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在超声键合系统中,超声换能器是键合装备的核心部分。基于等效电路法和解析法设计超声换能器,获得换能系统的基本结构尺寸:采用阻抗分析仪与多普勒测振仪对系统进行性能分析。实验表明实测频率与设计频率吻合,换能系统阻抗为21.3Q,振动位移达到3.7μm,满足超声芯片封装的工艺要求。 相似文献
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为了使纵弯谐振变幅器的输出振幅满足齿轮超声加工的要求,设计了一个带有级联变幅杆的变幅器.利用Mindlin中厚板理论,根据变幅杆各段的力和位移耦合条件、变幅杆与齿轮的力和位移耦合条件、边界条件,推导出变幅器的频率方程和位移方程,实现了变幅器的设计,并求得变幅器的振幅分布曲线.通过理论求解、有限元软件ANSYS进行模态分析和谐响应分析、变幅器谐振特性试验分析变幅器的动力学特性,得出三者的结果一致,齿轮分度圆处的振幅为12μm,较常用的变幅器有了较大的提高,满足了齿轮超声加工的需求. 相似文献
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利用超声波在传播过程中遇障碍物会产生散射信号的特性进行微粒检测时,超声换能器的设计非常关键.通过对平面圆形活塞声源和凹球面聚焦声源的轴向声场分布比较分析,完成了超声微粒换能器的选型;基于一个假设的应用实例,对影响换能器性能的三个重要参数(焦距 D、晶片半径 a、和谐振频率 f)的确定原则进行了理论研究和仿真分析,给出了... 相似文献
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动态聚焦超声换能器的研究与设计 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了为超声激活血卟啉抗肿瘤效应而研究的动态聚焦超声换能器。它是由6个等间距,等宽度的同心圆环和1个中心圆片组成的7元平面 能器阵。通过改变辐射孔径和每个阵元电激励信号的延迟时间,实现动态聚焦衣在各聚焦处声强度一致,导出了聚焦声场声压分布表达式,并设计出换能器的具体结构参数。 相似文献
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序言 在测试超声换能器特性时,如下三点是重要的:①熟悉换能器的工作状态,以便选择最适合各种测试的换能器,②确保换能器发挥出预期的性能,③应很好掌握换能器给超声信号带来的影响。 本文发表的是马萨诸塞州陆军材料技术研究室开发的测试换能器特性的技术及装置。这一测试是由超声波束的图像化,电阻抗测定,插入损耗测定和脉冲及频率响应测定四部分组成。并且列出了频率为5MHz,直径为0.5英寸的二种换能器的特性测试结果。其中一个是聚焦型的,另一个是非聚焦型的。 超声波束的图像化 超声的波束发散度,波束直径,波束传播范围,波束截面均匀性… 相似文献
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针对目前基于数字声音重建技术的扬声器再现声音动态范围窄、失真严重的问题,设计了一种响应速度快、声学输出可线性相加的静电MEMS扬声器。该扬声器采用了包括双背板、悬臂梁和缓冲锥的复合式振膜结构,显著降低了扬声器的振膜刚度和提高了振动自由度,从而优化了扬声器的工作效率并减少了响应时间。利用Comsol Multiphysics软件对扬声器进行几何结构参数优化和性能仿真,确定当扬声器的振膜厚度为1 μm,振膜半径为110 μm,电极/振膜比为40%,空腔高度为6 μm时综合性能最优,结果证明该扬声器的声学响应时间低于23 μs且声学输出满足线性相加,这表明该扬声器具有良好的声学响应,为实现数字声音重建提供良好技术支持。最后,基于MEMS加工工艺设计了静电MEMS扬声器的工艺流程。
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夹心式压电超声换能器的等效电路设计法 总被引:3,自引:0,他引:3
通过力电类比法,给出了夹心式超声换能器的等效电路图,推导出前后盏板均为圆柱形的换能器的前后振速比的一般公式和换能器的频率方程。 相似文献
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换能器是功率超声最基本最重要的器件,寻找、开发新材料是发展新型换能器的重要途径。稀土超磁致伸缩材料Tcrfcnol-D具有优良性能,本文采用四端网络法和有限元ANSYS软件对稀土超声换能器进行了理论设计与分析,并制作了一种单独稀土超声换能器振子和带变幅杆的稀土超声换能器,其性能与压电换能器相比显示出了独特的优越性。 相似文献
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超声排水采气换能器研究 总被引:2,自引:0,他引:2
在气井开采的中、后期,气井底部往往积水.使采收率下降。本文介绍了超声排水采气换能器的设计。该换能器采用纵向复合式换能器振子和四分之一波长聚能器的组合结构.聚能器设计成阶梯结构,压电陶瓷采用大功率发射材料,前盖板采用硬铝,后盖板采用20钢。压电陶瓷的居里点为330℃,故该装置适合于深井、高温条件下使用,并且具有每小时雾化量大、体积小,成本较低等特点。 相似文献
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介绍了超声研齿的原理与方法,并将超声加工应用于齿轮研磨。利用力电类比和四端网络法,构建超声研齿换能器的等效网络图,通过电路运算,得到了换能器的频率方程与前后端面振速比的计算公式。据此设计了谐振特性良好的1/2波长超声换能器。进行了超声研齿与普通研齿对比试验,利用扫描电镜(SEM)图像分析了两者的材料去除机理。试验表明超声研齿材料去除率可达到普通研磨的3倍,且齿面质量明显提高,齿面粗糙度Ra低至0.2mm,水平截距c减小到1.2!m。 相似文献