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1.
2.
在同步辐射光刻光束线和实验站上进行大规模集成电路光刻,其均匀性问题直接影响暴光样品的成品率。利用计算机对暴光均匀性信号进行快速精细在线测量。讨论了光刻光束线在线实时控制系统和它的基本特征。 相似文献
3.
用同步辐射光源进行大规模集成电路和微器件光刻是现阶段的一项高新技术。本文介绍同步辐射光刻的镜扫描控制系统。它的设计思想,所采用的方法以及最优控制等都具有科技应用和经济价值。 相似文献
4.
介绍了7204工作面概况及突水过程,针对该事故原因进行了详细分析和探讨,并提出了今后的预防措施。 相似文献
5.
6.
研究了亚硫酸钠、亚硫酸氢钠、二氧化硫、焦亚硫酸钠和硫代硫酸钠等脱氯剂对城市污水厂氯消毒出水的脱氯效果.结果表明:亚硫酸氢钠的脱氯效果最好,反应10 min,氯脱除率即达100%;脱氯过程均存在分步反应,反应最初1 min内,余氯下降很快;1 min后为一级反应,且反应速率很低,有机氯胺和一氯胺的脱除是反应的限制因素.脱氯反应不会对最终出水的细菌和大肠杆菌指标产生不利影响.经济分析表明,达到同样的脱氯效果,二氧化硫脱氯工艺的药剂成本最低. 相似文献
7.
汾西矿业集团公司水峪矿自1992年采用综放采煤法开采10^#、11^#合并层以来,综放采煤技术日趋成熟,取得了较好的经济效益。1996年5月~11月,在水峪矿第三个综放工作面7101,进行了一系列井下矿压岩移观测,整理分析了现场实测结果并进行了相关的力学计算,旨在搞清水峪矿10^#、11^#合并层综放工作面顶煤冒落规律,为进一步完善汾西局的综放技术工艺提供理论依据。 相似文献
8.
9.
王荣生 《中国新技术新产品》2013,(12)
详细说明了压缩空气中水份、油份、粉尘的产生原因及其危害。对冷冻式与吸附式压缩空气净化设备的优缺点进行了比较,在优化压缩空气净化系统设计方面有一定的指导意义。 相似文献
10.
王荣生 《计算机应用与软件》1995,12(5):36-39
本文描述了CMOS单元电路版图自动设计程序是自动电路版图设计系统的一个组成部分,它通过一列变换,将单元电器描述翻译成单元电路版图的几何描述。其特点是允许单元内多端口线网布和允许在单元四周指定端口,并对单元电路版图进行优化,因此,只要输入单元电路描述,便可自动产生单元电路的版图文件。 相似文献