真空计量的若干进展

真空计量学已发展成为计量学的一个新的独立分支,其研究内容已从传统的全压力测量与校准扩展到分压力测量与校准、气体微流量(漏率)测量与校准。描述了这3个方面的最新进展,从中可看出真空计量学的现状与发展趋势。     

中国真空计量发展概述

回顾了近50多年来中国真空计量的发展历史.内容包括真空(全压力)测量与校准、分压力测量与校准、气体微流量测量与校准,从中可对中国真空计量的历史渊源和现状有一个完整的了解.     

我国国防真空计量发展概况及成就

综述了近40多年来我国国防真空计量的发展概况及成就,内容包括真空(全压力)测量与校准、分压力测量与校准、气体微流量测量与校准.     

第六讲：真空测量

第六讲：真空测量刘玉岱（东北大学）三、分压力测量２．四极滤质器（上接１９９７第３期）四极滤质器又称四极质谱计。四极滤质器的质量分离原理是基于不同质荷比的离子在高频和直流四极场中，运动轨迹稳定与否来实现的。它是近代残余气体分析器中最为流行的无磁滤质器，...     

真空计量的需求与发展

综述了对真空计量的需求与发展,其中包括对全压力、分压力、气体微流量、真空泵抽速、空间真空测量和特殊条件下对真空测量的需求,还包括对真空计量标准和测试设备的需求.     

真空计量的现状及发展趋势

介绍了真空计量、真空计量标准、真空测量与校准技术、空间真空测量等方面的内容.基于真空计量的现状,提出了真空计量的发展趋势.     

气体微流量测量及标准装置概论

本文全面而概略地论述了气体微流量的测量及其标准的发展和现状。着重考虑了作为气体微流量标准装置核心的恒压式气体微流量计的原理、结构、下限因素和不确定度等基本问题。简略地介绍了我们在这方面的工作和特点。     

第六讲：真空测量

第六讲：真空测量刘玉岱（东北大学）二、全压力测量１．Ｕ型管真空计结构最简单的测量压力的仪器，它通常是用玻璃管制成，其工作液体有多种，通常为水银。管的一端与待测压力的真空容器相连，另一端是封死的或开口与大气相通，以Ｕ型管两端的图１开式Ｕ型管真空计液面差...     

略论绝对真空计量标准

仅就“绝对真空计量标准”略加评论，对真空计量标准的“绝对性”含义作一讨论。随着真空度的提高，真空度计量标准的绝对性越来越下降；相对真空度计量标准而言气体流量标准的绝对性还要更差些。     

第六讲：真空测量

第六讲：真空测量刘玉岱（东北大学）二、全压力测量７．电容式薄膜真空计（上接１９９７第２期）根据弹性薄膜在压差作用下产生应变而引起电容变化的原理制成的真空计称为电容式薄膜真空计，它由电容式薄膜规管（又称为电容式压力传感器）和测量仪器两部分组成。根据测量...     

Excel在真空计量中的应用

在真空计量领域中，Ｅｘｃｅｌ电子表格软件得到了广泛的应用。本文举例说明了Ｅｘｃｅｌ的数据计算，统计分析，回归分析，宏、ＯＬＥ和ＤＤＥ功能。     

真空漏孔的校准方法

在检漏工作中，要定量地确定被检漏孔的漏率，需要将漏率的量值从气体微流量标准或漏率标准正确地传递到质谱检漏仪。在这个传递过程中，对参考漏孔的校准是一个很重要的环节。以国内外有关的标准和文献为基础，对真空漏孔的常用校准方法──定容变压法、恒压变容法、变容变压法和比较法分别给予分析和介绍。     

略论绝对真空计量标准

仅就“绝对真空计量标难”略加评论，对真空计量标准的“绝对性”含义作一讨论。随着真空度的提高，真空度计量标准的绝对性越来越下降；相对真空度计量标准而言，气体微流量标准的绝对性还要更差些。     

德国联邦物理技术研究院(PTB)气体微流量计量评介

在真空技术应用中 ,高精度气体微流量计用于连续膨胀法校准系统压力的产生、漏孔漏率的测量以及真空泵抽速的测定。PTB先后研制了三代气体微流量计 ,第一代为手动型 ,第二代为半自动型 ,第三代为全自动型。本文详细介绍了PTB研制的气体微流量计的性能和特点 ,并介绍了气体微流量计在真空漏孔的漏率测量方面的应用。另外 ,还介绍了PTB最近研制的大气压力下漏孔漏率测量系统的性能和特点     

数字心电图机计量发展及数字心电图标准波形评定方法

随着心电检测设备的发展,原有的计量标准已经不能全面评定其计量性能,波形一致性、波形失真度等参数正在成为新的计量检定规程和工作标准中主要考虑的内容.通过回顾数字心电图机计量法规和标准的发展,探讨了数字心电图标准波形的评定方法.结果表明,波形总失真度能够作为评定数字心电标准波形的有效参数.     

非蒸散型吸气剂泵在真空计量中的应用研究

本文简要阐述了非蒸散型吸气剂(NEG)泵的吸气机理,着重介绍了NEG泵在超高/极高真空标准、静态膨胀法真空标准等真空计量标准中的最新应用结果。结果表明:利用NEG泵在室温下获得了10-10Pa的XHV;利用NEG泵将超高/极高真空标准校准下限延伸到了10-10Pa量级;利用NEG泵将静态膨胀法真空标准的校准下限延伸到了10-7Pa量级。最后还对用NEG泵延伸固定流导法微流量标准测量下限的可行性进行了分析。     

真空混合漏孔示漏气体的延迟和保持特性研究

真空混合漏孔 ,如漏孔通道内含有空腔、毛细管道等 ,示漏气体除存在超长反应时间外 ,还存在超长的延迟时间和保持时间。只有经该延迟时间后 ,检漏仪才能探得信号。为满足真空元件在生产中的快速检漏的要求 ,又避免常规质谱检漏法漏检混合漏孔的可能性 ,在真空室内对检漏元件集体充氦 ,然后在保持期内逐个检测氦气浓度来判断有无混合漏孔 ;也可用质谱计比较残余气质谱图中空气成分来确定     

真空管式太阳能集热器研究最新进展

从选择性吸收涂层的材料、结构、热稳定性及真空环境等方面综述了真空管式太阳能集热器的研究进展。不锈钢、Ti、Al、Ni类材料适于制备中低温选择性吸收涂层;而Mo和W类等高熔点材料,适于高温涂层。涂层结构方面,主要有吸收层/介质减反层的光干涉类、金属红外反射层/金属介质吸收层/介质减反层的金属陶瓷类。影响涂层热稳定性的主要因素是高温下涂层的破裂、氧化及元素扩散,涂层厚度与结构也能影响热稳定性。结果表明:①选择性吸收涂层制备,应采用电化学或磁控溅射技术并结合纳米材料对涂层进行多层化、梯度化研究;②应着重发展Mo类金属陶瓷型的热稳定性好的涂层,以实现高温高效集热;③应加快实现太阳能集热器的智能化、自动化与建筑一体化。     

MPCVD制备纳米金刚石真空窗口的研究

微波等离子体化学气相沉积装置用于制备纳米金刚石膜和纳米金刚石真空窗口,气源为H₂、CH₄、Ar和少量O₂。扫描电镜、拉曼光谱、X射线衍射仪、原子力显微镜用于表征和分析纳米金刚石膜,自制的漏气率测量装置测出纳米金刚石真空窗口漏气率。结果表明:金刚石膜厚20μm、表面平均粗糙度Ra=34.6 nm,平均晶粒尺寸35 nm,金刚石窗口漏气率为2.78×10^-9Pa·m³/s。     

真空状态对布儒斯特窗透射比影响的研究

介绍了测量真空状态对布儒斯特窗口透射比影响的装置,说明了其工作原理及测量过程,并进行了实验验证。实验结果表明,真空度对低温辐射计窗口透射比测量的影响与光功率测量的不确定度和透射比测量的复现性相比可忽略,在空气环境中对其进行测量的结果可以满足基于低温辐射计的测量要求。