电子束焊接在传感器封装中的应用

本文通过对利用高真空电子束焊机,对压力传感器、振动筒传感器等器件的封袋工艺进行了大量的实验研究表明:真空电子束焊接,加热点小、功率密度高、焊接速度快、便于控制、电子束作用力微小、焊缝精度高、工件不氧化等特点,非常适用于多种传感器的封袋工艺。     

电子束焊接技术在工业中的应用与发展

介绍了电子束焊接及其主要特点，概括总结了近年来电子束焊接在航空航天、电子与仪表、汽车等工业领域中的应用现状，并对其今后的发展作了展望。     

电子束焊接在电子和仪表工业中的应用

介绍精密工件的高真空电子束焊接技术。文中主要的焊接范例为作者单位研究的部分成果；有些内容引自参考资料。     

激光焊接与电子束焊接技术的合并使用

虽然激光焊接（LBW）以及电子束焊接（EBW）的拥护者们分别对其青睐的技术大加赞扬,但在许多情况下用户的最佳选择可能是同时采用这两种技术。尤其是在焊接复杂结构以及满足高品质冶金需要的情况下更是如此。     

电子束纳米焊接与纳米切割

对小到1 nm大到100 nm的"纳米尺度",目前并没有成熟的原位物理加工技术.我们演示高强度电子束技术在纳米尺度上应用于原位物理加工的潜力,将高亮度场发射透射电子显微镜的电子束汇聚到直径1 nm左右,可得到强度为1096 A/cm2量级的电子束.这样的电子束可被用来在直径几十纳米的单根金属或硅纳米线上实现结构修饰,切割出小孔、窄桥及缝隙等各类纳米尺度的图案结构.强度稍弱的电子束则可被用来实现在金属纳米线之间,或者金属纳米线与硅纳米线之间的焊接,也可被用于去除纳米线表面的氧化层.这些物理加工机制涉及高能电子穿越固体时各类非弹性散射造成的加热、非晶化、溅射、等离子气化等非线性效应.作为一项无污染且作用范围非常局域化的原位技术,它可直接应用于纳米结和纳米器件的修饰与制备.     

某数字组件电子束焊接技术改进研究

雷达产品所用某组件壳体结构复杂,气密性要求高,采用了较为先进的电子束焊接,但在实际生产中其成品率较低,对电子束焊接的主要影响因素-配合间隙、扫描参数及点焊方法进行了详细的分析,并提出了改进电子束焊接方法的具体措施.实践证明所采用的电子束改进方法是成功的,对类似问题的解决提供了有益的参考.     

难熔金属激光焊接技术的研究及应用

本文论述了难熔金属零部件激光焊接工艺的研究及应用。通过大量的科学试验,成功地将激光焊接技术用于钨—钨、钼—钼、钨—钼、钨—钽,及钼—钽等零部件的焊接,均收到了可喜的效果。     

电子束光刻在纳米加工及器件制备中的应用

电子束光刻技术是推动微米电子学和微纳米加工发展的关键技术,尤其在纳米制造领域中起着不可替代的作用。介绍了中国科学院微电子研究所拥有JEOLJBX5000LS、JBX6300FS纳米电子束光刻系统和电子显微镜系统的电子束光刻技术实验室,利用电子束直写系统所开展的纳米器件和纳米结构制造工艺技术方面的研究。重点阐述了如何利用电子束直写技术实现纳米器件和纳米结构的电子束光刻。针对电子束光刻效率低和电子束光刻邻近效应等问题所采取的措施;采用无宽度线曝光技术和高分辨率、高反差、低灵敏度电子抗蚀剂相结合实现电子束纳米尺度光刻以及采用电子束光刻与X射线曝光相结合的技术实现高高宽比的纳米尺度结构的加工等具体工艺技术问题展开讨论。     

高能束焊接技术及在电子工业中的应用

高能束焊接具有集束、高功能密度（１０＾４－１０＾８Ｗ／ｃｍ＾２）的性能，应用领域广泛。在电子工业中亦有很好的作用电子束焊接与焊接各有特点，均得到很大发展，可发挥各自的优势。本文还原它们进行了综合比较。     

三维电子光学模拟器二阶有限元方法研究

该文介绍了二阶有限元方法的基本理论,同时将其应用到3维微波管模拟器套装(Microwave Tube Simulator Suite, MTSS)中的电子光学模拟器(Electron Optics Simulator, EOS)。比较了EOS分别采用一阶和二阶有限元方法的计算结果,得到了二阶具有更好的收敛性以及更快的收敛速度的结果。     

后桥半轴电子束焊接性能分析

介绍了电子束焊接和CO2气体保护焊加工技术的基本特点,并对它们焊接后桥半轴的优缺点进行了比较,着重对电子束焊接后桥过程中存在的主要问题进行了分析,采取相应的工艺措施成功解决了焊接中出现裂纹和气孔等技术关键,为零件的批量生产提供了技术基础,使所焊接的后桥壳体精度高,抗疲劳性能好.     

E面分支波导耦合器的二维有限元法分析

基于二维有限元的分析途径 ,本文提出了四端口E面分支波导耦合器的一种分析方法。利用该方法 ,开发了相应的分析软件 ,并已成功应用于“微波模块设计制造一体化系统”中。一个四端口 4 .9dB五分支波导耦合器实例的计算结果与实验结果以及HFSS(一种基于三维有限元的高频结构仿真软件 )仿真结果的比较 ,证明该分析途径及软件实现是精确而有效的 ,并可广泛应用于同类微波器件的分析。     

一种新型的梁单元—有限元法在转子动力学中的应用

给出一种新型梁单元的推导及其应用。该梁单元可适用于圆形截面、非圆形截面及具有陀螺效应的部件,这是一种四个自由度的单元。它是将单元梁的动态特性在局部坐标中展开,再回到总体坐标中组合。     

大功率微波电子注器件及其发展

本文综述了大功率微波管最新进展,指出以电子注和场互作用为基础的大功率微波管,相对论高功率微波源,真空微电子器件是国防和信息系统的核心器件,其技术进展将为２１世纪军事电子装备的发展提供强有力的支持,也将对信息社会产生深远影响。     

基于有限元法的脊波导特征值分析

本文将有限元法引入到双脊、单脊和不对称脊波导特征值的分析中,求解出了三种脊波导的特征值,并给出了截止频率和主模带宽曲线。     

快回旋电子束波吸收微波能量过程的分析与计算

分析了矩形谐振腔中快回旋电子束波共振吸收微波能量的物理机理,编制了跟踪单个电子、用4阶精度龙格-库塔法求解的半自洽程序,并据此计算了微波整流器谐振腔部分的转换效率η和谐振腔输出端电子束动能的离散性。结果表明,当共振条件ωc=ω满足时,电子束非常有效地吸收微波能量,η≈99%;如果要求电子输出动能的离散性小于3%,则电子束的半径应不超过5mm。     

基于有限元的区域分解方法在永磁聚焦系统仿真中的应用

随着计算机技术以及并行求解技术的发展,区域分解方法越来越多地应用于计算电磁学的各个领域。针对微波管中的永磁聚焦系统仿真,该文提出一种基于有限元的非重叠区域分解方法,其引入一种新型传输条件,并采用内罚的方式推导出有限元弱形式。该区域分解法的最大优势是不需要引入多余的未知量,并且最终集成的有限元矩阵满足对称正定性,适合采用预处理共轭梯度法进行矩阵方程的求解。该文仿真了多个微波管永磁聚焦系统,并与商业软件Maxwell进行了详细的对比,结果表明所提出的区域分解方法和Maxwell精度相当,却拥有着更加优越的计算性能。

     

FDTD方法及其在多注电子光学系统研究中的应用

采用时域有限差分(FDTD)方法对L波段100 kW多注速调管的单个电子枪进行三维模拟计算,通过设置最小网格尺寸和发射时间间隔,得出的电流和导流系数与采用EGUN等软件计算的结果相一致,通过从MAFIA中导入三维磁场数据,模拟了位于径向不同位置处电子注通道的电子轨迹,研究发现在磁场均匀性较好的情况下,位于径向不同位置处的电子轨迹相差很小,同时讨论了如何减少模拟时间的问题.本文最后计算了多个注的电子枪,求得了电流值和导流系数,从中导入数据可以分段模拟多注速调管高频互作用段的注波互作用,以及收集极区域的电子发散.