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非接触型光外差轮廓仪 总被引:1,自引:0,他引:1
本文介绍一种纳米级非接触型高精度光外差轮廓仪,它是基于普通光路的光外差干涉仪。工件表面被两束有微小频差的激光束所照射,其中一束经聚焦后用作测量光探针来扫描工件表面,另一束则用作参考光束。两束光经表面反射后产生干涉。测量信号和参考信号的相位差与表面的微不平值成正比。仪器的横向分辨率为2μm,高度分辨率为1 nm,它不需要对试样作大范围的调整,且可用试样自身作参考面。信号经光电转换后由微型计算机进行处理,它能快速完成测量、计算、显示及打印出各种参数和曲线。 相似文献
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介绍一种新型汽车车轮定位参数的微机测量系统。该系统采用8031单片微机为主机,可完成车轮定位参数、转向轮最大转角、方向盘转角范围及自由行程的自动测量及显示、打印输出;绘制阿克曼特性曲线和转向系角传动比特性曲线,还可对轮辋及夹角“摆差”进行自动补偿。 相似文献
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一、引言从测量方式来看,表面微观轮廓的测量可分为接触式和非接触式。接触式很难用于起伏的表面轮廓测量。非接触式测量主要以光学方法为代表,如干涉测量法。但是,传统的干涉测量方法(如干涉显微镜)在提供的信息量、信息的可靠性以及提取信息的手段方面都存在一些固有的限制,无法获得表面轮廓曲线,干涉图的到读相当复杂费时,对于无规则条纹无法判断表面凹凸。随着光电技术和计算机技术的发展,在光干涉领域出现了条纹扫描技术、锁相干涉技术、移频干涉技术和相移干涉技术等,为表面轮廓测量新方法的研究,开辟了新的途径。本文介绍… 相似文献
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空间直线度误差评定的计算机实现方法 总被引:2,自引:1,他引:1
本文用最小圆柱包络方法研究空间直线度误差评定问题,提出了一种能在计算机上进行误差评定的方法,它可在微机上用C语言实现空间直线度误差评定的最小条件的自动判别。文中给出了用计算机评定空间直线度误差的实例。 相似文献
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