors in silicon are possible for the measurement of many different non-electrical quantities. This overview is focussed on micromechanical sensors and actuators. The basic technologies used for the fabrication of micromechanical structures in silicon are presented with a special emphasis on their compatibility with integrated electronic readout circuits. The performance and the limitations are outlined using several successfully-fabricated integrated sensor and actuator structures. 相似文献
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SVG是基于XML的文本化方式的矢量图形描述语言。电力在线监测系统是保证电力系统正常、运行安全的重要手段之一。文中将SVG与Web数据发布技术相结合,提出了一个基于SVG的电力实时监测数据动态发布技术,对其中的关键技术及解决方案进行了详细剖析。实例证实,该技术优于各种传统技术,扩展了SVG的应用领域,同时也为数据发布提供了一个先进的图形化解决方案。 相似文献
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电阻阵列动态红外景像产生器 总被引:9,自引:0,他引:9
基于微机械加工技术发展起来的电阻阵列是动态红外景像产生器的一种。它可在半实物(HWIL)仿真系统中用来对红外摄像机、导弹寻的器以及各种红外探测系统的实时性能进行测试和评估。电阻阵列是以电阻元件为微辐射元,当电流流过时,电阻元产生热量,从而产生红外辐射。通过控制流过每个电阻元的电流就可以控制每个电阻的温度,从而达到显示红外图像的目的。电阻阵列具有其他红外景像产生器所不具有的特点,低功耗、大温度范围、高分辨率、高占空比等,适合于各种红外目标的模拟。文另介绍了其基本原理、发展现状、关键技术及发展动态等,给出了一些器件的典型参数。 相似文献
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Micromachining for optical and optoelectronic systems 总被引:8,自引:0,他引:8
Wu M.C. 《Proceedings of the IEEE. Institute of Electrical and Electronics Engineers》1997,85(11):1833-1856
Micromachining technology opens up many new opportunities for optical and optoelectronic systems. It offers unprecedented capabilities in extending the functionality of optical devices and the miniaturization of optical systems. Movable structures, microactuators, and microoptical elements can be monolithically integrated on the same substrate using batch processing technologies. In this paper, we review the recent advances in this fast-emerging field. The basic bulk- and surface-micromachining technologies applicable to optical systems are reviewed. The free-space microoptical bench and the concept of optical prealignment are introduced. Examples of micromachined optical devices are described, including optical switches with low loss and high contract ratio, low-cost modulators, micromechanical scanners, and the XYZ micropositioners with large travel distance and fine positioning accuracy. Monolithically integrated systems such as single-chip optical disk pickup heads and a femtosecond autocorrelator have also been demonstrated 相似文献
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基于智能网关的数字家庭网络系统,主要应用于智能网关的管理,能实现内部网络协议转换和QoS(网络服务质量)动态配置。该系统以PLC及UWB技术原理为基础,基于RC32434的MIPS+Linux系统平台,多SSID和VLAN技术,增强型X-10的总线技术及VPN技术的应用,实现了家庭网关的多业务和多种端口技术、三网合一的内部网络协议转换技术、智能路由技术及网络数据包过滤技术。 相似文献
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This paper discusses the thermo-mechanical simulations performed with the aim to optimize the temperature distribution of the microwave power sensor (MPS) microsystem keeping the thermal stress as low as possible. The concept of the absorbed power measurement is based on a thermal conversion, where the dissipated or absorbed RF power is converted into the thermal power, inside a thermally isolated system, so-called the micromechanical thermal converter (MTC) device. A new MTC approach uses a GaAs with an active high electron mobility transistor (HEMT) heater. New technology of low stress polyimide has been used for MTC thermal isolation.By means of thermo-mechanical simulations, we propose a GaAs micromechanical thermal converter design and a layout of the active sensor elements (HEMT heater and a temperature sensor TS) placed on the MTC structure. Spatial temperature distribution, thermal time constant, thermal stress and displacement and the power to temperature characteristics are calculated from the heat distribution. These findings are compared with results of thermo-mechanical measurement of real micromachined MTC devices. The 3-D thermal and thermo-mechanical simulations were performed, using the CoventorWare simulator. 相似文献