一种新型的SiGe超高真空化学气相沉积系统

研制成功了一台超高真空化学气相沉积系统。该系统采用扁平石英管作为生长室 ,扁平石墨加热器进行加热。系统真空度用分子泵维持 ,本底真空度可达 2× 10 -6Pa。利用该系统所生长的SiGe外延层晶体质量良好 ,界面清晰平直 ;利用Ge组分渐变技术还能够实现低位错密度弛豫SiGe外延层的生长     

提高不锈钢超高真空系统极限真空的一种方法

为提高超高真空系统的极限真空，在加热烘烤期间用干燥气体冲洗法进行了各种试验。结果表明：冲洗的比不冲洗的极限真空要好；间断冲洗的比连续冲洗的极限真空要好。这对如何提高真空系统的极限真空提供了一定实验依据。     

一种新型的金属超高真空析氩仪

ＪＸＹ－１５００型超高真空析氩仪为钾一氩同位素稀释法地质年龄测定中低钾含量样 品的分析提供了一种新途径。它具有高的精密度和准确度、低的极限压强、操作简单及 维护方便等特点。在熔样、纯化以及稀释剂源方面有较大的改进，并设计了方便可靠， 国内独家的全金属大小球分样器。本文介绍了超高真空析氩仪的研制和性能试验结果。     

一种新型的轴向式超高真空自调制规

本文提出一种在轴向发射式电离机构基础上发展成的新型自调式超高真空电离规。它是采用自调制技术改变离子收集效率来消除剩余光电流的。它较短收集极BA式自调制规具有灵敏度高(11托~(-1)),零散性小等特点。本文给出了规管在两种不同离子收集效率工作状态下的实验结果和加速极的电子流分布情况。该规管结构简单,测量上限为5×10~(-4)托。在无调制情况下软X射线光电流本底为1.5×10~(-11)托。在自调制工作条件下其可测下限约为2×10~(-12)托。     

航天器材料真空出气预测模型研究

航天器材料在空间环境下的出气容易造成敏感系统的污染,并带来负面效应。对航天器出气污染的预估仿真,首先需要材料出气特性参数和模型作为输入。以RTV胶为对象,基于阶跃加热的方式对材料进行出气量原位测试,分析获得了材料出气的主要特性参数,建立了多个温度下的出气预测模型,为卫星在轨动态污染水平的仿真和预测提供输入。     

一种ICP-MS真空测量系统的研制

本文介绍了一种基于C8051F微控制器并应用于电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)的真空测量系统。系统由真空计组、预处理电路、C8051F微控制器、串行接口和上位机组成,能同时测量接口、透镜和四级杆三个部分的真空状态,且具有较高的集成度,紧凑的体积和较低的功耗,经最后实验证实,系统能准确且稳定的测量各个部分的真空度,可为ICP-MS的正常工作提供相应的条件保障。     

一种全自动超高真空电子束蒸发薄膜生长系统

由于薄膜生长均匀、沉积速率和膜厚易控、可制备大面积薄膜等特点,电子束沉积技术在超导薄膜、多层巨磁阻薄膜、超晶格薄膜中得到了深入研究.电子束沉积技术的关键是其薄膜生长和控制系统.本文基于微型计算机DA和IEEE 488接口技术,报道了一种全自动超高真空电子束蒸发薄膜生长系统,自动化程度高,使用方便,名义薄膜厚度测量分辨率可达0.1A精度,可实现双源共蒸发功能和程序预设定的多源多层薄膜自动沉积.     

三种超高真空材料的热解吸分析

用线性升温法对不同方法预处理过的 ＧＨ３９、 １Ｃｒ１８Ｎｉ９Ｔｉ不锈钢及 ＬＦＭ铝样品进行热解吸实验研究，得到主要解吸气体为Ｈ２、Ｈ２Ｏ、ＣＯ和ＣＯ２，测得了出气峰位温度、峰值速度及单位表面积的组份出气量和总出气量，估算了气体的脱附级数和脱附激活能，分析比较了这些材料的吸、放气特性，估计了烘烤除气的效果。     

一种供质谱仪器使用的小型超高真空系统

一 、引言 在一定的本底总压强中。质谱计能检测出某种气体的最低分压强的能力谓之浓度灵敏度。它表征仪器对气体混合物中所能测量的某一组分的最小量。在进行痕量质谱分析时,在浓度灵敏度不变的情况下,显然本底总压强越低,可检气体的最小量也越小,直至实现样品的超微量分析。在同位素稀释质谱法钾──氩地质年令测定中。为了测定年轻的中生代和新生代样品中的微量氩,传统的动态测量法由于其灵敏度低,耗样量大而显得无能为力。代之而起的是静态测量法,即将进入分析室内的微量氩样品在与外界隔绝的条件下进行质谱分析。 MS—10质谱计是英国…     

一种新型的测量系统分析方法

测量是给某一物体的特性赋值的过程.测量结果是否准确,取决于测量系统的可靠性.测量系统通常是指用于特定测量目的,用全套测量仪器和有关的其它设备组装起来的一个系统.测量系统分析,是指采用统计过程控制领域中一些行之有效的原理、方法和工具,来了解测量系统中各种影响测量结果的变异性,从而保证测量系统的质量.     

HIRFL-CSR超高真空系统

中国科学院近代物理研究所承担的国家“九·五”重大科学工程项目兰州重离子加速器冷却储存环(HIRFL- CSR)目前正处在建设阶段。为减少真空系统中残余气体分子对粒子束造成的损失 ,要求系统平均真空度达到 6× 10 - 9Pa。在研制和建造过程中 ,我们做了大量的工作以获得所要求的真空度。本文将介绍其中样机的研制 ,超高真空实验室的建立和各项实验工作 ,大型真空处理设备的建造 ,真空烘烤系统研制等。同时对目前的工程进展也做了简要介绍     

一套超高真空测试系统的研制

本文介绍了超高真空测试系统的结构特点。测试表明,系统在没有通液氮的情况下,极限真空度为1.8×10~(-11)托,通液氮的情况下,抑制规测得的极限真空度为6×10~(-12)托。测试系统暴露氮气(1大气压)10分钟后经8小时250℃烘烤,钛离子泵起动后3小时真空度为3.4×10~(-11)托。由于极限真空高,该系统能作超高和极高真空规管的对比测试和相对校准,还能作超高真空规管的本底压强的测量。     

极高真空测量和超高真空标准评论

一、绪论 空间探索、宇宙模拟、聚变反应、表面物理、材料研究和低温技术等尖端科学和工业的发展,给予真空技术以巨大的推动力量。六十年代标志着真空技术进展到一个崭新的阶段-极高真空(10-11-10-15乇)领域。 六十年代以来的十多年间,超高真空技术得到了更广泛的应用,极高真空获得有了迅猛的发展。1962年在双层壁深冷抽气系统中获得了推测为8×10-15乇的极高真空 (1,2)。随后,诸如采用深冷冷凝泵(3,4)绝对冷凝泵(5)、深冷分子筛吸附录 (6)、深冷霜吸附录(7)、吸气离子泵(8)、冷冻升华泵(9)等先进抽气手段的系统,都获得了≤10-12乇的水平。 …     

一种新型光纤干涉测量系统

提出一种可以测量１米以上绝对距离的光纤干涉测距系统，采用两部分干涉结构，分别对靶标进行定位及光程调谐和对距离进行测量。通过引入已精确标定的光纤进行光程倍增以扩大系统的动态范围，对系统的信号处理方法进行了初步讨论，并给出系统仿真的结果。     

一种新型衡器自动测量系统

根据国际建议OIML R76中的试验要求,设计了一套衡器性能自动测量系统。该系统可以任意组合标准砝码进行50~3000 kg各种衡器的型式评价试验,它通过控制器能够实现无冲击、无擦靠的自动加载和卸载功能,可以完成对50~3000 kg被测衡器的示值误差、重复性、除皮、静态温度和湿热稳态等各项型式评价试验,解决了大型衡器难于通过人工方式进行型式评价试验的问题。实验结果表明该系统的相对不确定度不大于5×10^-6。     

超高真空范围内测量规的校准

本文论述了能够获得１０－３乇到低于１０－１０乇压强的真空系统。该法使用是基于予见到压强降低由于分子流经过已知通导的孔的缘故。标准压强测量是采用麦克劳规。数据的获得是用Ｂ－Ａ规,热阴极磁控管规和质谱计,当某些问题涉及到测量低压强时,尚须讨论。