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激光干涉仪具有测量分辨力高、测量结果可溯源等优点,在纳米测量中的应用日益广泛。介绍纳米测量机和低膨胀材料线膨胀系数测量装置中应用的迈克尔逊型激光干涉仪以及在高准确度位移测量装置中应用的法布里-珀罗型激光干涉仪,并结合这些实例对激光干涉仪光学系统设计、测量环境控制、迈克尔逊干涉仪非线性误差补偿以及法布里-珀罗干涉仪量程扩展等方面的关键问题进行分析和总结。所述原则和方法对实现纳米级测量准确度具有重要意义,可为高准确度激光干涉仪的研制及其在纳米测量中的更广泛应用提供技术参考。 相似文献
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该文介绍坐标测量机与激光干涉仪对步距规进行校准的测量原理和测量过程,测量结果与DKD证书进行对比,并分析测量结果的不确定度。 相似文献
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激光干涉仪作为数控机床的测量装置是集光学、精密机械、电控技术、数据处理、计算机技术于一体的高技术精密检测装置,采用完全非接触测量方式,实现数控车床在自动化方面的飞跃,在未来必将会有更为广阔的发展前景。当然面对不同的数控机床要采用不同的测量方式,并且对不同的测试结果进行科学的分析,要明确激光干涉仪在数控机床上的测量方式,把握双频激光干涉仪在数控车床检测中的应用,加强对激光干涉仪的使用快捷方式进行分析,最大限度地扩大激光干涉仪在数控机床测量方面的普及。 相似文献
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提升激光跟踪仪长度测量准确度的方法 总被引:2,自引:1,他引:1
提出了利用激光跟踪仪进行高准确度测量的方法.描述了激光跟踪仪测量时的特定设置,以获得具有激光干涉仪准确度的长度测量结果.通过几何推导,证明了这种方法不受激光跟踪仪角度测量的影响.列出了方法中主要的测量不确定度来源和不确定度合成的公式. 相似文献