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1.
利用发射光谱(Optical emission spectroscopy,OES)对感应耦合等离子体增强化学气相沉积(Inductivelycoupled plasma enhance chemical vapor d印osition,ICPECVD)类金刚石(Diamondlike carbon,DLC)膜过程中的各种基团进行分析,并对不同条件下薄膜沉积速率以及薄膜显微硬度进行测试.分析结果发现,感应耦合等离子体源激发甲烷等离子体中存在比较突出的碳氢离子成分,从而促进形成高硬度的DLC膜.而且射频功率、沉积气压等沉积参数的变化对DLC薄膜沉积过程的中性基团、离子基团以及原子氢等成分都有着明显影响,从而最终影响薄膜沉积过程及薄膜性质. 相似文献
2.
光学发射光谱(OES)方法是等离子体诊断的有力工具之一,可以定量地给出等离子体的多种重要参数,如等离子体中的物种成分、粒子能态分布、激发温度、粒子相对密度等.本文介绍了一种用于电子回旋共振(ECR)微波等离子体磁控溅射靶附近的增强放电和直流辉光放电等离子体空间分辨诊断的发射光谱装置.其特点是光学收集系统的位置可以水平精细移动,因而可以对放电区域进行空间分辨发射光谱测量.作者利用这套装置对氩气的ECR微波等离子体和直流辉光放电等离子体进行诊断.在ECR微波等离子体的下游区内氩离子谱线的发射强度很弱,主要是高激发态原子的辐射.在磁共振增强放电区,离子谱线强度有所增加但仍比原子谱线弱,类似于直流辉光放电正柱区的光发射特性. 相似文献
3.
本文针对辽河东部凹陷油燕沟中生界火山岩的具体特征,采用纵波波速的比值——“龟裂系数”裂缝分析法[1,2,3],研究了火山岩裂隙发育程度。综合龟裂系数裂缝分析及其他方法发现,该区中生界火山岩有效储集层的测井相特征主要表现为低密度、低中子、高声波时差和高伽马值等特征。此法的关键在于根据不同火山岩的岩性,选用合适的岩石骨架参数,在此基础上利用测井约束地震反演计算火山岩的层速度,进而计算出龟裂系数,然后根据已钻至火山岩井孔的测井相特征编制出火山岩预测厚度图。 相似文献
4.
提出了一种在结构设计中与力法、位移法并列的刚度变量法。这种方法通过调整构件的刚度,设计合乎要求的结构。文中详细地讨论了刚度变量法中将结构分解设计的方法,其计算简便,选值灵活,可由熟悉的结构组成复杂结构。 相似文献
5.
6.
运用力学方法建立了穿孔机后台架的力学模型,导出了顶杆挠度曲线方程,给出了顶杆临界压力及顶杆长度之间的关系式,为穿孔机后台架的改进提供了理论依据。 相似文献
7.
发展了一种研究多晶体系电子态以及热电性质的计算机模拟方法。首先采用相场动力学方法模拟多晶材质图案,再利用其模型序参量构造晶界的势函数,用近自由电子近似构造体系的哈密顿量。求解薛定谔方程得到体系的本征态。通过电荷密度的分布研究电子的限域特征,分析模拟结果发现对于晶界为势垒的情况,电子的基态出现在最大晶粒中;而对于晶界为势阱的情况,电子更容易限域在多个晶粒交叉的晶界附近,由得到的本征能级和波函数可以计算出温差导致的电位差,即得到赛贝克系数随温度的变化。结果表明具有导电晶界的多晶体的赛贝克系数要高于具有导电晶粒的多晶体。 相似文献
8.
9.
在钢筋混凝土板的设计中如何合理地确定板厚和截面配筋面积的相对值是很有工程意义的问题,本文对钢筋混凝土板满足设计要求的相对板厚和相对配筋面积进行了详细分析,指出了板的长宽比例对计算结果的影响,并给出了实用的比现行习惯做法精确的设计方法。 相似文献
10.