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寿涵奋 《大气与环境光学学报》1994,(6)
电子元件制造中的激光应用平均功率为50~100W的脉冲Nd:YAG激光器在电子元件制造中的应用由来已久。这种激光器自七十年代被公认为是生产线上极为有用的工具以来,就已广泛应用于电子元件的制造。它的首批卓有成效的激光工业应用有医用电子元件、及电池、高可... 相似文献
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本文从航天传感器某些特殊加工要求及激光加工技术的特点讨论激光对航天传感器制造业的应用意义,介绍了几项有代表性的工艺。 相似文献
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选择不同的激光加工技术,如激光合金化、激光修复和激光固溶技术,实现了2Cr13和17-4PH两种常见叶片的强化与修复。对强化和修复前后汽轮机叶片的显微结构、硬度、残余应力、耐磨性、抗腐蚀、抗气蚀性能进行了测试分析。证明激光加工技术在汽轮机叶片的强化和修复方面具有良好的应用前景。 相似文献
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美国麻省理工学院(MIT)的研究人员开发出在水中长出亚微(submicroscopic)电子线路的方法,可望催生以液体工艺(liquid-basedprocess)生产完整电子元件的技术。这种水热合成(hydrothermalsynthesis)方法,基本上是采用一种注射器,将溶液经由直径仅十分之一毫米(millimeterwide)的毛细管推出,因此不需要用到 相似文献
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准分子激光微制造技术及其应用 总被引:3,自引:1,他引:3
比较分析四种微加工工艺的基本特征和技术难点,简述准分子激光与Nd:YAG激光微制造技术的特点和应用范围。结合华中科技大学准分子激光微制造工作站的建设及其在微钻孔、微切割等方面的实际应用,分析准分子激光在MEMS(微机电系统)键合、焊接、封装过程中应用的可能性。 相似文献
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一年以前,一批新的激光系统才刚刚进入集成电路的制造领域。激光在今后的芯片制造中应用前景现在已经明朗化。更进一步的深入应用还有待于半导体厂家去努力。XMR公司说,他们生产的用于硅电路微细加工的准分子激光系统LMMC,在其投产后的第二年底,开始有了转机。但这家公司的另一台系统就不那么幸运,那是一台基于准分子激光辅助掺杂技术,用于大容量存储器芯片的精确的极浅扩散系统。该公司眼下还在寻找一家大公司对它的系统进行投资。 相似文献
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本文简要综述激光辅助的加工技术在微电子器件制造中的应用,包括激光修复电路和掩模、激光制版、激光光刻,以及激光直接投影作图加工等情况。值得注意的是,作为微细加工关键设备的以准分子激光器为光源的分步重复光刻机近年来有了突破性进展,达到的分辨率为0.5~0.25μm,视场约15mm×15mm,能对Φ200mm的硅片以每小时十几片的生产率进行光刻,这已为生产16M DRAM(动态随机存储器)作好准备。 相似文献
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激光在模具制造中的最新应用 总被引:2,自引:0,他引:2
随着汽车、航空、家电、塑料制品等工业产品向多品种、小批量、高精度和形体复杂化的方向发展,模具生产已成为一个不可缺少的重要产业部门。本文简单介绍几种利用激光制造模具的方法。 相似文献
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概述了利用激光微敷电子胶(LMCEP)在玻璃、陶瓷和有机层压板之类的绝缘基板上直接制造电子元件和导线的新方法。采用计算机辅助设计/计算机辅助制造(CAD/CAM)能力和无须掩模的这种技术,成功地制造了具有不同图形的导电性金属线和电阻器。 相似文献